JP4811324B2 - スパッタリングターゲット - Google Patents
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Description
平均粒径1.3μmの酸化インジウム粉末1350gと平均粒径0.7μmの酸化スズ粉末150gをポリエチレン製のポットに入れ、乾式ボールミルにより72時間混合し、混合粉末を製造した。
(焼結条件)
焼結温度:1500℃、昇温速度:25℃/Hr、焼結時間:10時間、雰囲気:酸素雰囲気
得られた焼結体サイズは、101.6×177.8mmでエロージョン部の厚さ12mmであった。
(スパッタリング条件)
DC電力:300w、スパッタガス:Ar+O2、ガス圧:5mTorr、O2/Ar:0.1%
この後、装置内に4インチφのSiウエハーを投入して再度上記条件でウエハー上に150nmのITO膜を形成した後、ウエハー上に付着した1μm以上のパーティクル数をレーザーパーティクルカウンターを用いて測定した。1μm以上のパーティクルの付着数は1個であった。使用後のターゲット表面を観察したところ、ノジュール発生量は少なく、黄色粉末はターゲット外周部(図3(b)部分)に強固に付着していた。
平均粒径が1μmの酸化亜鉛粉末98重量部と平均粒径が0.2μmの酸化アルミニウム粉末2重量部とをポリエチレン性のポットに入れ、乾式ボールミルにより72時間混合し、混合粉末を作製した。この混合粉末を金型に入れ、300kg/cm2の圧力でプレスを行い成形体とした。この成形体を3ton/cm2の圧力でCIPによる緻密化処理を行った。次に該成形体を以下の条件で焼結した。
(焼結条件)
焼結温度:1500℃、昇温速度:25℃/Hr、焼結時間:10時間、雰囲気:酸素雰囲気
得られた焼結体サイズは、101.6×177.8mmでエロージョン部の厚さ12mmであった。
(スパッタリング条件)
DC電力:300w、スパッタガス:Ar、ガス圧:5mTorr、
この後、装置内に4インチφのSiウエハーを投入して再度上記条件でウエハー上に150nmのAl添加酸化亜鉛膜を形成した後、ウエハー上に付着した1μm以上のパーティクル数をレーザーパーティクルカウンターを用いて測定した。1μm以上のパーティクルの付着数は2個であった。使用後のターゲット表面を観察したところ、ノジュール発生量は少なく、黄色粉末はターゲット外周部(図3(b)部分)に強固に付着していた。
実施例1と同じ方法でITO焼結体を作製した。
実施例1と同じ方法でITO焼結体を作製した。
2 ターゲットのスパッタリング面
3 ターゲット側面
4 斜面
Claims (5)
- スパッタリング面とターゲット側面との間に斜面を介在させた形状であり、スパッタリング面の全面及び斜面のスパッタリング面側の一部がエロージョン領域に含まれるスパッタリングターゲットにおいて、前記斜面の表面粗さが、スパッタリング面の表面粗さより粗く、かつ、スパッタリング面に近い側からターゲット側面側にかけて、徐々に増加していることを特徴とするスパッタリングターゲット。
- 前記斜面の内、前記ターゲットのスパッタリング面と前記ターゲット側面との中間地点からスパッタリング面側の部分の中央部における表面粗さRaが3μm以下であることを特徴とする請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記斜面の内、前記ターゲットのスパッタリング面とターゲット側面との中間地点からターゲット側面側の部分の中央部における表面粗さRaが6μm以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記ターゲットが酸化インジウムを重量比で60%以上含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記ターゲットが酸化亜鉛を重量比で60%以上含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のスパッタリングターゲット。
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JP2007093335A JP4811324B2 (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | スパッタリングターゲット |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007093335A JP4811324B2 (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | スパッタリングターゲット |
Publications (2)
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JP2008248346A JP2008248346A (ja) | 2008-10-16 |
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Family Applications (1)
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JP2007093335A Active JP4811324B2 (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | スパッタリングターゲット |
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2007
- 2007-03-30 JP JP2007093335A patent/JP4811324B2/ja active Active
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JP2008248346A (ja) | 2008-10-16 |
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