JP4805170B2 - 高周波電源装置 - Google Patents
高周波電源装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4805170B2 JP4805170B2 JP2006550801A JP2006550801A JP4805170B2 JP 4805170 B2 JP4805170 B2 JP 4805170B2 JP 2006550801 A JP2006550801 A JP 2006550801A JP 2006550801 A JP2006550801 A JP 2006550801A JP 4805170 B2 JP4805170 B2 JP 4805170B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- output
- amplitude
- power supply
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
- H02M3/22—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac
- H02M3/24—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters
- H02M3/28—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac
- H02M3/325—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal
- H02M3/335—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only
- H02M3/337—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only in push-pull configuration
- H02M3/3372—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only in push-pull configuration of the parallel type
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M7/00—Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
- H02M7/42—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal
- H02M7/44—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters
- H02M7/48—Conversion of dc power input into ac power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Amplifiers (AREA)
Description
そして、特定状態になってから予め定めた時間が経過した後は、再度、目標電圧設定部22の出力を目標電圧とするように、切替部17に対して切替信号を出力する。この直流電圧設定部16、切替部17、目標電圧設定部22については後述する。
Claims (14)
- 増幅手段で増幅された高周波電圧を負荷に供給する高周波電源装置において、
出力する直流電圧の出力レベルを変化可能な直流電圧出力手段と、
前記直流電圧出力手段から出力された直流電圧を検出する直流電圧検出手段と、
前記直流電圧検出手段によって検出した直流電圧が目標電圧に等しくなるように前記直流電圧出力手段の出力レベルを制御する直流電圧制御手段と、
出力する高周波電圧信号の出力レベルを変化可能な発振手段と、
複数の増幅素子を有し、増幅するためのエネルギー源として前記直流電圧出力手段から出力される直流電圧を用いて、前記発振手段から出力される高周波電圧信号を増幅して出力する増幅手段と、
前記負荷に供給する高周波電力の出力電力設定値を定める出力電力設定手段と、
前記増幅手段の出力を電力値で検出する電力検出手段と、
前記電力検出手段で検出した電力値が前記出力電力設定値と等しくなるように前記発振手段の出力レベルを制御する高周波信号制御手段と、
前記増幅手段の増幅素子の増幅側端子間の電圧の振幅、又は、増幅素子の増幅側端子間の電圧の振幅に比例した大きさを有する電圧の振幅を検出する振幅検出手段と、
前記振幅検出手段によって検出された電圧の振幅に基づいて、前記直流電圧の目標電圧を定める目標電圧設定手段と、
を備えた、高周波電源装置。 - 前記振幅検出手段で検出する電圧の振幅は、前記増幅手段の1つの増幅素子の増幅側端子間の電圧の振幅、又は、その電圧の振幅に比例した大きさを有する電圧の振幅である、請求項1に記載の高周波電源装置。
- 前記振幅検出手段で検出する電圧の振幅は、前記増幅手段の複数の増幅素子の増幅側端子間の電圧の振幅、又は、それらの電圧の振幅にそれぞれ比例した大きさを有する電圧の振幅である、請求項1に記載の高周波電源装置。
- 前記目標電圧設定手段は、前記振幅検出手段で検出する電圧の振幅のうち、一番大きい電圧の振幅に基づいて、前記直流電圧の目標電圧を定める、請求項3に記載の高周波電源装置。
- 前記出力電力設定手段によって定められた出力電力設定値に基づいて前記直流電圧を定める直流電圧設定手段と、
特定状態になったときに、一時的に前記直流電圧設定手段の出力を前記目標電圧とする切替手段と、
をさらに備えた、請求項1に記載の高周波電源装置。 - 前記特定状態は、前記増幅手段による出力が開始されたとき、又は前記出力電力設定手段によって前記出力電力設定値が変更されたときである、請求項5に記載の高周波電源装置。
- 前記特定状態は、さらに、前記電力検出手段によって検出された電力検出値が、前記出力電力設定値を基準とした予め定めた割合に達したときも含む、請求項6に記載の高周波電源装置。
- 前記切替手段は、前記特定状態になってから予め定めた時間が経過するまで、前記直流電圧設定手段の出力を前記目標電圧値とする、請求項5ないし7のいずれかに記載の高周波電源装置。
- 前記目標電圧設定手段は、下限値を有する前記直流電圧の目標電圧値を定める、請求項1に記載の高周波電源装置。
- 前記振幅検出手段で検出する電圧の振幅は、電圧のピーク・トゥ・ピーク値である、請求項1に記載の高周波電源装置。
- 前記振幅検出手段で検出する電圧の振幅は、電圧の平均値である、請求項1に記載の高周波電源装置。
