JP4817616B2 - 磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素子を用いた記憶装置 - Google Patents
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Description
(第1の実施例)
本発明の第1の実施例を、図1の概略断面図を用いて説明する。基板面方位が(100)でオリエンテーションフラットが(110)面の結晶シリコンからなる基板100の表面と裏面とに一辺が(110)方向である長方形の被エッチング領域以外の領域を覆うようにレジストパターンを形成し、(111)面方位依存性のあるエッチング溶液である水酸化テトラメチルアンモニウム溶液に浸しエッチングを行い、鋸歯形状の溝を形成する。この際、基板100の表側から形成された溝の頂点が裏側から形成された溝の頂点と繋がるようにする。
(第2の実施例)
本実施例について、図2を用いて説明する。シリコンからなる基板100(図示せず)上に1.2μmの厚さの第1のアルミ膜を成膜し、FIB(Focused Ion Beam)を用いて所望の位置に窪みを形成し空孔の起点とする。第1のアルミ膜全体を陽極酸化処理することによって直径数10nmの空孔を空けると共にアルミを第1の絶縁体(層)101とする。上記陽極酸化処理は、従来の方法を用いることが可能であり、シュウ酸溶液中にアルミ膜を入れこれを陽極としてパルス電圧を印加し水を電気分解する。陽極から発生した酸素はアルミ膜と反応し、酸化アルミ膜となる。このときFIBによって形成した窪みを基点として微細な空孔が形成される。
(第3の実施例)
本実施例について図3を用いて説明する。シリコンからなる基板100(図示せず)上に1μmの厚さの第1のアルミ膜を成膜し、所望の位置に針を押し付けることにより窪みを形成し空孔の起点とする。起点の形成はもちろん第2の実施例に記載のようにFIBで形成しても構わない。
(第4の実施例)
第2の実施例に記載の磁気抵抗効果素子は、第1の磁性体201と第2の磁性体202の体積が異なるためスピン注入による磁化反転も可能である。
(第5の実施例)
本実施例について、図5を用いて説明する。第1のアルミ膜を1.5μm成膜し、所望の位置に針を押し付けることによってエッチングの起点となる窪みを形成する。陽極酸化することによって柱状の空孔を形成するとともにアルミを酸化させる。
(第6の実施例)
本発明の磁気抵抗効果素子をメモリ素子として不揮発メモリが実現可能である。p型シリコンウエハー104表面に形成したソースおよびドレイン領域となるn型拡散領域105、106と、該n型拡散領域105,106の間に、シリコンウエハー104とゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極107とを有するn型のMOS(NMOS)トランジスタを有している。
またゲート電極107には、情報の読み出しの際に所望の素子を選択するためのワード線が接続されている。
(第7の実施例)
本発明の、第4の実施例に記載の磁気抵抗効果素子をメモリ素子として用い、情報の記録方法にスピン注入を用いることによって、図7に示す、ように、本発明の磁気抵抗効果素子をビット線とワード線との間に本発明の磁気抵抗効果素子を挟んだ、クロスポイント型構造が取れる。
101 第1の絶縁体
102 第2の絶縁体
103 非磁性金属膜
104 p型シリコン基板
105 n型拡散領域
106 n型拡散領域
107 ゲート電極(ワード線)
108 コンタクトプラグ
109 コンタクトプラグ
110 ソース電極
111 書き込み線
112 書き込み線
113 ビット線
114 ワード線
121 共晶薄膜
200 磁気抵抗効果素子
201 第1の磁性体
202 第2の磁性体
203 第3の磁性体
204 第4の磁性体
211 反強磁性体
301 磁性膜
302 磁性膜
303 非磁性膜
Claims (11)
- 絶縁体膜中に該膜面に垂直な方向に対向して設けられた第1の磁性体および第2の磁性体が、接続部で接続された磁気抵抗効果素子であって、前記絶縁体膜はアルミニウムの陽極酸化により形成された酸化アルミニウムからなり、前記第1の磁性体及び前記第2の磁性体は、遷移金属元素の中から選ばれる少なくとも1種類の元素を含み、前記接続部は、共晶薄膜から得られたシリコンの酸化処理物である絶縁薄膜と、該絶縁薄膜に設けられた複数の空孔に充填された磁性体からなり、前記第1の磁性体及び前記第2の磁性体は、前記空孔に充填された前記磁性体により局部的に結合されており、前記第1の磁性体および前記第2の磁性体の磁化方向がなす角度によって電気抵抗が異なることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
- 前記第1の磁性体および前記第2の磁性体はともに前記絶縁体膜の膜面内方向の長さよりも膜面垂直方向の長さが長いことを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記絶縁体膜の膜面垂直方向に磁化容易軸を有することを特徴とする請求項1または2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1の磁性体および前記第2の磁性体のうち少なくとも一方は、希土類から選ばれる少なくとも1種類の元素と遷移金属から選ばれる少なくとも1種類の元素の合金であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1の磁性体あるいは前記第2の磁性体のいずれか一方が一方向異方性を有する反強磁性体と交換結合していることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1の磁性体あるいは前記第2の磁性体のいずれか一方が前記第1の磁性体および前記第2の磁性体の保磁力よりも大きな保磁力を有する第3の磁性体と交換結合していることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子をメモリ素子とし、記録する情報に対応させて前記メモリ素子の磁化を所望の方向に向ける記録手段と、前記メモリ素子に電流を流すことにより前記メモリ素子の磁化方向を検出する検出手段を有するメモリ。
- 請求項7に記載の前記記録手段が導線に電流を流し発生する磁界を前記メモリ素子に印加することにより前記メモリ素子の磁化方向を所望の方向に向け記録を行う機構であることを特徴とするメモリ。
- 請求項7に記載の前記記録手段が電流をスピン偏極させる部位を有し、スピン偏極した電流を前記メモリ素子に流すことによって、前記メモリ素子の磁化方向を所望の方向に向け記録を行う機構であることを特徴とするメモリ。
- 電流をスピン偏極させる部位が非磁性膜と磁性膜の多層膜からなることを特徴とする請求項9に記載のメモリ。
- 電流をスピン偏極させる部位が半導体と該半導体に電場を印加する機構からなることを特徴とする請求項9に記載のメモリ。
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