JP4849452B2 - プラズマディスプレイパネルの隔壁用ペースト組成物、グリーンシート、及びそれを用いたプラズマディスプレイパネル - Google Patents

プラズマディスプレイパネルの隔壁用ペースト組成物、グリーンシート、及びそれを用いたプラズマディスプレイパネル Download PDF

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Description

本発明はプラズマディスプレイパネルに関する。さらに詳しくは、プラズマディスプレイパネルに用いられる隔壁用ペースト組成物及びグリーンシートに関するものである。
一般に、プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel；以下、当欄で‘ＰＤＰ’という）は、プラズマ放電による発光現象を利用して映像や情報を表示するフラットパネルディスプレイであり、パネル構造、駆動方法によってＤＣ型とＡＣ型に分けられる。ＰＤＰは、隔壁で分離された放電セル内部にプラズマ放電を発生させ、このときに各放電セル内に注入されているＨｅ、Ｘｅなどのガスの放電によって発生する紫外線で蛍光体を励起し、基底状態に戻るときのエネルギーの差によって発生する可視光線の発光現象を用いたディスプレイデバイスである。
ＰＤＰは、単純構造による製作の容易性、高輝度及び高発光効率の優秀性、メモリ機能及び１６０度以上の広視野角を持つ点と共に、４０インチ型以上の大画面を具現することができる長所がある。以下、このようなＰＤＰの構造を概略的に説明する。
ＰＤＰは、対向配置された前面基板及び背面基板と、その間の隔壁とを含み、これら前面基板、背面基板及び隔壁によってセルが区画されて形成される。前面基板には透明電極が形成され、該透明電極上に、透明電極の抵抗を減少するためのバス電極が形成される。背面基板にはアドレス電極が形成される。
隔壁によって区画されたセル内には、蛍光物質が塗布される。また、前面基板には透明電極及びバス電極を覆うように誘電体層が形成され、背面基板にもアドレス電極を覆うように誘電体層が形成される。前面基板の誘電体層上には酸化マグネシウムからなる保護層が形成される。
隔壁は、前面基板と背面基板との間の放電距離を維持すると共に、隣接したセル間の電気的、光学的クロストーク（crosstalk）を防止する役割を果たす。このような隔壁の形成は、ＰＤＰの製造工程において、表示品質と効率のための最も重要な段階であり、パネルが大型化するにつれて隔壁形成技術に対する様々な研究が行われている。
一般に、隔壁形成に用いられる材料には、酸化鉛を５０ｗｔ％以上使用するガラス粉末と有機物とを混合したペーストが使われている。しかし、酸化鉛は人体及び環境に有害な物質として知られており、ガラス粉末生産及び使用において追加環境設備が必要になり、工程効率が落ち、製造原価の増加を招く。また、酸化鉛の含量が多くなると、隔壁の焼成工程時に粘性流動が激しくなり、焼成後に気泡が多くなるという改善点がある。
本発明は、これを解決するためのものであり、本発明の目的は、鉛フリーガラス原料を用いたプラズマディスプレイパネル用親環境の隔壁用ペースト組成物、グリーンシートを提供し、そして、これを用いた隔壁を含むプラズマディスプレイパネルを提供することにある。
隔壁用ペースト組成物の一態様は、鉛フリーガラス粉末３０〜６０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜３０ｗｔ％、可塑剤１〜８ｗｔ％、分散剤０．１〜３ｗｔ％及び溶媒１５〜３５ｗｔ％を含んで構成されることを特徴とする。
また、隔壁用グリーンシートの一態様は、ベースフィルムと、鉛フリーガラス粉末３０〜６０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜３０ｗｔ％、可塑剤１〜８ｗｔ％、分散剤０．１〜３ｗｔ％及び溶媒１５〜３５ｗｔ％を含んで構成された第１ペースト組成物を使用してベースフィルム上に形成された第１膜形成材料層と、鉛フリー系ガラス粉末３０〜６０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜３０ｗｔ％、可塑剤１〜８ｗｔ％、分散剤０．１〜３ｗｔ％及び溶媒１５〜３５ｗｔ％を含んで構成され且つ第１ペースト組成物とはエッチング比率が異なる第２ペースト組成物を使用して第１膜形成材料層上に形成された第２膜形成材料層と、を含んで構成されることを特徴とする。
