JP4853753B2 - レーザモジュールの照射位置調節装置 - Google Patents

レーザモジュールの照射位置調節装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ発振素子から出射されるレーザ光を被照射物に照射するレーザモジュールの照射位置調節装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、製版装置として、回転自在に設けたドラム型の版胴と、この版胴の外周面に取付けられた版に向けてレーザ光を出射するレーザモジュールとを備え、このレーザモジュールを版胴の軸方向に移動させるように構成し、レーザ光により版を所定のパターンに製版する製版装置は知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、レーザモジュールのレーザ光の照射位置は、製造誤差によるズレがあるため、レーザモジュールを版胴の軸方向に移動可能に設けられるテーブルに取付ける際や保守交換の際にレーザ光の照射位置が所望の位置になるように調節している。しかしながら、レーザ光の照射位置を調節しながらの取付けは煩雑であり、特に、多数のレーザモジュールを有する製版装置では、照射位置の調節作業に非常な労力と時間を要していた。
上述した事情に鑑み、本発明は、従来に比較してレーザモジュールのレーザ光の照射位置を容易に調節することができる照射位置調節装置を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
すなわち請求項1の発明は、レーザ発振素子から出射されるレーザ光を被照射物に照射するレーザモジュールにおいて、
上記レーザ発振素子を搭載するマウント部材と、このマウント部材を支持するベース部材とを設けるとともに、上記ベース部材とマウント部材とを弾性変形可能な取付け部を介して連結し、
また、上記取付け部を弾性変形させてマウント部材をベース部材に対して変位させて、被照射物におけるレーザ光の照射位置を調節する変形手段を設け、該変形手段は、ベース部材とマウント部材との間に挿入されるくさび部材と、ベース部材に螺合されるとともにその先端をくさび部材に連動させた調節ネジとを備えており、この調節ネジでくさび部材の挿入量を調節することでマウント部材をレーザ光の光軸に対する直交方向へ変位させることを特徴とするものである。
また請求項2の発明は、レーザ発振素子から出射されるレーザ光を被照射物に照射するレーザモジュールにおいて、
上記レーザ発振素子を搭載するマウント部材と、このマウント部材を支持するベース部材とを設けるとともに、上記ベース部材とマウント部材とを弾性変形可能な取付け部を介して連結し、
また、上記取付け部を弾性変形させてマウント部材をベース部材に対して変位させて、被照射物におけるレーザ光の照射位置を調節する変形手段を設け、該変形手段は、ベース部材に螺合した調節ネジと、この調節ネジの進退方向に対して斜めにマウント部材に形成されて該調節ネジの先端部が当接されるテーパ面とを備えており、調節ネジの突出量を調節することでマウント部材をレーザ光の光軸に対する直交方向へ変位させることを特徴とするものである。
【0005】
上述した請求項1並びに請求項2の発明の構成によれば、変形手段により取付け部を変形させることで、マウント部材をベース部材に対して変位させることができるので、作業者はレーザモジュールの取付けが終了した後でも変形手段でマウント部材を変位させながらレーザ光の照射位置を所望の位置に調節することができる。
したがって、従来に比較してレーザ光の照射位置の調節作業を精密かつ容易に行うことができるし、それに要する時間も短縮することができる。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、図示実施例について本発明を説明すると、図1、図2において、1はドラム型の版胴2を有するレーザ製版装置であり、この製版装置1では、軸を中心として版胴2を定速回転させつつその外周面に巻き付けた樹脂製の版3の表面をレーザモジュール4から出射したレーザ光Lで所定パターンに加工している。
レーザモジュール4は、版胴2の軸方向であるX方向およびレーザ光Lの光軸方向であるZ方向に移動可能に設けたX・Zテーブル29(図2参照)上に設けられている。
また、レーザモジュール4は、版胴2の軸方向と平行するX方向に伸びるベース部材5と、このベース部材5上に10mmの間隔を開けて128台設けられたレーザ発振素子(以下LD)14を搭載するマウント部材10(右端から3台目まで図示)を備え、このレーザモジュール4は、上記X・Zテーブル29によってX方向およびZ方向に移動可能となっている。
