JP4830326B2 - 半導体モジュールおよびその製造方法 - Google Patents
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図2は、実施の形態の変形例を説明するための図である。
Claims (4)
- パワー半導体素子と、
放熱板と、
前記パワー半導体素子と前記放熱板との間に設けられるダイアモンドライクカーボン膜と、
前記ダイアモンドライクカーボン膜の表面に重ねて設けられ、前記パワー半導体素子と前記放熱板との間を絶縁する絶縁樹脂層とを備え、
前記ダイアモンドライクカーボン膜は、
均一膜厚の第1層と、
表面粗さを強調するために前記第1層上に部分的に形成される第2層とを含む、半導体モジュール。 - 前記絶縁樹脂層上に設けられ前記パワー半導体素子と電気的に接続される電極をさらに備える、請求項1に記載の半導体モジュール。
- 前記絶縁樹脂層は、前記ダイアモンドライクカーボン膜の欠陥を封孔する、請求項1に記載の半導体モジュール。
- 放熱板上にダイアモンドライクカーボンの均一な第1層を形成するステップと、
前記第1層を形成した後に部分的にダイアモンドライクカーボンの第2層を形成するステップと、
前記第1層および前記第2層で形成されたダイアモンドライクカーボン層の表面に絶縁樹脂を形成するステップと、
前記絶縁樹脂の表面に電極を形成するステップと、
前記電極にパワー半導体素子を接合するステップとを備える、半導体モジュールの製造方法。
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