本発明に係る隔壁用グリーンシートは、ベースフィルムと、該ベースフィルム上に形成され、鉛フリーガラス粉末４０〜７０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜４０ｗｔ％、可塑剤１〜１０ｗｔ％及び分散剤０．１〜５ｗｔ％を含んで構成された第１膜形成材料層と、該第１膜形成材料層上に形成され、鉛フリー系ガラス粉末４０〜７０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜４０ｗｔ％、可塑剤１〜１０ｗｔ％及び分散剤０．１〜５ｗｔ％を含んで構成された第２膜形成材料層と、を含んで構成され、その第２膜形成材料層と第１膜形成材料層とでエッチング比率が異なること特徴とする。
そして、本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、互いに対向配置された背面基板及び前面基板と、背面基板に設けられたアドレス電極及び前面基板に設けられた放電維持電極と、背面基板と前面基板との間に配設されて多数の放電セルを区画する隔壁と、この隔壁で区画された放電セル内に形成される蛍光体層（赤、緑、青色等）と、を含んで構成され、その隔壁が、鉛フリーガラス粉末４０〜７０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜４０ｗｔ％、可塑剤１〜１０ｗｔ％及び分散剤０．１〜５ｗｔ％を含んで構成された第１膜形成材料層と、鉛フリーガラス粉末４０〜７０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜４０ｗｔ％、可塑剤１〜１０ｗｔ％及び分散剤０．１〜５ｗｔ％を含んで構成され、前記第１膜形成材料層とはエッチング比率の異なる第２膜形成材料層と、を積層して形成されることを特徴とする。
本発明に係る隔壁用ペースト組成物、グリーンシート及びこれを用いたプラズマディスプレイパネルは、酸化鉛（ＰｂＯ）を含まない鉛フリーガラス粉末を使用しているので、従来品に比べて環境への影響が少なく、コスト低減、工程効率向上などの長所をもつ。
以下、添付図面を参照して本発明に係る隔壁用ペースト組成物、グリーンシート及びそれを含むプラズマディスプレイパネルの好ましい実施形態を詳細に説明する。
図１は本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルを図示した断面図である。図１を参照すれば、プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel；以下、当欄で‘ＰＤＰ’という）は、前面構造２００及び背面構造３００に分けられる。
前面構造２００では、ガラス基板である前面基板２１０の内側に、透明電極２２０、バス電極２５０、第１、第２ブラックマトリックス２３０、２４０、誘電体層２６０及び保護層２７０が形成されている。
透明電極２２０は、放電セルから供給される光を透過させるために透明なインジウムスズ酸化物（以下、‘ＩＴＯ’という）で形成する。バス電極２５０は、透明電極２２０の内側に形成され、透明電極２２０のライン抵抗を減少させるために、導電性の高い銀（Ａｇ）ペーストが用いられる。導電性の高い物質で形成したバス電極２５０があることで、導電性の低い透明電極２２０の駆動電圧を減少させることができる。第１ブラックマトリックス２３０は、透明電極２２０とバス電極２５０との間に非常に薄く形成されて透明電極２２０及びバス電極２５０を通電させ、 ＰＤＰのコントラストを向上させる役割を担当する。第２ブラックマトリックス２４０は、放電セル間に形成され、隣接した放電セル間で外部光及び内部の透過光を吸収することによって、コントラストを向上させる。