- 前記振幅検出手段で検出する電圧の振幅は、電圧の実効値である、請求項1に記載の高周波電源装置。
- 前記増幅手段の増幅素子は電界効果トランジスタで構成され、
増幅側端子間の電圧の振幅は、前記電界効果トランジスタのドレインとソースとの間の電圧であることを特徴とする、請求項1に記載の高周波電源装置。 - 前記増幅手段の増幅素子はバイポーラトランジスタで構成され、
増幅側端子間の電圧の振幅は、前記バイポーラトランジスタのコレクタとエミッタとの間の電圧であることを特徴とする、請求項1に記載の高周波電源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006550801A JP4805170B2 (ja) | 2004-12-27 | 2005-12-27 | 高周波電源装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004377437 | 2004-12-27 | ||
JP2004377437 | 2004-12-27 | ||
JP2006550801A JP4805170B2 (ja) | 2004-12-27 | 2005-12-27 | 高周波電源装置 |
PCT/JP2005/023912 WO2006070809A1 (ja) | 2004-12-27 | 2005-12-27 | 高周波電源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006070809A1 JPWO2006070809A1 (ja) | 2008-06-12 |
JP4805170B2 true JP4805170B2 (ja) | 2011-11-02 |
Family
ID=36614921
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006550801A Active JP4805170B2 (ja) | 2004-12-27 | 2005-12-27 | 高周波電源装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7630220B2 (ja) |
JP (1) | JP4805170B2 (ja) |
KR (1) | KR101128768B1 (ja) |
WO (1) | WO2006070809A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4344886B2 (ja) * | 2004-09-06 | 2009-10-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US7570028B2 (en) * | 2007-04-26 | 2009-08-04 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and apparatus for modifying interactions between an electrical generator and a nonlinear load |
JP2010288431A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Sanyo Electric Co Ltd | 電池内蔵機器と充電台 |
US8716984B2 (en) | 2009-06-29 | 2014-05-06 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and apparatus for modifying the sensitivity of an electrical generator to a nonlinear load |
US8237501B2 (en) * | 2010-09-09 | 2012-08-07 | Mks Instruments, Inc. | Power amplifier with transistor input mismatching |
JP7208702B2 (ja) * | 2019-01-18 | 2023-01-19 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源装置 |
JP2021175147A (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-01 | 株式会社村田製作所 | 負荷検出回路、および、増幅回路 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5639723A (en) * | 1979-08-09 | 1981-04-15 | Tadahiro Yuuki | Supporting and mounting apparatus for warmth preserving film in vinyl house |
JPH0678556A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-03-18 | Toshiba Lighting & Technol Corp | インバータ回路及びこれを用いた無電極放電ランプ点灯装置 |
JP2001197749A (ja) * | 2000-01-13 | 2001-07-19 | Daihen Corp | 高周波電源 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3743916A (en) * | 1972-07-13 | 1973-07-03 | Bell Telephone Labor Inc | Regulated converter circuit with pulse width modulation circuit using passive components |
JPS54122575U (ja) | 1978-02-16 | 1979-08-27 | ||
JPS6214731Y2 (ja) * | 1979-09-04 | 1987-04-15 | ||
US4876638A (en) * | 1988-02-10 | 1989-10-24 | Electronic Research Group, Inc. | Low-noise switching power supply having variable reluctance transformer |