このような構成のレーザ製版装置1では、レーザモジュール4をX・Zテーブル29でX方向に移動させながら128等分した加工エリアEの加工区間PをそれぞれのLD14のレーザ光Lにより加工するようになっている。具体的には、レーザモジュール4のレーザ光Lをそれぞれの加工区間Pの左側の縁部に照射されるようにベース部材5が位置合せされる(図1参照)。なお本実施例では、後述するようにビームスポットを矩形としてあり、このときのビームスポットの各辺を10μmに設定してある。
以上の状態が整ったら、レーザモジュール4の各LD14から一斉にレーザ光Lの出射を開始し、また版胴2が図面上における矢印A方向に向けて回転を開始する。これにより版3の加工エリアEを下端から上端にかけて128本のレーザ光Lで加工する。そして、版3の加工エリアEの上端の縁部にレーザ光Lが達して1ピッチ目の加工が終了したら、レーザモジュール4を版3のブランクエリアが通過する間にX・Zテーブル29によってレーザ光Lの照射幅である10μmだけX方向における右方に移動させる。そして、この移動が完了し、かつレーザモジュール4のレーザ光Lの照射位置に版3の加工エリアEが達すると、1ピッチ目の加工に連続させてその右側にレーザ光Lが照射されて2ピッチ目となる加工が行われる。そして、これ以降、3ピッチ目… … nピッチ目と10μm刻みで徐々に加工範囲が増加して一斉に加工区間Pの加工が終了すると、それまで断続的であった128個の加工区間Pが連続して加工エリアEの加工が終了する。
ところで、レーザモジュールのレーザ光の照射位置は、製造誤差によるズレがある。このため、レーザ発振素子をステージに取付けるときや保守交換時に、作業者が各レーザ発振素子からのレーザ光の照射位置を調節している。このため、本実施例のように128台ものレーザ発振素子14を有する製版装置1では、各レーザ光Lの照射位置の調節に多大な労力と時間を要することになる。
【0007】
しかして、本実施例では、照射位置の調節にかかる労力の軽減と時間を短縮することができる照射位置調節装置を備えたレーザモジュール4を提供するものである。
すなわち、照射位置調節装置は、照射位置調節時の図である図3、図4、図5に示すように本実施例のマウント部材10は、ボルト11により先端をベース部材5に連結されるとともに上記X方向と水平に直交するZ方向に伸びる取付け部12と、この取付け部12の末端に一体に連設されたマウント本体13とを備えている。そして、このマウント本体13にLD14と、また集光系光学部品としてのロッドレンズ15と非球面レンズ16を搭載している。
上記マウント本体13は、取付け部12の末端からこれと同方向に伸びる下側壁部13Aと、この下側壁部13Aの先端から鉛直方向上方に伸びる正面側壁部13Bと、上記下側壁部13Aの左端から鉛直方向上方に伸びる右側壁部13Dと、正面側壁部13Bの上端と右側壁部13Dの上端に連設されて下側壁部13Aと平行する上側壁部13Cとを備えており、これら各壁部13A、13B、13C、13Dで形成される凹部13E内にLD14が取付けられたヒートシンク17を収容している。
上記ヒートシンク17は、前記凹部13Eの上側壁部13C側内面に形成した凹部13cに弾装されて円弧状となったY方向板ばね20によって下側壁部13Aに当接する位置に保持されるとともに、末端がマウント部材10の正面側壁部13Bに絶縁部材27を介在させて連結されるとともに先端がLD14に当接するX方向板ばね21によって右側壁部13Dに当接する位置に保持され、さらに末端を下側壁部13Aの端部に設けたピン22を支点とし、かつその先端をローレット付きネジ23により上側壁部13Cの端部に取付けた円弧形状のZ方向板ばね24によって正面側壁部13Bに当接する位置に保持されており、これらX・Y・Z方向板ばね21,20,24によってヒートシンク17はマウント部材10内における図示した位置に位置決めされている。
これにより、LD14と一体のヒートシンク17は、ローレット付きネジ23を取外してZ方向板ばね24を開放させることで容易に脱着自在となっており、保守交換時の利便性を図ってある。
なお、上記X方向板ばね21の末端は、図示しない電線を介して図示しない給電手段に接続される一方、その先端はLD14に当接させてあり、この導電性を有するX方向板ばね21を介してLD14に通電して発光させるようになっている。
【0008】
また、上記マウント本体13の正面側壁部13Bには、上記LD14から発振されたレーザ光Lを外部に向けて通過させる横方向貫通孔25と、この横方向貫通孔25の同心上に形成した大径の段部26が形成されており、この段部26内に上記非球面レンズ16が嵌め込まれるとともにその外周面を接着剤でマウント本体13に接着されている。
さらに、上記マウント本体13の上側壁部13Cと正面側壁部13Bには、これら上側壁部13Cと正面側壁部13Bにわたって鉛直方向に伸びるとともに、上記横方向貫通孔25を通過して下方に伸びる段付縦孔28が形成されている。そして、この段付縦孔28の小径部28A内に上記ロッドレンズ15が嵌合されるとともに、その軸方向における中間部分が横方向貫通孔25内に露出している。このロッドレンズ15も接着剤によりマウント本体13に接着されている。