このように、第２ブラックマトリックス２４０は放電セル間を区分する役割を担当する。誘電体層２６０は、金属物質からなるバス電極２５０と直接接する層であり、バス電極２５０との化学反応を避けるために軟化点の高いＰｂＯ系のガラスを用いる。このような誘電体層２６０は、放電電流を制限してグロー放電を維持し、プラズマ放電時、発生された電荷が蓄積される。保護膜２７０は、プラズマ放電時、スパッタリングによる誘電体層２６０の損傷を防止すると共に、２次電子の放電効率を上げる。この保護膜２７０は酸化マグネシウム（ＭｇＯ）で形成される。
背面構造３００では、ガラス基板である背面基板３１０の内側に、アドレス電極３２０、誘電体層３３０、隔壁３４０及び蛍光層３５０が形成されている。
アドレス電極３２０は、各放電セルの中央に位置し、７０〜８０μｍ程度の線幅を有する。誘電体層３３０は、アドレス電極３２０と背面基板３１０の全面に位置し、アドレス電極３２０を保護する。隔壁３４０は、誘電体層３３０の内側に位置し、アドレス電極３２０から所定距離離して形成されており、所定の高さの土手形態で形成される。また、隔壁３４０は、低層隔壁３４４と高層隔壁３４２とからなる複層構造を有する。このような隔壁３４０の断面形状は、高層隔壁３４２及び低層隔壁３４４の幅を等しくした長方形の形態、あるいは、高層隔壁３４２の幅を低層隔壁３４４の幅より狭くした台形形態などがあり得る。隔壁３４０は放電距離を維持し、隣接した放電セル間の電気的、光学的干渉を防止するために必要である。蛍光層３５０は、隔壁３４０のセル内側面及び誘電体層３３０のセル内表面に形成される。蛍光層３５０は、プラズマ放電時、発生した紫外線によって励起され、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）中のいずれかの可視光線を発生する。
以下、上記ＰＤＰの発光動作を詳述する。
セル内にある透明電極２２０及びバス電極２５０の間に一定の電圧（電圧マージン範囲内）がかかった状態で、アドレス電極３２０にプラズマを生成するのに十分な追加電圧がかかると、電極２２０，２５０間にプラズマが形成される。気体には、ある程度の自由電子が存在し、電場がかかれば、その自由電子が力（Ｆ＝ｑＥ）を受ける。この力を受けた電子が不活性気体などの最外郭電子を除去するのに十分なエネルギーが得られたとき（第１イオン化エネルギー）、気体がイオン化され、ここで発生したイオンと電子は電磁場の力を受けて両電極に移動する。特に、イオンが保護層２７０に衝突すると、保護層２７０で二次電子が発生され、この電子がプラズマの形成を助ける。従って、初期放電を始めるためには高い電圧が求められるが、一度放電が始まれば、電子密度の増加に伴って低い電圧で良くなる。
このようなＰＤＰ中に注入される気体は、主にＮｅ、Ｘｅ、Ｈｅ等の不活性気体である。中でもＸｅの場合、準安定状態のときに１４７ｎｍと１７３ｎｍの波長の紫外線が生成され、蛍光層３５０にあたることで赤色、緑色または青色の可視光線が発生する。この時に発生される可視光線は、その蛍光層３５０の種類によって決定されるので、各放電セルが赤色、緑色、青色をそれぞれ表示するピクセルになる。各放電セルのＲＧＢ値の組合せによって色合いの調節が行われる。ＰＤＰの場合は、プラズマ発生時間を調節し、これを調節する。発生した可視光線は、前面基板２１０を通して外部に発散する。
以下、背面構造３００の製造工程、特に隔壁３４０の組成物及び製造工程を詳述する。
図２は本発明の実施形態に係る隔壁用グリーンシートを図示した断面図である。図２を参照すれば、グリーンシート１００は、ＰＤＰ構成要素の形成工程、特に、隔壁３４０の形成工程に好適に使われるシートである。
グリーンシート１００は、隔壁３４０を形成するためのペースト組成物をベースフィルム１１０上に塗布（コーティング）し、乾燥させて形成される第１、第２膜形成材料層１２０，１３０を備える。第２膜形成材料層１３０の表面には、保護フィルム１４０が形成されている。ベースフィルム１１０及び保護フィルム１４０は、膜形成材料層１２０，１３０と剥離可能に形成される。
