JP3718786B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、振動ジャイロに関し、特に、振動体を自励発振駆動する帰還型自励発振回路を具備する振動ジャイロに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来例を図2および図3を参照して説明する。
図2において、1は弾性金属或は半導体により構成される振動ジャイロの振動体を示す。この振動体1は、図3に示される如く6角柱状に構成され、支持部40を介してフレーム部30に一体に構成されている。この振動体1の上面の中央部には駆動用圧電素子2が形成される。この駆動用圧電素子2はジルコンチタン酸鉛(PZT)、酸化亜鉛(ZnO)その他の圧電材料を、振動体1の上面の中央部に直接にスパッタリング或は蒸着することにより被着形成される。振動体1の下側の斜面の中央部には検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bが形成される。この検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bも、駆動用圧電素子2と同様に、ジルコンチタン酸鉛(PZT)、酸化亜鉛(ZnO)その他の圧電材料を振動体1の下側の斜面の中央部に直接にスパッタリング或は蒸着することにより形成される。これらの圧電素子にはそれぞれ圧電素子電極被膜が成膜される。
【0003】
4は加算回路であり、10は位相調整用フィルタ6およびコンパレータ7より成る帰還型自励発振回路である。駆動用圧電素子2の電極は発振回路10に接続し、検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bの電極は加算回路4に接続している。なお、弾性金属或は半導体より成る振動体1のこれら圧電素子の形成される表面自体は、これら圧電素子それぞれの他方の電極を構成している。回路を単一電源で駆動させる必要上、振動体1に定電圧素子8から基準電圧が付与されている。
【0004】
発振回路10の発振振動数は振動体1の駆動方向の固有振動数と同一の振動数の駆動信号を発生する。この駆動信号が駆動用圧電素子2に印加され、これにより振動体1は図2において上下方向に屈曲振動せしめらる。そして、振動体1はその上下方向の歪みの大きさおよび振動数に対応して図2における左右方向にも屈曲振動し、検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bはそれぞれこの屈曲振動に対応する電圧出力を発生する。
【0005】
振動体1を上下方向に駆動振動している時に入力軸である振動体の軸回りの角速度が入力されると、左右方向にコリオリ力が生じて振動体1には左右方向の力が作用する。このコリオリ力により振動体1の振動方向がずれるところから検出用圧電素子3の出力電圧は変化する。この場合、検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bの内の一方の出力は増加するのに対して、他方の検出用圧電素子の出力は減少する。何れか一方の検出用圧電素子3の出力の変化量、或は両者の出力の差動出力の変化量を加算回路4により加算出力する。
【0006】
ここで、図5を参照するに、加算回路4の加算出力は(a)に示される通りの位相、振幅を有するA’である。位相調整用フィルタ6はこの加算出力A’に対して、定電圧素子8の基準電圧C’を基準にして駆動用圧電素子2から駆動用のコンパレータ7までの位相をほぼ0°にする位相調整を施し、出力する回路である。この位相調整用フィルタ6の出力は(b)に示されるB’であり、これとコンパレータの閾値として(c)の基準電圧C’をコンパレータ7に入力する。これらの比較結果である(d)の矩形波D’を駆動信号として振動体1の駆動用圧電素子2に印加することにより振動体1を自励発振駆動している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
以上の振動ジャイロの発振回路10は、検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bの出力或は加算回路4の出力A’にオフセットが含まれると、出力A’はオフセットの分だけ信号レベルが変化する。従って、出力A’がコンパレータ7の基準電圧C’を通過するタイミングは図5(b)に示される如くオフセットを通過するタイミングとは異なる。コンパレータ7はこの基準電圧C’を閾値電圧C’とするものであり、図5(c)および図5(d)に示される如く、コンパレータ7の出力D’のデューティサイクルは50%から変動し、振動体1を安定して駆動することが困難になる。これに起因して、検出角速度および出力バイアスが変動し、振動ジャイロの動作は正確性を欠くに到る。
【0008】
この発明は、上述の問題を解消した振動体を自励発振駆動する帰還型自励発振回路を具備する振動ジャイロを提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
弾性金属或は半導体を多角柱状に形成して支持部40を介してフレーム部30に一体に構成される振動体1を具備し、振動体1に駆動用圧電素子2および1対の検出用圧電素子3aおよび3bを形成して単一電源で動作する帰還型自励発振回路10により振動体1を駆動振動させて角速度を検出する振動ジャイロにおいて、帰還型自励発振回路は検出用圧電素子の加算出力を位相調整した結果の出力電圧と加算出力のオフセットとに基づいて矩形波を生成するものである振動ジャイロを構成した。
【0010】
そして、帰還型自励発振回路10は加算回路4の出力を入力してそのオフセットを生成するオフセット電圧用フィルタ5、加算回路4の出力を位相調整する位相調整用フィルタ6、オフセット電圧用フィルタ5の生成するオフセット電圧Co と位相調整用フィルタ6の位相調整出力電圧Bとを入力して矩形波を生成するコンパレータ7より成るものである振動ジャイロを構成した。
【0011】