これにより、LD14からのレーザ光Lは、横方向貫通孔25内に入ると先ずロッドレンズ15に入射し、このロッドレンズ15によって横方向貫通孔25よりも広がることを防止されつつX方向の広がりを集光されながら進行して次に非球面レンズ16に入射する。そして、この非球面レンズ16を通過したレーザ光Lは、集光されて焦点位置で版3の表面に照射される。
ところで、本実施例では、上記非球面レンズ16の表面上に矩形アパチャとしてコーティングを施してあり、このコーティングにより強度分布が円形のレーザ光Lの外周部をカットして矩形のビームスポットとしている。これにより、円形のビームスポットをパルス発振する場合、レーザモジュールをスポット径と同じピッチでX方向へ移動させるとすると、ビームスポットの外周部の一部分が接するだけで未加工部分(菱形の近似形状)が生じるようになるが、本実施例のように矩形であれば、スポットの幅と同じピッチでX方向に移動させても未加工部分は殆ど生じない。その結果、円形のビームスポットの場合に比較してきめの細かい印刷が可能となる。
【0009】
次に、上記取付け部12は、ベース部材5の前方側壁5Aの所定位置に等間隔で形成した嵌合凹部5a内に嵌合されるとともにボルト11でベース部材5に連結される高剛性部12Aと、後に詳述する2組の変形手段XK,YKによって変形される低剛性部12Bとを備えている。
上記高剛性部12Aの各側面は、嵌合凹部5aの各側面に密着しており、これにより各マウント部材10は、嵌合凹部5aの拘束を受けて一様に同一の状態でベース部材5に取付けられることになる。なお、本実施例では、Z方向の位置決めにあたっては、高剛性部12Aの前面を嵌合凹部5aの前面に当接させるだけでそれ以上の精度は必要ないことから特別な調節は行っていない。なお、Z方向における焦点深度を深くするために長焦点レンズを用いてもよい。
また、上記低剛性部12Bの中心位置には、鉛直方向に貫通する真円状スリット12bが設けられる一方、低剛性部12Bの両側面には、鉛直方向に向けて切欠いた半円弧状スリット12bbが形成されており、これら真円状スリット12bと半円弧状スリット12bbで低剛性部12Bの肉厚を薄くすることで剛性を低下させている。なお、レーザ光Lは、後に照射位置調節装置9を構成する2組の変形手段XK,YKによる調節を行うことから、変形手段XK,YKによる調節前の段階では、位置合せすべきセンター位置Cよりも極僅かにX方向における上方側(図3紙面上)で、かつY方向における上方側の位置(図4紙面上)に照射されるようになっている。
【0010】
上記低剛性部12Bを変形させる一方の変形手段XKは、マウント本体13(LD14,ロッドレンズ15,非球面レンズ16)を版胴2の軸方向であるX方向に変位させるものであり、また他方の変形手段YKは、マウント本体13(LD14,ロッドレンズ15,非球面レンズ16)を版胴2の円周方向であるY方向に変位させるものである。
先ず、変形手段XKは、ベース部材5の後方側壁5Bの上端面にマウント部材10の左側に位置するように形成される突出壁部5bと、この突出壁部5bに螺合されるX方向調節ネジ30と、このX方向調節ネジ30の進退方向に対して斜めにマウント部材10の下側壁部13Aの後端部に形成されてX方向調節ネジ30の先端に当接するテーパ面13Xとから構成されており、X方向調節ネジ30の突出量を調節することでマウント本体13(LD14,ロッドレンズ15,非球面レンズ16)をX方向に変位させることができるようになっている。
他方、変形手段YKは、ベース部材5の短手方向における後方側寄りに形成されてX方向に連続して伸びる広くて深い溝部5Cと、この溝部5C内における前方寄りで前方側壁5Aの側面に当接する弾性部材としてのウレタン32と、このウレタン32の後方に配置されたくさび部材33と、このくさび部材33の上端面に形成されて前下がりとなったテーパ面33Yと、上記マウント部材10の下側壁部13Aの下端面に形成されて前記テーパ面33Yと当接するテーパ面13Yと、ベース部材5の後方側壁5Bに螺合されるとともにその先端をくさび部材33に連動させたY方向調節ネジ35とから構成されており、このY方向調節ネジ35でくさび部材33の挿入量を調節することで、マウント本体13(LD14,ロッドレンズ15,非球面レンズ16)をY方向に変位させることができるようになっている。
【0011】
以上の構成を有するレーザモジュール4を備えたレーザ製版装置1において、レーザ光Lの照射位置の調節をする際には、先ずZ方向にX・Zテーブル29を大きく後退させ、その状態で、丁度版3と同じ間隔となる位置にレーザ光Lの計測手段としての1台のCCDカメラ40(以下カメラ40)がX方向に移動可能に配置される。そして、一方の側から順にカメラ40で撮像された映像を図示しないモニタに映し出し、このモニタを見ながら作業者が調節ネジ30と調節ネジ35で照射位置を調節するものである。
