JP4851325B2 - 光学装置の表面を洗浄する方法及び機器 - Google Patents
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- 特に、極端紫外線及び/又は軟X線を発生する放射線源によってもたらされるメタロイド及び/又は金属の原子及び/又はイオンによって少なくとも部分的に汚染されている、真空室内に配置された光学装置の少なくとも1つの表面を洗浄する方法であって、
前記の洗浄すべき表面上の主温度及び/又は前記真空室内の圧力は、前記の洗浄すべき表面に衝突する前記原子及び/又はイオンが前記表面上で可動であるよう調整され、
前記の洗浄すべき表面上で移動する前記原子及び/又はイオンが前記の洗浄すべき表面上に位置付けられた少なくとも1つの障害物において停止されかつ収集され、前記障害物の位置づけは予め決定可能であり、前記障害物は隆起又は凹部であることを特徴とする方法。 - 前記表面の温度は、約200℃乃至約600℃の範囲に設定されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記光学装置の少なくとも前記表面が、加熱又は冷却されることを特徴とする請求項1又は2記載の方法。
- 前記隆起は、例えば、ストリップ状、円筒状、又はペグ状の形を取ることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記隆起は、前記表面に沿って前記放射線と略又は完全に平行に延在するよう配置されることを特徴とする請求項1又は4記載の方法。
- 前記隆起は、例えば、銅、ニッケル、又は、蓄積の形成を促進する異なる材料から生成されることを特徴とする請求項1及び4のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記隆起は、例えば、CVD処理によって、前記光学装置の前記表面に付されることを特徴とする請求項1,4乃至6のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記凹部は、スロット若しくはグルーブの形を取るか、又は、孔として形成されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記凹部は、例えば、光化学処理又はレーザ処理によって生成されることを特徴とする請求項1又は8記載の方法。
- 数マイクロメートル(μm)乃至約1ミリメートルの範囲にある距離が、前記隆起及び/又は前記凹部間に存在することを特徴とする請求項1,4乃至9のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記障害物において蓄積された前記原子及び/又はイオンは、例えば、化学処理によって、前記光学装置の前記表面から除去されることを特徴とする請求項1乃至10のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記表面にコーティングが設けられることを特徴とする請求項1乃至11のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記コーティングは、最大約0.5ナノメートル(nm)の層厚さを有するよう形成されることを特徴とする請求項12記載の方法。
- 特に、極端紫外線及び/又は軟X線を発生する放射線源によってもたらされるメタロイド及び/又は金属の原子及び/又はイオンによって少なくとも部分的に汚染されている、真空室内に配置された光学装置の少なくとも1つの表面を洗浄する機器であって、
前記の洗浄すべき表面上の主温度及び/又は前記真空室内の圧力は、前記の洗浄すべき表面に衝突する前記原子及び/又はイオンが前記表面上で可動であるよう調整可能であり、
前記の表面上で移動する前記原子及び/又はイオンを停止させ収集するために、少なくとも1つの障害物が前記の洗浄すべき表面上に位置付けられ、前記障害物は隆起又は凹部であることを特徴とする機器。 - 前記表面の温度は、約200℃乃至約600℃の範囲に調整可能であることを特徴とする請求項14記載の機器。
- 前記光学装置の少なくとも前記表面が、加熱又は冷却可能であることを特徴とする請求項14又は15記載の機器。
- 前記隆起は、例えば、ストリップ状、円筒状、又はペグ状の形を取ることを特徴とする請求項14記載の機器。
- 前記隆起は、前記表面に沿って前記放射線と略又は完全に平行に延在するよう配置されることを特徴とする請求項14又は17記載の機器。
- 前記隆起は、例えば、銅、ニッケル、又は、蓄積の形成を促進する異なる材料から生成されることを特徴とする請求項14、17及び18のうちいずれか一項記載の機器。
- 前記隆起は、例えば、CVD処理によって、前記光学装置の前記表面に付されることを特徴とする請求項14,17乃至19のうちいずれか一項記載の機器。
- 前記凹部は、スロット若しくはグルーブの形を取るか、又は、孔として形成されることを特徴とする請求項14記載の機器。
- 前記凹部は、例えば、光化学処理又はレーザ処理によって生成されることを特徴とする請求項14又は21記載の機器。
- 数マイクロメートル(μm)乃至略1ミリメートルの範囲にある距離が、前記隆起及び/又は前記凹部間に存在することを特徴とする請求項14,17乃至22のうちいずれか一項記載の機器。
- 前記障害物において蓄積された前記原子及び/又はイオンは、例えば、化学処理によって、前記光学装置の前記表面から除去可能であることを特徴とする請求項14乃至23のうちいずれか一項記載の機器。
- 前記表面にコーティングが設けられることを特徴とする請求項14乃至24のうちいずれか一項記載の機器。
- 前記コーティングは、最大約0.5ナノメートル(nm)の厚さを有することを特徴とする請求項25記載の機器。
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