また、オフセット電圧用フィルタ5は抵抗を入力端とする逆L型RCフィルタより成るものである振動ジャイロを構成した。
【0012】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を図1を参照して説明する。図1において、図2における参照数字と共通する参照数字は互に共通する部材を意味するものとする。
振動体1は、図2の従来例と同様に、6角柱状に構成されている。この振動体1の上面の中央部には駆動用圧電素子2が形成される。振動体1の下側の斜面の中央部には検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bが形成される。これらの圧電素子にはそれぞれ圧電素子電極被膜が成膜される。駆動用圧電素子2の電極は帰還型自励発振回路10に接続し、検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bの電極は加算回路4に接続している。なお、弾性金属或は半導体より成る振動体1のこれら圧電素子の形成される表面自体は、これら圧電素子それぞれの他方の電極を構成している。回路を単一電源で駆動させる必要上、振動体1に定電圧素子8から基準電圧が付与されている。
【0013】
帰還型自励発振回路10の発振振動数は振動体1の駆動方向の固有振動数と同一の振動数の駆動信号を発生する。この駆動信号が駆動用圧電素子2に印加されてこれにより振動体1は図1において上下方向に屈曲振動せしめらる。そして、振動体1はその上下方向の歪みの大きさおよび振動数に対応して図1における左右方向にも屈曲振動し、検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bはそれぞれこの屈曲振動に対応する電圧出力を発生する。
【0014】
ここで、振動体1が上下方向に駆動振動している時に入力軸である振動体の軸回りの角速度が入力されると、左右方向にコリオリ力が生じて振動体1には左右方向の力が作用する。このコリオリ力により振動体1の振動方向がずれるところから検出用圧電素子3の出力電圧は変化する。この場合、検出用圧電素子3aおよび検出用圧電素子3bの内の一方の出力は増加するのに対して、他方の検出用圧電素子の出力は減少する。何れか一方の検出用圧電素子3の出力の変化量、或は両者の出力の差動出力の変化量を加算回路4により加算出力する。
【0015】
図4を参照するに、加算回路4の加算出力は図4(a)に示される通りのAである。この発明はこの加算出力Aをオフセット電圧用フィルタ5に入力し、図4(c)のオフセット電圧Co を発生出力する。このオフセット電圧Co を位相調整用フィルタ6に印加すると共に、この位相調整用フィルタ6には加算回路4の加算出力Aも印加し、位相調整用フィルタ6は加算出力Aに対してこのオフセット電圧Co を基準にして駆動用圧電素子2から駆動用コンパレータ7までの位相をほぼ0°にする位相調整を施して出力する。この位相調整用フィルタ6の出力である図4(b)のBと先のオフセット電圧用フィルタ5の出力するのオフセット電圧Co をコンパレータ7に入力する。これらの比較結果である図4(d)の矩形波Dを振動体1の駆動用圧電素子2に印加することにより振動体1の自励発振駆動が行なわれる。
【0016】
ここで、加算出力Aのオフセットが変動した時、位相調整用フィルタ6の出力Bのオフセットと、オフセット電圧用フィルタ5から出力されるオフセット電圧は共に同様に変動するところから、コンパレータ7においては常に入力の高低の中間の電圧を基準として矩形波を出力することになる。その結果、波形のデューティサイクルは50%となり、振動体1を安定して駆動させることになる。従って、動作状態の安定した振動ジャイロを得ることができる。
【0017】
【発明の効果】
以上の通りであって、この発明は、振動ジャイロの帰還型自励発振回路において、振動体の検出用圧電素子の電圧出力の加算結果の位相調整出力とそのオフセット電圧を比較することにより常に電圧出力の中間電圧を基準にした比較をすることとなり、検出用圧電素子の電圧出力および加算回路の電圧出力のオフセット電圧の変動に対して発振出力用のコンパレータから安定したデューティサイクル50%の矩形波出力が得られる。従って、振動状態が安定した振動ジャイロが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例を説明する図。
【図2】従来例を説明する図。
【図3】振動体を説明する図。
【図4】実施例の電圧波形を説明する図。
【図5】従来例の電圧波形を説明する図。
【符号の説明】
1 振動体
2 駆動用圧電素子
3a、3b 検出用圧電素子
4 加算回路
5 オフセット電圧用フィルタ
6 位相調整用フィルタ
10 発振回路
30 フレーム部
40 支持部
Claims (3)
- 弾性金属或は半導体を多角柱状に形成して支持部を介してフレーム部に一体に構成される振動体を具備し、振動体に駆動用圧電素子および1対の検出用圧電素子を形成して単一電源で動作する帰還型自励発振回路により振動体を駆動振動させて角速度を検出する振動ジャイロにおいて、
帰還型自励発振回路は検出用圧電素子の加算出力を位相調整した結果の出力電圧と加算出力のオフセットとに基づいて矩形波を生成するものであることを特徴とする振動ジャイロ。 - 請求項1に記載される振動ジャイロにおいて、
帰還型自励発振回路は加算回路の加算出力を入力してそのオフセットを生成するオフセット電圧用フィルタ、加算回路の加算出力を位相調整する位相調整用フィルタ、オフセット電圧用フィルタの生成するオフセット電圧と位相調整用フィルタの位相調整出力電圧とを入力して矩形波を生成するコンパレータより成るものであることを特徴とする振動ジャイロ。 - 請求項2に記載される振動ジャイロにおいて、
オフセット電圧用フィルタは抵抗を入力端とする逆L型RCフィルタより成るものであることを特徴とする振動ジャイロ。
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