JP4829340B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る微粒子膜形成装置の要部(微粒子噴出ノズル)を示す断面図である。本実施形態の微粒子形成装置は、大きく分けて、図1に示す微粒子噴出ノズルと、図示しないキャリアガス供給源と、図示しない外部光源と、図示しない微粒子噴出ノズルの移動手段とから構成されている。
図4は、本発明の第2の実施形態に係る微粒子形成装置の要部(微粒子噴出ノズル)を示す断面図である。これは、微粒子噴出ノズルを上から見た断面図である。なお、図1の微粒子噴出ノズルと対応する部分には、図1と同一の符号を付してあり、その詳細な説明は省略する。
図8は、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置のパッド電極の形成方法を示す工程断面図である。
図11は、本発明の第4の実施形態に係るバンプ電極構造の形成方法を示す工程断面図である。これは図8(b)の領域Cに相当する工程断面図である。
本実施形態がこれまで説明した実施形態と異なる点は、半田ボールを形成した後の熱処理工程にある。
本実施形態がこれまで説明した実施形態と異なる点は、Ni微粒子膜の形成方法にある。
図14は、本発明の第7の実施形態に係るバンプ電極構造の形成方法を示す工程断面図である。
本実施形態がこれまで説明した実施形態と異なる点は、Ni微粒子膜の形成方法にある。すなわち、本実施形態の特徴は、Ni微粒子膜としてNi微粒子が分散されたペースト(Ni微粒子ペースト)を用いることにある。
図15は、本発明の第9の実施形態に係るマルチチップ半導体装置用チップの製造方法を示す工程断面図である。本実施形態の特徴は、Ni微粒子が混濁された溶液(Ni分散液)を用いた成膜方法により、微粒粒子膜を成膜することにあるが、特に本実施形態では貫通プラグへの適用例で示す。研濁まず、図15(a)に示すように、MOSトランジスタ等の素子が形成されたシリコン基板51上に層間絶縁膜55を形成する。図中、52は素子分離絶縁膜、53はMOSトランジスタのゲート部(ゲート酸化膜、ゲート電極、ゲートキャップ絶縁膜、ゲート側壁絶縁膜)、54はLDD構造のソース・ドレイン拡散層を示している。
図16は、本実施形態の第10の実施形態に係るマルチチップ半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
高密度なNi微粒子膜を形成する方法の1つとして、基板に衝突するNi微粒子の運動エネルギーを増加させる方法があることを先に述べた。ここでは、この磁場を用いた方法についてさらに説明する。
Claims (3)
- 半導体基板上にパッド電極を形成する工程と、
このパッド電極が形成された側の前記半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記パッド電極上の前記絶縁膜を除去し、前記絶縁膜に前記バッド電極に達する開口部を形成する工程と、
この開口部の底部に、導電性微粒子からなる、密着層およびバリア膜としての導電性微粒子膜を微粒子成膜法を用いて形成する工程と、
この導電性微粒子膜上に半田で形成されたバンプ電極を配置する工程と、
前記導電性微粒子膜の自然酸化膜、または前記導電性微粒子膜および前記バンプ電極の自然酸化膜を除去する工程と、
前記バンプ電極と前記導電性微粒子膜とを接合させる工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板上に上面がバリア膜で覆われたパッド電極を形成する工程と、
このパッド電極が形成された側の前記半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記バリア膜上の前記絶縁膜を除去し、前記絶縁膜に前記バリア膜に達する開口部を形成する工程と、
この開口部の底部に、導電性微粒子からなる、密着層としての導電性微粒子膜を微粒子成膜法を用いて形成する工程と、
この導電性微粒子膜上に半田で形成されたバンプ電極を配置する工程と、
前記導電性微粒子膜の自然酸化膜、または前記導電性微粒子膜および前記バンプ電極の自然酸化膜を除去する工程と、
前記バンプ電極と前記導電性微粒子膜とを接合させる工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板上にパッド電極を形成する工程と、
このパッド電極が形成された側の前記半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記パッド電極上の前記絶縁膜を除去し、前記絶縁膜に前記パッド電極に達する開口部を形成する工程と、
この開口部が形成された側の基板全面にバリア膜を形成する工程と、
前記開口部内の前記バリア膜上に、導電性微粒子からなる、密着層としての導電性微粒子膜を微粒子成膜法を用いて形成する工程と、
この導電性微粒子膜上に半田で形成されたバンプ電極を配置する工程と、
前記導電性微粒子膜の自然酸化膜、または前記導電性微粒子膜および前記バンプ電極の自然酸化膜を除去する工程と、
前記バンプ電極と前記導電性微粒子膜とを接合させる工程と、
前記開口部外の前記バリア膜を除去する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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