JP4830605B2 - 電圧振動型ヨーレートセンサおよびその駆動方法 - Google Patents
電圧振動型ヨーレートセンサおよびその駆動方法 Download PDFInfo
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Description
2 第1駆動電極
3 第2駆動電極
9 ヨーレート検出回路
10 駆動部
11 振幅検出部
12 ゲインコントロール部
13 駆動タイミング生成部
14 2倍周波数検波部
Claims (6)
- 振動体と,前記振動体に対して静電容量をなす第1および第2駆動電極と,前記振動体の電位信号を出力するチャージアンプと,前記第1および第2駆動電極に対し逆相の振動電圧を印加する駆動部と,前記チャージアンプの出力信号の振幅が不足している場合には前記駆動部が発する振動電圧の振幅を増加させ,前記チャージアンプの出力信号の振幅が過剰である場合には前記駆動部が発する振動電圧の振幅を減少させる振幅調整部と,前記チャージアンプの出力信号に基づいて,前記駆動部が発する振動電圧の周波数を前記振動体の共振周波数と一致させるとともに,前記駆動部が発する振動電圧の位相を前記振動体の振動に対して90°ずれた位相とするように調整するタイミング決定部と,前記チャージアンプの出力信号に基づいてヨーレートを検出するヨーレート検出部とを有する電圧振動型ヨーレートセンサにおいて,
前記チャージアンプの出力信号から,前記駆動部が発する振動電圧の印加により前記振動体に生じる電荷の影響である成分を抽出し,その抽出した成分の振幅に基づいて,前記振動体の電荷の発生を抑制する補正信号を出力する補正部を有し,
前記補正部は,
前記チャージアンプの出力信号を,前記駆動部が発する振動電圧の周波数の2倍の周波数で検波することにより,前記電荷の影響である成分の抽出を行う検波部と,
前記検波部の出力信号の振幅に基づいて前記補正信号を生成する補正信号生成部とを有するものであり,
前記駆動部は,前記第1および第2駆動電極への振動電圧のうち,前記補正信号の符号と一致する方の振幅を,他方の振幅に対して相対的に減少させる補正を行うことを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサ。 - 請求項1に記載の電圧振動型ヨーレートセンサにおいて,前記検波部は,
前記駆動部が発する振動電圧の周波数として,前記タイミング決定部で決定した周波数を用いるものであることを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサ。 - 請求項1または2に記載の電圧振動型ヨーレートセンサにおいて,前記駆動部は,
前記補正部が出力する補正信号により,前記第1および第2駆動電極への振動電圧の一方の振幅を補正することを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサ。 - 振動体と,前記振動体に対して静電容量をなす第1および第2駆動電極と,前記振動体の電位信号を出力するチャージアンプと,前記第1および第2駆動電極に対し逆相の振動電圧を印加する駆動部と,前記チャージアンプの出力信号の振幅が不足している場合には前記駆動部が発する振動電圧の振幅を増加させ,前記チャージアンプの出力信号の振幅が過剰である場合には前記駆動部が発する振動電圧の振幅を減少させる振幅調整部と,前記チャージアンプの出力信号に基づいて,前記駆動部が発する振動電圧の周波数を前記振動体の共振周波数と一致させるとともに,前記駆動部が発する振動電圧の位相を前記振動体の振動に対して90°ずれた位相とするように調整するタイミング決定部と,前記チャージアンプの出力信号に基づいてヨーレートを検出するヨーレート検出部とを有する電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法において,
前記チャージアンプの出力信号を前記駆動部が発する振動電圧の周波数の2倍の周波数で検波することにより,前記チャージアンプの出力信号から,前記駆動部が発する振動電圧の印加により前記振動体に生じる電荷の影響である成分を抽出し,その抽出した成分の振幅に基づいて,前記振動体の電荷の発生を抑制する補正信号を出力し,
前記駆動部は,前記第1および第2駆動電極への振動電圧のうち,前記補正信号の符号と一致する方の振幅を,他方の振幅に対して相対的に減少させる補正を行うことを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法。 - 請求項4に記載の電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法において,
前記振動体の電荷に相当する信号の抽出のための検波を,前記チャージアンプの出力信号に基づいて前記タイミング決定部で決定した,前記駆動部が発する振動電圧の周波数の2倍の周波数で行うことを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法。 - 請求項4または5に記載の電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法において,
前記補正信号により,前記第1および第2駆動電極への振動電圧の一方の振幅を補正することを特徴とする電圧振動型ヨーレートセンサの駆動方法。
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