ベースフィルム１１０は、耐熱性及び耐溶剤性を有すると同時に、可撓性を有する樹脂フィルムが好ましい。ベースフィルム１１０が可撓性を有することによって、ペースト組成物の塗布に都合が良くなる。このようなベースフィルム１１０は、膜厚が均一な膜形成材料層１２０，１３０を形成することができるだけでなく、膜形成材料層１２０，１３０をロール状に巻いて保存しうる。
第１、第２膜形成材料層１２０，１３０は、焼成することによって隔壁３４０になる層である。第１、第２膜形成材料層１２０，１３０を形成するためにベースフィルム１１０上に塗布されるペースト組成物は、本発明に係るガラス粉末、充填剤、可塑剤、結合剤（Binder）、分散剤及び溶媒を含んで構成されている。また、ペースト組成物は、レベリング特性及びコーティング特性を向上させるための添加剤をさら、含んでいて良い。
具体的に本例の隔壁用ペースト組成物は、鉛フリー系ガラス粉末３０〜６０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜３０ｗｔ％、可塑剤１〜８ｗｔ％、分散剤０．１〜３ｗｔ％及び溶媒 １５〜３５ｗｔ％を含む。そして好ましくは、消泡剤０〜２ｗｔ％及びレベリング剤０〜２ｗｔ％を含むことができる。
充填剤は、ＺｎＯ、Ａｌ２Ｏ３及びＴｉＯ２よりなる群から選択された一つ以上の物質である。結合剤は、セルロース系、ビニル系、メタアクリル系及びアクリル系（樹脂）よりなる群から選択された一つ以上の物質である。可塑剤は、フタレート系、グリコール系及びアゼレート系（樹脂）よりなる群からされた一つ以上の物質である。溶媒は、メチルエチルケトン、エタノール、キシレン、トルエン、ＰＧＭE、ＭＥＫ、ＩＰＡ、アセトン、トリクロロエタン、ブタノール、ＭＩＢＫ、ＥＡ、ブチルアセテート、シクロヘキサノン、水及びプロピレングリコールモノメチルエーテルよりなる群から選択された一つ以上の物質である。分散剤は、ポリアミンアミド系、燐酸エステル系、ポリイソブチレン、オレイン酸、ステアリン酸、漁油、ポリカルボン酸のアンモニウム塩及びナトリウムカルボキシメチルよりなる群から選択された一つ以上の物質である。
このように、第１、第２膜形成材料層１２０，１３０を形成するためにペースト組成物が構成されるが、当該ペースト組成物をベースフィルム１１０に塗布するとき、第１膜形成材料層１２０を形成する第１ペースト組成物と第２膜形成材料層１３０を形成する第２ペースト組成物とが混合しないようにする必要がある。このために、第１膜形成材料層１２０を形成する第１ペースト組成物の粘度について、第２膜形成材料層１３０を形成する第２ペースト組成物の粘度より高くするい。粘度が同一であると、２つペースト組成物の流動特性が同じであるため、コーティング時に互いに混合し得る。また、第１膜形成材料層１２０と第２膜形成材料層１３０との間に密度差が存在するように設計するのが良い。
さらに、第１膜形成材料層１２０と第２膜形成材料層１３０とは、同じ条件下でエッチング率（エッチング速度）が異なるものとし、特に、第１膜形成材料層１２０が第２膜形成材料層１３０よりエッチング率の低いものとする。本発明の発明者らは、第１ペースト組成物と第２ペースト組成物とにおける充填剤の含量比の差から、そのようなエッチング率の差を生じさせている。
このような第１及び第２ペースト組成物をベースフィルム１１０上にコーティングした後、乾燥させると、本発明に係るグリーンシート１００が形成される。
グリーンシートの乾燥工程が完了した後における第１膜形成材料層１２０及び第２膜形成材料層１３０は、鉛フリー系ガラス粉末４０〜７０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜４０ｗｔ％、可塑剤１〜１０ｗｔ％及び分散剤０．１〜５ｗｔ％を含んで構成されている。ただし、第２膜形成材料層１３０と第１膜形成材料層１２０とはエッチング比率が異なったものとなっている。また本例の場合、第１、第２膜形成材料層１２０，１３０は、消泡剤０〜２ｗｔ％、レベリング剤０〜２ｗｔ％及び溶媒０〜１ｗｔ％を含んだものとしてある。