なお、調節前の段階では、各レーザ光Lは、本来照射されるべき位置からX方向における上方側(図3参照)およびY方向における上方側に僅かにずれている(図4参照)。
具体的には、先ず、マウント部材10のテーパ面13Xと接触しない位置に後退させてあるX方向調節ネジ30を正転させて前進させてこの先端部を該テーパ面13Xに当接させるとともに、X方向調節ネジ30の先端部がテーパ面13Xに当接した後もX方向調節ネジ30の前進を継続させてマウント本体13に対して図面上における上方側への力を加える。すると、剛性の低い取付け部12の低剛性部12Bが弾性変形しながらマウント本体13(LD14,ロッドレンズ15,非球面レンズ16)後部が徐々に図面上における上方に変位するようになるので、レーザ光Lはこれとは逆の実線で示す矢印の方向に水平に移動してX方向においてセンター位置Cとなる。このとき、レーザ光Lがセンター位置Cより行き過ぎた場合には、X方向調節ネジ30を逆転させて後退させる。すると、低剛性部12Bは自己の弾性により復帰するので、マウント本体13はX方向調節ネジ30の後退に追動して下方に変位するようになる。このようにして、X方向調節ネジ30を正逆回転させて最適な位置に位置合わせする。
【0012】
このようにX方向の調節が終了したら、次にY方向の調節を行う。このY方向の調節もX方向の調節と基本的に同じである。先ずテーパ面33Yがマウント本体13のテーパ面13Yに当接しない位置に後退させてあるくさび部材33をこれに先端部を当接させたY方向調節ネジ35を正転させることで前進させてウレタン32に抗して前進させる。そして、このくさび部材33のテーパ面33Yがマウント本体13のテーパ面13Yに当接した後も前進を継続させてくさび部材33でマウント本体13に対して図面上における上方への力を加える。すると、剛性の低い取付け部12の低剛性部12Bが弾性変形しながらマウント本体13の後部は徐々に上方に変位するようになるので、レーザ光Lはこれとは逆に実線で示す矢印の下方に垂直に移動してセンター位置Cとなる。このとき、レーザ光Lがセンター位置Cより行き過ぎた場合には、Y方向調節ネジ35を逆転させて後退させると、ウレタン32の伸張によりくさび部材35がY方向調節ネジ35に追動して押し戻されるとともに、このくさび部材33の後退に伴なって低剛性部12Bが自己の弾性により復帰するようになるので、マウント部材10はY方向調節ネジ35の後退に追動して下方に変位するようになる。このようにして、Y方向調節ネジ35を正逆回転させて最適な位置に位置合わせする。
これにより、1つのレーザ光Lの照射位置の調節が終了する。調節が終了したら作業者はカメラ40を隣のレーザ光Lの光軸上に移動させ、上述した作業手順で順次隣のレーザ光Lの照射位置の調節を行ない、以後これを繰り返し行って128本の全てのレーザ光Lについて照射位置の調節を行なう。
【0013】
以上のように、本実施例のレーザモジュール4によれば、カメラ40で撮像したレーザ光Lをモニタで確認しながらX方向調節ネジ30とY方向調節ネジ35を回転させるだけで、レーザ光Lの照射位置の調節を容易に高精度に行なうことができるので、従来に比較して調節に要する労力の軽減と時間の短縮を図ることができる。
【0014】
なお、弾性変形する取付け部12(マウント部材10を含む)の素材としては、LD14の冷却を考慮して熱伝導効率に優れた真鍮等が好適である。また、取付け部12をマウント部材10に一体設けていたがこれに限定されるものではなく、ベース部材5に一体に設けるようにしてもよいし、或いはマウント部材10とベース部材5と別体としてもよい。
【0015】
また、本実施例では、共通のベース部材5に128個のマウント部材10を支持させていたがこれに限定されるものではなく、図示しないがマウント部材を個々に支持する同数のベース部材であってもよい。
【0016】
さらに、本実施例では、X方向の調節を行った後に、Y方向の調節を行っていたがこれに限定されるものではなく逆であってもよい。
【0017】
さらにまた、本実施例では、X方向の変形手段XKとY方向の変形手段YKを異なる構成としていたが、いずれか一方の構成に統一してもよい。
【0018】
【発明の効果】
本発明によれば、従来に比較してレーザモジュールの照射位置の調節作業に要する労力の軽減と時間の短縮を図ることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すレーザ製版装置1の平面図。
【図2】製版装置1の側面図
【図3】レーザモジュール4の要部の拡大平面図。
【図4】図3に示すIV−IV線に沿う断面図。
【図5】図4に示すV−V線に沿う断面図。
【符号の説明】
1…レーザ製版装置 2…版胴
4…レーザモジュール 5…ベース部材
10…マウント部材 12…取付け部
13X…テーパ面 30…X方向調節ネジ
33…くさび部材 33Y…テーパ面
