JP4847784B2 - チャックテーブルからのウェーハの取り外し方法 - Google Patents
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Description
2:チャックテーブル
20:支持板
21:保持部
210:表面 210a:溝
21a:第一の吸引部 21b:第二の吸引部
21c:第一の吸引源 21d:第二の吸引源
22:駆動源 23a、23b:移動基台 24a、24b:ボールネジ
25a、25b:ガイドレール 26a、26b:モータ
27:フレーム保持部
270:支持部材 271:押圧部材
29:枠体
29a:外周溝
290:枠体
290a:フレーム保持部
3:レーザー光照射手段
30:ハウジング 31:加工ヘッド 32:支持部 33a:出力調整手段
33b:発振手段 33c:周波数設定手段
34:Z軸送り手段
340:壁部 341:ボールネジ 342:パルスモータ
343:ガイドレール
35:Y軸方向送り手段
350:ボールネジ 351:移動基台 352:パルスモータ
353:ガイドレール
4:アライメント手段
40:撮像部
5:空間
5a:加熱手段
10:温風吹き付け手段
10a:吹き出し口
W:ウェーハ
D:デバイス S:分離予定ライン
T:ダイシングテープ F:フレーム
Claims (3)
- 複数のデバイスが分離予定ラインによって区画されて形成されダイシングテープを介してフレームに支持されたウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハにレーザー光を照射するレーザー光照射手段とを少なくとも含み、該チャックテーブルは、該ダイシングテープを介して該ウェーハを保持する保持部と、該フレームを保持するフレーム保持部とを備えたレーザー加工装置を用い、該レーザー光照射手段から該分離予定ラインにレーザー光を照射して個々のデバイスに分割した後に、該ウェーハを該チャックテーブルから取り外す方法であって、
該分離予定ラインに対するレーザー光の照射後であって該ウェーハを該チャックテーブルから取り外す前に、該ダイシングテープを加熱することを特徴とするチャックテーブルからのウェーハの取り外し方法。 - 前記ダイシングテープの加熱は、前記保持部の加熱により行うことを特徴とする請求項1に記載のチャックテーブルからのウェーハの取り外し方法。
- 前記ダイシングテープの加熱は、前記ウェーハに対する温風の吹き付けにより行うことを特徴とする請求項1に記載のチャックテーブルからのウェーハの取り外し方法。
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- 2006-04-28 JP JP2006125423A patent/JP4847784B2/ja active Active
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