JP4808165B2 - 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
欠陥検査装置の一例を図2に示す。この欠陥検査装置1は、検査対象物としての液晶パネル2を支持して点灯検査を行うための装置である。この欠陥検査装置1はXYZθステージ3と、バックライト4と、ワークテーブル5と、プローブユニット6と、欠陥検査部7とを備えて構成されている。
次に、前記構成の欠陥検査装置1を用いた欠陥検査方法につちえ説明する。
以上のように、液晶パネル2に対応する領域において、単位領域である円22が重なる部分で単位値1を加算して、その加算値によってその重なる部分を中心とする円22内の欠陥数を判定するため、欠陥24の密集度を、少ない演算量で容易にかつ高い精度で推定することができる。この結果、欠陥検査における処理を短時間で行うことができる。また、既存の装置と同じ時間で処理する場合は、既存の処理装置よりも機能の低い処理装置で処理することができる。これにより、低コストで、欠陥24の密集度を、容易にかつ高い精度で推定することができる。
前記実施形態では、検査対象物として液晶パネル2を例に説明したが、表面に欠陥が生じるもの全てに適用することができる。これによっても、前記同様の作用、効果を奏することができる。
Claims (7)
- 検査対象物の表面の欠陥の密集度を測定する欠陥検査方法であって、
検出された複数の欠陥に対して、各欠陥を中心とする単位領域を特定してその領域全域を単位値に設定すると共に、前記単位領域が重なる部分は前記単位値を加算して設定し、当該単位値の加算値によって、その重なる部分を中心とする単位領域内の欠陥数を判定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項1に記載の欠陥検査方法において、
前記単位領域内の欠陥数がしきい値を超えたか否かによって前記検査対象物の良否を判定することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項1に記載の欠陥検査方法において、
前記単位領域が、各欠陥を中心にした円で構成されることを特徴とする欠陥検査方法。 - 検査対象物の表面の欠陥の密集度を測定する欠陥検査装置であって、
前記検査対象物の表面の欠陥を表現できる記憶領域を有する2次元メモリと、
当該2次元メモリの記憶領域のうち、検出したすべての欠陥の位置に対応するメモリアドレスを中心とする単位領域を特定してその単位領域全域を単位値に設定すると共に、前記単位領域が重なる部分は前記単位値を加算して設定し、当該単位値の加算値によって、その重なる部分を中心とする単位領域内の欠陥数を判定する処理部と
を備えて構成されたことを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項4に記載の欠陥検査装置において、
前記単位領域内の欠陥数がしきい値を超えたか否かによって前記検査対象物の良否を判定することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項4に記載の欠陥検査装置において、
前記単位領域が、各欠陥を中心にした円で構成されることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項4に記載の欠陥検査装置において、
前記2次元メモリの前記記憶領域が、前記検査対象物の表面の欠陥を表現できる2次元座標によって構成され、当該2次元座標の目の細かさを調整して精度を変えることを特徴とする欠陥検査装置。
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