このように、第１及び第２ペースト組成物における組成比と工程後の第１、第２膜形成材料層１２０，１３０の組成比とは異なったものとなるが、これは、乾燥時等に溶媒などの物質の大部分が除去されるからである。
以下、上記のグリーンシート１００の特性を評価した実験結果について詳述する。
表１には、グリーンシートを形成する第１及び第２ペースト組成物の組成比について、実施例をまとめて示している。当該実施例で、ガラス粉末は鉛フリー系ガラス粉末、充填剤は酸化物結晶相混合物、結合剤はメタアクリルまたはアクリル系からなる物質、分散剤はポリアミンアミド系物質、可塑剤はフタレート系、アゼレート系またはグリコール系物質、消泡剤はエチルヘキサノール、レベリング剤はシロキサン系またはアクリル系物質、溶媒はキシレン、トルエン、ＰＧＭＥ、ＭＥＫ、シクロヘキサノン、ＩＰＡ、酢酸エチルまたはブチルアセテートを用いている。
Figure 0004849452
表１を参照すれば、実施例１の第１及び第２ペースト組成物は、ガラス粉末３６ｗｔ％、結合剤２４ｗｔ％、分散剤１．５ｗｔ％、可塑剤４ｗｔ％及び溶媒２４．５ｗｔ％を含む。但し、第１ペースト組成物は充填剤の含量が６ｗｔ％であり、第２ペースト組成物は充填剤の含量が４ｗｔ％である。実施例２の第１及び第２ペースト組成物は、ガラス粉末４０ｗｔ％、結合剤１８ｗｔ％、分散剤１．３ｗｔ％、可塑剤４ｗｔ％、消泡剤０．１ｗｔ％、レベリング剤０．１ｗｔ％及び溶媒２４．５ｗｔ％を含む。但し、第１ペースト組成物は充填剤の含量が７ｗｔ％であり、第２ペースト組成物は充填剤の含量が５ｗｔ％である。実施例３の第１及び第２ペースト組成物は、ガラス粉末５１ｗｔ％、結合剤１６．７ｗｔ％、分散剤１ｗｔ％、可塑剤１．８ｗｔ％、消泡剤１ｗｔ％及び溶媒１７．５ｗｔ％を含む。但し、第１ペースト組成物は充填剤の含量が５ｗｔ％であり、第２ペースト組成物は充填剤の含量が６ｗｔ％である。実施例４の第１及び第２ペースト組成物は、ガラス粉末４８ｗｔ％、結合剤１４．８ｗｔ％、分散剤１．３ｗｔ％、可塑剤２．７ｗｔ％、レベリング剤１ｗｔ％及び溶媒１８．２ｗｔ％を含む。但し、第１ペースト組成物は充填剤の含量が８ｗｔ％であり、第２ペースト組成物は充填剤の含量が６ｗｔ％である。実施例５の第１及び第２ペースト組成物は、ガラス粉末４６ｗｔ％、結合剤１０．１ｗｔ％、分散剤０．５ｗｔ％、可塑剤６．８ｗｔ％及び溶媒２８．６ｗｔ％を含む。但し、第１ペースト組成物は充填剤の含量が２ｗｔ％であり、第２ペースト組成物は充填剤の含量が６ｗｔ％である。
以上の各実施例においては、上述のように、第１及び第２ペースト組成物の充填剤含量を変えることによって、第１及び第２ペースト組成物のエッチング比率が変わるように設計している。
これら実施例１〜実施例５に係る第１及び第２ペースト組成物をベースフィルム上にコーティングした後、乾燥させてグリーンシートを製作した。乾燥が完了した後の各実施例に係るグリーンシートの組成比は表２に示される通りである。
Figure 0004849452
表２を参照すれば、実施例１の第１及び第２膜形成材料層は、ガラス粉末４７．７ｗｔ％、結合剤３１．２ｗｔ％、分散剤２ｗｔ％、可塑剤５．３ｗｔ％及び溶媒０．４ｗｔ％を含む。但し、第１膜形成材料層は充填剤の含量が７．９ｗｔ％であり、第２膜形成材料層は充填剤の含量が５．３ｗｔ％である。実施例２の第１及び第２膜形成材料層は、ガラス粉末４６．８ｗｔ％、結合剤３２．１ｗｔ％、分散剤１．５ｗｔ％、可塑剤４．６ｗｔ％、消泡剤０．１ｗｔ％、レベリング剤０．１ｗｔ％及び溶媒０．５ｗｔ％を含む。但し、第１膜形成材料層は充填剤の含量が８．２ｗｔ％であり、第２膜形成材料層は充填剤の含量が５．８ｗｔ％である。実施例３の第１及び第２膜形成材料層は、ガラス粉末６１．８ｗｔ％、結合剤２０ｗｔ％、分散剤１ｗｔ％、可塑剤２．２ｗｔ％、消泡剤１．２ｗｔ％及び溶媒０．３ｗｔ％を含む。但し、第１膜形成材料層は充填剤の含量が６．１ｗｔ％であり、第２膜形成材料層は充填剤の含量が７．３ｗｔ％である。実施例４の第１及び第２膜形成材料層は、ガラス粉末５８．６ｗｔ％、結合剤１８．１ｗｔ％、分散剤１．６ｗｔ％、可塑剤３ｗｔ％、レベリング剤１ｗｔ％及び溶媒０．４ｗｔ％を含む。但し、第１膜形成材料層は充填剤の含量が９．８ｗｔ％であり、第２膜形成材料層は充填剤の含量が７．３ｗｔ％である。実施例５の第１及び第２膜形成材料層は、ガラス粉末６４．４ｗｔ％、結合剤１４ｗｔ％、分散剤０．７ｗｔ％、可塑剤９．１ｗｔ％及び溶媒０．３ｗｔ％を含む。但し、第１膜形成材料層は充填剤の含量が２．８ｗｔ％であり、第２膜形成材料層は充填剤の含量が８．４ｗｔ％である。
第１及び第２膜形成材料層には溶媒がほとんど含まれないことを確認することができる。
表３には、上記実施例１〜実施例５のグリーンシート特性を評価した結果を示す。評価基準は強度、伸び率、粘着性、残留溶剤含量、耐電圧、焼成緻密度及び２層構造形成の可否である。
Figure 0004849452
表３に示されるように、実施例１〜実施例５のグリーンシートは、強度、伸び率及び粘着性特性に優れ、残留溶剤の含量も低く、耐電圧も高いことが分かる。また、焼結緻密度も良好で、第１膜形成材料層と第２膜形成材料層とが混合されずに２層構造を維持することが分かる。
このように、本発明に係るペースト組成物を用いて形成したグリーンシート１００の特性は、ＰＤＰの隔壁３４０を形成するに十分であることが分かる。
以下、上記のグリーンシートを用いたプラズマディスプレイパネルの隔壁製造方法に対して詳述する。
図３〜図８は、図１のプラズマディスプレイパネルの隔壁製造工程を要部断面で示した工程図である。
当製造工程では、グリーンシート１００を用いて、アドレス電極３２０及び誘電体層３３０が形成された背面基板３１０に、第１、第２膜形成材料層１２０，１３０を転写する。なお、アドレス電極３２０及び誘電体層３３０は、スパッタリング、イオンメッキ、化学蒸着及び電着などの工程を経て背面基板３１０上に形成されている。
図３に示す工程では、第２膜形成材料層１３０の表面にある保護フィルム１４０を剥離し、背面基板３１０の表面（誘電体層３３０の上）に第２膜形成材料層１３０の表面を当接させて、グリーンシート１００を背面基板３１０に重ね合わせる。そして、ベースフィルム１１０上の第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０が背面基板３１０上に転写されるように、グリーンシート１１０の裏側に加熱ローラ５００を這わせて熱圧着する。この時にグリーンシート１００を転写する方向は、アドレス電極３２０の配線方向に対し、垂直であることが好ましい。
続いて、これにより背面基板３１０上に付いたグリーンシート１００について（図４）、第１膜形成材料層１２０からベースフィルム１１０を剥離して除去する。その後、第１、第２膜形成材料層１２０，１３０が転写された背面基板３１０を５００℃以上の温度で熱処理し、両膜形成材料層を焼結する（図５）。
次いで、図６に示す工程では、第１、第２膜形成材料層１２０，１３０が形成された背面基板３１０に対し、所定パターンの開口が形成されたマスク４００を配置する。マスク４００の開口は、隔壁３４０の形成位置部分を除いた領域に形成されている。そして、マスク４００付きの背面基板３１０をエッチング液で処理し、マスク４００の開口部分にある第１、第２膜形成材料層１２０，１３０を除去することにより、図７に示すように、残った第１、第２膜形成材料層１２０，１３０を高層隔壁３４２及び低層隔壁３４４とした隔壁３４０を成形する。
当該エッチング工程で、第１膜形成材料層１２０及び第２膜形成材料層１３０は、充填剤の含量比の差によってエッチング率に差を有する。本例の含量比は第２膜形成材料層１３０が第１膜形成材料層１２０より高いエッチング率を有するように設計してあるので、第２形成材料層１３０がエッチングされる間の第１膜形成材料層１２０は、側面エッチングによる損傷が少ない。従って、構造的にも機械強度的にも安定した長方形または台形の断面形状を有する隔壁を得ることができる。
隔壁形成後は、図８の工程図に示すように、隔壁３４０で区画されたセル内部に蛍光物質を塗布し、蛍光層３５０を形成する。
以上の実施形態は、例示の目的のために開示されたものであって、本発明に対する通常の知識を有する当業者であれば、本発明の思想と範囲において様々な修正、変更、付加が可能であり、このような修正、変更及び付加なども特許請求の範囲に属する。
本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルを図示した要部断面図である。 本発明の実施形態に係る隔壁用グリーンシートを図示した要部断面図である。 図１のプラズマディスプレイパネルの隔壁製造工程を断面図で説明する工程図である。 図３の続きを説明する工程図。 図４の続きを説明する工程図。 図５の続きを説明する工程図。 図６の続きを説明する工程図。 図７の続きを説明する工程図。
符号の説明
２００ 前面構造
２１０ 前面基板
２２０ 透明電極
２３０ 第１ブラックマトリックス
２４０ 第２ブラックマトリックス
２５０ バス電極
２６０ 誘電体層
２７０ 保護層
３００ 背面構造
３１０ 背面基板
３２０ アドレス電極
３３０ 誘電体層
３４０ 隔壁
３４２ 高層隔壁
３４４ 低層隔壁
３５０ 蛍光層

Claims (6)

  1. ベースフィルムと、
    該ベースフィルム上に形成され、鉛フリーガラス粉末４０〜７０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜４０ｗｔ％、可塑剤１〜１０ｗｔ％及び分散剤０．１〜５ｗｔ％を含んで構成された第１膜形成材料層と、
    該第１膜形成材料層上に形成され、鉛フリーガラス粉末４０〜７０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜４０ｗｔ％、可塑剤１〜１０ｗｔ％及び分散剤０．１〜５ｗｔ％を含んで構成された第２膜形成材料層と、
    を含んで構成され、前記第１膜形成材料層と前記第２膜形成材料層とでエッチング比率が異なることを特徴とする隔壁用グリーンシート。
  2. 前記第２膜形成材料層上の保護フィルムをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の隔壁用グリーンシート。
  3. 前記第１、第２膜形成材料層は、消泡剤０〜２ｗｔ％、レベリング剤０〜２ｗｔ％及び溶媒０〜１ｗｔ％をさらに含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の隔壁用グリーンシート。
  4. ａ）互いに対向配置された背面基板及び前面基板と、
    ｂ）前記背面基板に設けられたアドレス電極及び前記前面基板に設けられた放電維持電極と、
    ｃ）前記背面基板と前記前面基板との間に配置され、多数の放電セルを区画する隔壁と、
    ｄ）前記隔壁で区画された放電セル内に形成された蛍光体層と、
    を含んで構成され、
    前記隔壁は、
    鉛フリーガラス粉末４０〜７０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜４０ｗｔ％、可塑剤１〜１０ｗｔ％及び分散剤０．１〜５ｗｔ％を含んで構成された第１膜形成材料層と、
    鉛フリーガラス粉末４０〜７０ｗｔ％、充填剤１〜１０ｗｔ％、結合剤１０〜４０ｗｔ％、可塑剤１〜１０ｗｔ％及び分散剤０．１〜５ｗｔ％を含んで構成され、前記第１膜形成材料層とはエッチング比率の異なる第２膜形成材料層と、
    を積層して形成される、
    ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
  5. 前記第１、第２膜形成材料層は、消泡剤０〜２ｗｔ％及びレベリング剤０〜２ｗｔ％をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネル。
  6. 前記充填剤は、ＺｎＯ、Ａｌ２Ｏ３及びＴｉＯ２よりなる群から選択される一つ以上の物質を含む請求項４又は請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル。
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