35…Y方向調節ネジ XK,YK…変形手段

Claims (5)

  1. レーザ発振素子から出射されるレーザ光を被照射物に照射するレーザモジュールにおいて、
    上記レーザ発振素子を搭載するマウント部材と、このマウント部材を支持するベース部材とを設けるとともに、上記ベース部材とマウント部材とを弾性変形可能な取付け部を介して連結し、
    また、上記取付け部を弾性変形させてマウント部材をベース部材に対して変位させて、被照射物におけるレーザ光の照射位置を調節する変形手段を設け、該変形手段は、ベース部材とマウント部材との間に挿入されるくさび部材と、ベース部材に螺合されるとともにその先端をくさび部材に連動させた調節ネジとを備えており、この調節ネジでくさび部材の挿入量を調節することでマウント部材をレーザ光の光軸に対する直交方向へ変位させることを特徴とするレーザモジュールの照射位置調節装置。
  2. レーザ発振素子から出射されるレーザ光を被照射物に照射するレーザモジュールにおいて、
    上記レーザ発振素子を搭載するマウント部材と、このマウント部材を支持するベース部材とを設けるとともに、上記ベース部材とマウント部材とを弾性変形可能な取付け部を介して連結し、
    また、上記取付け部を弾性変形させてマウント部材をベース部材に対して変位させて、被照射物におけるレーザ光の照射位置を調節する変形手段を設け、該変形手段は、ベース部材に螺合した調節ネジと、この調節ネジの進退方向に対して斜めにマウント部材に形成されて該調節ネジの先端部が当接されるテーパ面とを備えており、調節ネジの突出量を調節することでマウント部材をレーザ光の光軸に対する直交方向へ変位させることを特徴とするレーザモジュールの照射位置調節装置。
  3. 上記取付け部は、マウント部材とベース部材とのいずれか一方に一体的に設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザモジュールの照射位置調節装置。
  4. 上記変形手段は2組設けられ、一方の変形手段は取付け部を弾性変形させてレーザ光の照射位置をX方向に調節し、他方の変形手段は取付け部を弾性変形させてレーザ光の照射位置を上記X方向と直交するY方向に調節することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のレーザモジュールの照射位置調節装置。
  5. 上記被照射物はレーザ製版装置の版胴であって、該レーザ製版装置の版胴に対向し、かつ版胴の軸方向に移動可能にベース部材を設け、そのベース部材を共通として複数のマウント部材を上記版胴の軸方向に沿って複数個並設してあり、一方の変形手段はレーザ光の照射位置を版胴の軸方向に、他方の変形手段はレーザ光の照射位置を版胴の円周方向に調節することを特徴とする請求項4に記載のレーザモジュールの照射位置調節装置。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4460587B2 (ja) 2007-04-20 2010-05-12 大日本スクリーン製造株式会社 露光装置
JP2008265149A (ja) 2007-04-20 2008-11-06 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 露光装置およびレーザー制御部用回路基板
JP4523075B2 (ja) * 2010-01-18 2010-08-11 大日本スクリーン製造株式会社 露光装置
JP4505047B2 (ja) * 2010-01-18 2010-07-14 大日本スクリーン製造株式会社 露光装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63119029A (ja) * 1986-11-07 1988-05-23 Canon Electronics Inc 光学系駆動装置
JPH0248631A (ja) * 1988-08-10 1990-02-19 Juki Corp 光ビーム走査方法及びその装置
JPH09141816A (ja) * 1995-11-17 1997-06-03 Toray Eng Co Ltd 直接製版装置
DE19734411A1 (de) * 1997-08-08 1999-02-11 Heidelberger Druckmasch Ag Verfahren zum Positionieren von Gravierorganen
JPH11170471A (ja) * 1997-12-05 1999-06-29 Toray Eng Co Ltd 印刷用媒体製造装置
JP2002036490A (ja) * 2000-05-17 2002-02-05 Komori Corp 印刷機

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