JPH05343929A (ja) * | 1992-06-10 | 1993-12-24 | Fujitsu Ltd | 電力増幅器 |
DE19836401A1 (de) * | 1997-09-19 | 2000-02-17 | Salcomp Oy Salo | Vorrichtung zum Aufladen von Akkumulatoren |
US6009001A (en) * | 1998-03-27 | 1999-12-28 | Toko, Inc. | Self-oscillation-resonance type power supply circuit |
JP2004222351A (ja) * | 2003-01-09 | 2004-08-05 | Canon Inc | 高圧電源装置 |
JP4271457B2 (ja) | 2003-02-07 | 2009-06-03 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源装置 |
JP2004320418A (ja) | 2003-04-16 | 2004-11-11 | Daihen Corp | 高周波電源装置 |
-
2005
- 2005-12-27 JP JP2006550801A patent/JP4805170B2/ja active Active
- 2005-12-27 US US11/793,923 patent/US7630220B2/en active Active
- 2005-12-27 WO PCT/JP2005/023912 patent/WO2006070809A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2005-12-27 KR KR1020077014824A patent/KR101128768B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5639723A (en) * | 1979-08-09 | 1981-04-15 | Tadahiro Yuuki | Supporting and mounting apparatus for warmth preserving film in vinyl house |
JPH0678556A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-03-18 | Toshiba Lighting & Technol Corp | インバータ回路及びこれを用いた無電極放電ランプ点灯装置 |
JP2001197749A (ja) * | 2000-01-13 | 2001-07-19 | Daihen Corp | 高周波電源 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006070809A1 (ja) | 2006-07-06 |
KR20070089969A (ko) | 2007-09-04 |
JPWO2006070809A1 (ja) | 2008-06-12 |
KR101128768B1 (ko) | 2012-03-28 |
US20080048632A1 (en) | 2008-02-28 |
US7630220B2 (en) | 2009-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4805170B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
KR102404469B1 (ko) | 무선주파수 전원 | |
KR101224236B1 (ko) | 고주파 전력 장치 | |
JP4739793B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
JP4879548B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
JP2007103102A5 (ja) | ||
JP2010114001A (ja) | プラズマ発生用電源装置 | |
JP5231068B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
KR100983684B1 (ko) | 전압 발생 회로 | |
JP4757631B2 (ja) | 可変周波数増幅器 | |
KR102143178B1 (ko) | 부하 변동에 속응성을 가진 플라즈마 파워 장치 및 그의 제어 방법 | |
JP7208702B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
JP2005269869A (ja) | 高周波電源装置 | |
JP2006340137A (ja) | 増幅装置 | |
KR102381756B1 (ko) | 이중 출력을 가진 무선 주파수 제너레이터 | |
JP2005318224A (ja) | 受信装置 | |
JPH11214775A (ja) | 電源装置 | |
KR20230072808A (ko) | 고주파 펄스 제너레이터 장치 및 그의 운전 방법 | |
KR20230073918A (ko) | 임피던스 주파수 테이블을 이용한 자동 주파수 조정 장치, 이를 포함하는 플라즈마 전력 장치 및 자동 주파수 조정 방법 | |
JP4062444B2 (ja) | 群遅延調整回路、群遅延調整システムおよび群遅延調整方法 | |
KR100836777B1 (ko) | 디씨/디씨 컨버터 | |
JP2827987B2 (ja) | 進行波管電力増幅装置 | |
JP2010154645A (ja) | 電源回路 | |
JPH09294036A (ja) | 交流信号増幅装置 | |
JP2014220059A (ja) | 高周波電源 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081107 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110809 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110810 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4805170 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |