JP4804654B2 - 容器内面成膜用cvd装置及び容器内面成膜方法 - Google Patents
容器内面成膜用cvd装置及び容器内面成膜方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4804654B2 JP4804654B2 JP2001194385A JP2001194385A JP4804654B2 JP 4804654 B2 JP4804654 B2 JP 4804654B2 JP 2001194385 A JP2001194385 A JP 2001194385A JP 2001194385 A JP2001194385 A JP 2001194385A JP 4804654 B2 JP4804654 B2 JP 4804654B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- film
- stand
- film formation
- film forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、容器の内面に薄膜を成膜する容器内面成膜用CVD装置及び容器内面成膜方法に係わり、特に、量産効率を向上させた容器内面成膜用CVD装置及び容器内面成膜方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
以下、従来のCVD(Chemical Vapor Deposition)成膜装置について説明する。
【0003】
従来の容器内面成膜用CVD装置は外部電極を備えた成膜チャンバを有し、この外部電極は上部電極と底部電極から構成されている。上部電極の下部に底部電極の上部がOリングを介して着脱自在に取り付けられている。外部電極の内部には空間が形成されており、この空間はコーティング対象の容器を収容するためのものである。外部電極内の空間は、そこに収容される容器の外形よりも僅かに大きくなるように形成されている。また、外部電極内の空間は、上部電極と底部電極の間に配置されたOリングによって外部から密閉されている。
【0004】
外部電極は高周波電源(RF電源)に接続されている。外部電極内の空間には内部電極が差し込まれており、内部電極の先端は外部電極内の空間であって外部電極内に収容された容器の内部に配置される。
【0005】
内部電極は、その内部が中空からなる管形状を有している。内部電極の先端にはガス吹き出し口が設けられており、このガス吹き出し口から炭化水素ガス等の原料ガスを外部電極内の空間に供給するようになっている。また、外部電極内の空間は第1真空バルブを介して大気開放可能な状態とされている。また、外部電極内の空間は第2真空バルブを介して真空ポンプに接続されている。
【0006】
また、容器内面成膜用CVD装置は容器収納機構を有している。この容器収納機構は、上述した外部電極の一部を構成する底部電極、この底部電極を上下に移動させる上下駆動機構、容器を搬送する搬送用ロボット、及び、制御部などから構成されている。
【0007】
底部電極は、容器を載置する凹部を有している。搬送用ロボットはロボットアームを備えており、このロボットアームは、底部電極の凹部に容器をセットし、取り出すためのものである。制御部は、上下駆動機構及び搬送用ロボットなどの動作を制御するものである。
【0008】
次に、上記容器内面成膜用CVD装置を用いて容器の内部に炭素膜を成膜する方法について説明する。
【0009】
まず、第1真空バルブを開いて成膜チャンバ内を大気開放する。これにより、空気が外部電極内の空間に入り、成膜チャンバ内が大気圧にされる。次に、外部電極の底部電極を上下駆動機構により下方に移動させ、底部電極を上部電極から取り外す。次いで、ロボットアームが未成膜の容器をつかみ、この容器を持ったロボットアームを底部電極上にスライドさせて搬送し、この底部電極の凹部に該容器を載置し、ロボットアームが該容器を放す。そして、ロボットアームは底部電極上からスライドして引っ込む。その後、上下駆動機構により底部電極を上方に移動させ、底部電極を上部電極の下部に装着し、外部電極はOリングによって密閉される。即ち、底部電極を上方に移動させると、上部電極の下側から上部電極内の空間に容器が差し込まれて設置され、内部電極が容器内に挿入された状態となる。
【0010】
この後、真空ポンプは作動させた状態で、第1真空バルブを閉じた後、第2真空バルブを開く。これにより、容器内を含む成膜チャンバ内(外部電極内の空間等)が排気され、外部電極内が真空とされる。
【0011】
次に、流量制御された炭化水素ガスなどの原料ガスを、内部電極を通してガス吹き出し口から吹き出す。これにより、原料ガスが容器内に導入される。そして、成膜チャンバ内と容器内が、制御されたガス流量と排気能力のバランスによって、炭素膜の成膜に適した圧力に保たれる。
【0012】
この後、外部電極に高周波電源(RF電源)からRF出力を供給する。これにより、外部電極と内部電極間にプラズマを着火する。これによって、容器内に炭化水素系プラズマが発生し、炭素膜が容器の内側に成膜される。このときの成膜時間は数秒程度と短いものである。
【0013】
次に、RF電源からのRF出力を停止し、原料ガスの供給を停止する。そして、成膜チャンバ及び容器内の炭化水素ガスが真空ポンプによって排気される。その後、第2真空バルブを閉じる。次に、第1真空バルブを開いて成膜チャンバ内を大気開放した後、底部電極を上下駆動機構により下方に移動させ、底部電極を上部電極から取り外す。
【0014】
次いで、底部電極に載置されている成膜完了後の容器の上部にロボットアームをスライドさせ、ロボットアームにより容器をつかみ、ロボットアームが容器を持ち上げ、ロボットアームをスライドさせて容器を底部電極から取り出す。
【0015】
その後、ロボットアームが未成膜の容器をつかみ、この容器を持ったロボットアームを底部電極上にスライドさせて搬送し、この底部電極の凹部に該容器を載置し、ロボットアームが該容器を放す。そして、ロボットアームは底部電極上からスライドして引っ込む。この後は、前述した成膜方法を繰り返すことにより、炭素膜が成膜された容器が量産される。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来の容器内面成膜用CVD装置においては、外部電極の一部を構成する底部電極が成膜チャンバへの容器の出し入れを行う蓋の役目をしており、従来はこの底部電極が単純に上下して容器の取り出し、セットを行っている。このため、底部電極に容器を置いたり、成膜完了した容器を取り出す際には、搬送用ロボットのロボットアームが上部電極と底部電極の間に入り込んで、容器を掴み取って行かなければならない。従って、従来の容器内面成膜用CVD装置では、ロボットアームが成膜済みの容器を取り出し、未成膜の容器を置くまでの間、成膜チャンバは大気開放された状態となり、容器の受け渡しが終了するまで閉じることができない。その結果、容器の成膜を量産する際には、容器の搬送(即ち容器の受け渡し)に要する時間がそのままサイクルタイム(1個の容器を成膜するのに必要な合計時間)の一部になり、量産効率が悪かった。
【0017】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、容器の受け渡しに要する時間を短縮して量産効率を向上させた容器内面成膜用CVD装置及び容器内面成膜方法を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係る容器内面成膜用CVD装置は、第1容器の内面と第2容器の内面に交互に薄膜を成膜する容器内面成膜用CVD装置であって、第1容器を保持する保持部Aと第2容器を保持する保持部Bを有する台部材と、保持部Aに保持された第1容器と保持部Bに保持された第2容器を交互に収容するために、台部材における保持部Aと保持部Bが交互に装着される成膜チャンバと、台部材が成膜チャンバに装着された状態と台部材が成膜チャンバから取り外された状態との間で台部材を移動させる第1駆動機構と、上記台部材が成膜チャンバから取り外された状態で台部材をスライド又は回転させる第2駆動機構と、第1容器及び第2容器のうち一方の容器に薄膜を成膜している間に、他方の成膜終了後の容器と未成膜の容器を交換して台部材に保持する機構と、を具備することを特徴とする。
【0019】
また、上記容器内面成膜用CVD装置において、上記第2駆動機構は、成膜チャンバと保持部Aが対応する位置と成膜チャンバと保持部Bが対応する位置との間で台部材を移動させるために、台部材をスライド又は回転させる機構であることが好ましい。また、第1容器及び第2容器それぞれは単数でも複数でも良い。
【0020】
上記容器内面成膜用CVD装置では、次のように動作させることができる。保持部Aの第1容器内に薄膜を成膜している間に、保持部Bにおいて成膜終了後の容器と未成膜の第2容器を交換して保持する。そして、第1容器の成膜が終了した後、第1駆動機構により台部材を移動させて成膜チャンバから取り外す。この時、成膜チャンバと保持部Aが対応した位置にある。次に、第2駆動機構により台部材をスライド又は回転させる。この時、成膜チャンバと保持部Bが対応した位置にある。そして、第1駆動機構によって台部材を移動させて成膜チャンバに装着することにより未成膜の第2容器を成膜チャンバ内に収納する。次に、第2容器内に薄膜を成膜している間に、保持部Aにおいて成膜終了後の第1容器と未成膜の容器を交換して載置する。この後は、上記と同様の動作を繰り返す。したがって、容器の受け渡しに要する時間を短縮することができ、量産効率を大幅に向上させることができる。
【0021】
また、本発明に係る容器内面成膜用CVD装置においては、上記保持部Aが第1容器を載置するスタンドAであり、上記保持部Bが第2容器を載置するスタンドBであることも可能である。また、上記保持部Aが第1容器の口部を保持するサスペンドAであり、上記保持部Bが第2容器の口部を保持するサスペンドBであることも可能である。
【0022】
また、本発明に係る容器内面成膜用CVD装置においては、上記薄膜が非晶質水素含有炭素を主成分とする膜であることも可能である。
【0023】
本発明に係る容器内面成膜方法は、第1容器を載置するスタンドAと第2容器を載置するスタンドBを有する底部台と、スタンドAに載置された第1容器とスタンドBに載置された第2容器を交互に収容するために、底部台におけるスタンドAとスタンドBが交互に装着される成膜チャンバと、を備えた容器内面成膜用CVD装置を用いて第1容器の内面と第2容器の内面に交互に薄膜を成膜する方法であって、
スタンドAに成膜チャンバを装着した状態でスタンドA上の第1容器内に薄膜を成膜し、その間に、スタンドBにおいて成膜終了後の容器と未成膜の第2容器を交換して載置し、
底部台を成膜チャンバから取り外すことにより、スタンドA上の第1容器を成膜チャンバから取り出し、
底部台をスライド又は回転させ、
底部台を成膜チャンバに装着することにより、スタンドB上の未成膜の第2容器を成膜チャンバ内に収納し、
スタンドB上の第2容器内に薄膜を成膜し、その間に、スタンドAにおいて成膜終了後の第1容器と未成膜の容器を交換して載置することを特徴とする。
【0024】
本発明に係る容器内面成膜方法は、第1容器の口部を保持するサスペンドAと第2容器の口部を保持するサスペンドBを有する上部台と、サスペンドAに保持された第1容器とサスペンドBに保持された第2容器を交互に収容するために、上部台におけるサスペンドAとサスペンドBが交互に装着される成膜チャンバと、を備えた容器内面成膜用CVD装置を用いて第1容器の内面と第2容器の内面に交互に薄膜を成膜する方法であって、
サスペンドAに成膜チャンバを装着した状態でサスペンドA下の第1容器内に薄膜を成膜し、その間に、サスペンドBにおいて成膜終了後の容器と未成膜の第2容器を交換して保持し、
上部台を成膜チャンバから取り外すことにより、サスペンドA下の第1容器を成膜チャンバから取り出し、
上部台をスライド又は回転させ、
上部台を成膜チャンバに装着することにより、サスペンドB下の未成膜の第2容器を成膜チャンバ内に収納し、
サスペンドB下の第2容器内に薄膜を成膜し、その間に、サスペンドAにおいて成膜終了後の第1容器と未成膜の容器を交換して保持することを特徴とする。
【0025】
また、本発明に係る容器内面成膜方法においては、上記薄膜が非晶質水素含有炭素を主成分とする膜であることが好ましい。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明に係る第1の実施の形態による容器内面成膜用CVD装置における成膜チャンバ及び底部台を模式的に示す構成図である。図2は、図1に示す成膜チャンバ及び底部台の一部を示すものであり、図2(a)は、成膜チャンバから底部台を取り外した状態を示す断面図であり、図2(b)は、成膜チャンバに底部台を装着した状態を示す断面図である。
【0027】
容器内面成膜用CVD装置は図1に示す成膜チャンバ11及び容器収納機構を備えている。この容器収納機構は、テーブル(底部台)12、これを上下に移動させる第1駆動機構(図示せず)、テーブル12を水平方向にスライド又は回転させる第2駆動機構(図示せず)、容器19を搬送する搬送用ロボット(図示せず)、及び、制御部(図示せず)などから構成されている。ここでの容器19には種々の容器が含まれ、それを構成する材質などに限定されるものではなく、例えばプラスチック容器、PETボトル、アルミ缶、スチール缶、ガラス瓶などが挙げられる。
【0028】
テーブル12は、図1に示すように第1容器としての容器を載置するスタンドAと第2容器としての容器を載置するスタンドBから構成されている。スタントA及びスタンドBそれぞれが成膜チャンバ11に対応するように構成されている。なお、第1容器及び第2容器それぞれは、単数の容器でも複数の容器でも良い。即ち、図1では、スタンドA及びスタンドBそれぞれに4個の容器を載置するように構成しているが、スタンドA及びスタンドBそれぞれに1〜3個又は5個以上の容器を載置するように構成することも可能である。
【0029】
第1駆動機構は、成膜チャンバ11に対して矢印16のようにテーブル12を上下に移動させる機構である。つまり、成膜チャンバ11にテーブル12のスタンドA又はスタンドBが装着されている状態(即ち図2(b)に示す状態)において、テーブル12を第1駆動機構により下方に移動させることにより、成膜チャンバ11からスタンドA又はスタンドBが取り外され、成膜チャンバ11の下方にスタンドA又はスタンドBが位置する状態(即ち図2(a)に示す状態)になる。また逆に、成膜チャンバ11の下方にスタンドA又はスタンドBが位置している状態(即ち図2(a)に示す状態)において、テーブル12を第1駆動機構により上方に移動させることにより、成膜チャンバ11にスタンドA又はスタンドBが装着される状態(即ち図2(b)に示す状態)になる。なお、具体的な駆動機構としては、種々の駆動機構を用いることが可能であるが、例えばステッピングモータ、サーボモータ、油圧サーボ、エアシリンダなどを用いることも可能である。
【0030】
第2駆動機構は、成膜チャンバ11に対して矢印17のように水平方向にテーブル12をスライドさせるスライド機構、又は、成膜チャンバ11に対して水平方向にテーブルを回転させる回転機構である。スライド機構の場合は、成膜チャンバ11の下方にスタンドAが位置している状態において、テーブル12をスライドさせることにより、成膜チャンバ11の下方にスタンドBが位置する状態になる。また逆に、成膜チャンバ11の下方にスタンドBが位置している状態において、テーブル12をスライドさせることにより、成膜チャンバ11の下方にスタンドAが位置する状態になる。回転機構の場合は、成膜チャンバ11の下方にスタンドAが位置している状態において、テーブル12を回転させることにより、成膜チャンバ11の下方にスタンドBが位置する状態になる。また逆に、成膜チャンバ11の下方にスタンドBが位置している状態において、テーブル12を回転させることにより、成膜チャンバ11の下方にスタンドAが位置する状態になる。なお、具体的な駆動機構としては、種々の駆動機構を用いることが可能であるが、例えばステッピングモータ、サーボモータ、油圧サーボ、エアシリンダなどを用いることも可能である。
【0031】
図2(a),(b)に示すように、成膜チャンバ11は上部電極10を有している。テーブル12は底部電極13、テフロン(登録商標)などの絶縁物14及び基台15から構成されている。基台15は絶縁物14によって底部電極13と電気的に絶縁されている。
【0032】
また、容器内面成膜用CVD装置は外部電極を有しており、この外部電極は上部電極10と底部電極13から構成されている。底部電極13は、容器19を載置するボトル固定用スタンド(凹部)13aを有している。上部電極10の下部に底部電極13の上部がOリング18を介して着脱自在に取り付けられるようになっている。外部電極の内部には空間20が形成されており、この空間20はコーティング対象の容器19を収容するためのものである。外部電極内の空間20は、そこに収容される容器19の外形よりも僅かに大きく形成されている。また、外部電極内の空間20は、図2(b)に示すように上部電極10と底部電極13の間に配置されたOリング18によって外部から密閉可能になっている。
【0033】
外部電極10及び13は図示せぬ高周波電源(RF電源)に接続されている。外部電極内の空間20には内部電極(図示せず)が差し込まれており、内部電極の先端は外部電極内の空間20であって外部電極内に収容された容器19の内部に配置される。
【0034】
内部電極は、その内部が中空からなる管形状を有している。内部電極の先端にはガス吹き出し口が設けられており、このガス吹き出し口から炭化水素ガス等の原料ガスを外部電極内の空間20に供給するようになっている。また、外部電極内の空間20は第1真空バルブ(図示せず)を介して大気開放可能な状態とされている。また、外部電極内の空間20は第2真空バルブ(図示せず)を介して真空ポンプ(図示せず)に接続されている。
【0035】
前記搬送用ロボットはロボットアームを備えており、このロボットアームは、ボトル固定用スタンド13aに容器19をセットし、取り出すためのものである。前記制御部は、第1駆動機構、第2駆動機構及び搬送用ロボットなどの動作を制御するものである。
【0036】
次に、上記容器内面成膜用CVD装置を用いて容器(容器)の内部に炭素膜を成膜する方法について説明する。図3(a)〜(e)は、CVD成膜時における成膜チャンバとテーブルの動作を模式的に示す構成図である。なお、炭素膜としては、非晶質水素含有炭素を主成分とする膜であることが好ましい。
【0037】
まず、第1真空バルブを開いて成膜チャンバ11内を大気開放する。これにより、空気が外部電極内の空間20に入り、成膜チャンバ内が大気圧にされる。次に、テーブル12を第1駆動機構により下方に移動させ、底部電極13を上部電極10から取り外す。この時は成膜チャンバ11の下部にはスタンドAが位置している。
【0038】
次いで、ロボットアームが未成膜の容器を複数本つかみ、これら容器を持ったロボットアームを底部電極13上にスライドさせて搬送し、この底部電極13のボトル固定用スタンド(凹部)13aに該容器を載置し、ロボットアームが該容器を放す。そして、ロボットアームは底部電極上からスライドして引っ込む。
【0039】
その後、図3(a)に示すように、第1駆動機構によりテーブル12を上方に移動させ、底部電極13を上部電極10の下部に装着し、外部電極はOリング18によって密閉される。即ち、テーブル12を上方に移動させると、上部電極10の下側から上部電極内の空間20に容器19aが差し込まれて設置され、内部電極が容器内に挿入された状態となり、成膜チャンバ11内に容器19aが収納される。
【0040】
この後、真空ポンプは作動させた状態で、第1真空バルブを閉じた後、第2真空バルブを開く。これにより、容器19a内を含む成膜チャンバ11内(外部電極内の空間20等)が排気され、外部電極内が真空とされる。
【0041】
次に、流量制御された炭化水素ガスなどの原料ガス23を、内部電極を通してガス吹き出し口から吹き出す。これにより、原料ガス23が容器19a内に導入される。そして、成膜チャンバ11内と容器19a内が、制御されたガス流量と排気能力のバランスによって、炭素膜の成膜に適した圧力に保たれる。
【0042】
この後、外部電極に高周波電源(RF電源)からRF出力を供給する。これにより、外部電極と内部電極間にプラズマを着火する。これによって、容器19a内に炭化水素系プラズマが発生し、炭素膜が容器19aの内側に成膜される。このときの成膜時間は数秒程度と短いものである。
【0043】
このように成膜している間に、スタンドBに未成膜の容器19bを複数本載置する。すなわち、ロボットアームが未成膜の容器19bをつかみ、該容器19bを持ったロボットアームをスタンドB上にスライドさせて搬送し、スタンドBにおける底部電極13の凹部13aに該容器19bを載置し、ロボットアームが該容器19bを放す。そして、ロボットアームはスタンドB上からスライドして引っ込む。
【0044】
次に、RF電源からのRF出力を停止し、原料ガスの供給を停止する。そして、成膜チャンバ及び容器19a内の炭化水素ガスが真空ポンプによって排気される。その後、第2真空バルブを閉じる。
【0045】
次に、図3(b)に示すように、第1真空バルブを開いて成膜チャンバ11内を大気開放した後、テーブル12を第1駆動機構により下方に移動させ、底部電極13を上部電極10から取り外す。この時、成膜チャンバ11の下部にはスタンドAが位置しており、スタンドAには成膜完了後の容器19aが複数本載置されており、スタンドBには複数本の未成膜の容器19bが載置されている。
【0046】
次いで、図3(c)に示すように、第2駆動機構によりテーブル12を、回転軸21を中心として矢印22のように180°回転させる。これにより、成膜チャンバ11の下部にはスタンドBが位置し、スタンドBは未成膜の容器19bが複数本載置された状態にあり、スタンドAは複数本の成膜完了後の容器19aが載置された状態にある。なお、第2駆動機構は、前述したようにスライド機構であっても良く、この場合は、テーブル12をスライドさせることにより成膜チャンバ11の下部にスタンドBを位置させることになる。
【0047】
この後、図3(d)に示すように、第1駆動機構によりテーブル12を上方に移動させ、底部電極13を上部電極10の下部に装着し、外部電極はOリング18によって密閉される。即ち、テーブル12を上方に移動させると、上部電極10の下側から上部電極内の空間20に容器19bが差し込まれて設置され、内部電極が容器19b内に挿入された状態となり、成膜チャンバ11内に容器19bが収納される。
【0048】
この後、真空ポンプは作動させた状態で、第1真空バルブを閉じた後、第2真空バルブを開く。これにより、容器19b内を含む成膜チャンバ内が排気され、外部電極内が真空とされる。
【0049】
次に、流量制御された炭化水素ガスなどの原料ガス23を、内部電極を通してガス吹き出し口から吹き出す。これにより、原料ガス23が容器19b内に導入される。そして、成膜チャンバ11内と容器19b内が、制御されたガス流量と排気能力のバランスによって、炭素膜の成膜に適した圧力に保たれる。
【0050】
この後、外部電極に高周波電源(RF電源)からRF出力を供給する。これにより、外部電極と内部電極間にプラズマを着火する。これによって、容器19b内に炭化水素系プラズマが発生し、炭素膜が容器19bの内側に成膜される。
【0051】
このように成膜している間に、スタンドAに載置された成膜完了後の容器19aと未成膜の容器19cを矢印25のように交換して載置する。すなわち、成膜完了後の容器19aの上部にロボットアームをスライドさせ、ロボットアームにより容器19aをつかみ、ロボットアームが容器19aを持ち上げ、ロボットアームをスライドさせて容器19aを底部電極から取り出す。そして、取り出された容器19aを所定の場所に保管する。その後、ロボットアームが未成膜の容器19cをつかみ、該容器19bを持ったロボットアームをスタンドA上にスライドさせて搬送し、スタンドAにおける底部電極13の凹部13aに該容器19cを載置し、ロボットアームが該容器19cを放す。そして、ロボットアームはスタンドA上からスライドして引っ込む。
【0052】
次に、RF電源からのRF出力を停止し、原料ガスの供給を停止する。そして、成膜チャンバ及び容器19b内の炭化水素ガスが真空ポンプによって排気される。その後、第2真空バルブを閉じる。
【0053】
次に、図3(e)に示すように、第1真空バルブを開いて成膜チャンバ11内を大気開放した後、テーブル12を第1駆動機構により下方に移動させ、底部電極13を上部電極10から取り外す。この時、成膜チャンバ11の下部にはスタンドBが位置しており、スタンドBには成膜完了後の容器19bが複数本載置されており、スタンドAには複数本の未成膜の容器19cが載置されている。この後は、図3(b)に示す工程から前述した成膜方法を繰り返すことにより、炭素膜が成膜された容器が量産される。
【0054】
上記第1の実施の形態によれば、図3(d)の工程のようにスタンドB上の容器19bを成膜している間に、スタンドAにおいて成膜完了後の容器19aと未成膜の容器19cを交換して載置している。このため、従来の容器内面成膜用CVD装置のように成膜チャンバの下方にテーブルを下げた状態で成膜完了後の容器と未成膜の容器を交換して載置する必要がない。これにより、その時間だけサイクルタイムを短縮することができ、量産効率を大幅に向上させることができる。
【0055】
さらに詳しく説明すると、本実施の形態による容器内面成膜用CVD装置では、成膜チャンバから成膜済みボトルを取り出し、未成膜ボトルを成膜チャンバに収容するまでに、テーブル12を下げ、テーブル12をスライド又は回転させ、テーブルを上げるという3つの動作のみが必要で、従来のボトル出し入れに比べて工程数が少なくて済む。具体的には、テーブル12を下げてチャンバを開くのに1秒要し、テーブル12をスライド又は回転させるのに2秒を要し、テーブル12を上げてチャンバを閉じるのに1秒を要するので、これらに要する時間は4秒程度である。そして、チャンバ内に未成膜ボトルを搬入した後、チャンバ内を真空引きし、チャンバ内にガスを導入し、未成膜ボトルを成膜するのに合計6秒〜10秒程度を要する。これに対して、従来の容器内面成膜用CVD装置では、テーブルを下げた状態で、成膜完了後の容器と未成膜の容器を交換する動作がさらに必要となる。具体的には、チャンバを開くのに1秒を要し、成膜済みボトルを搬出するのに3秒を要し、未成膜ボトルを搬入するのに3秒を要し、チャンバを閉じるのに1秒を要するので、これらに要する時間は8秒程度である。そして、真空引き、ガス導入、成膜に要する時間は6秒〜10秒程度である。従って、本実施の形態による容器内面成膜用CVD装置では、1サイクルの所要時間が10秒〜14秒程度であるのに対して、従来の容器内面成膜用CVD装置では、1サイクルの所要時間が14秒〜18秒程度である。よって、本実施の形態では、従来のそれに比べて1サイクルに4秒程度短縮することができ、大幅に量産効率を向上させることができる。つまり、本発明を用いることでチャンバへのボトルの出し入れの時間を短縮することが可能となり、ひいては1本(1バッチ)あたりの製造にかかる時間を短縮することが可能となる。さらに、成膜に必要な時間(真空引き、ガス導入、成膜)が短縮されるほどこの効果が顕著になる。
【0056】
また、従来の容器内面成膜用CVD装置では、成膜終了後に容器が下がった位置で容器を取り出し、未成膜ボトルのセットを行うため、ボトルと成膜チャンバの間にロボットアームが入るだけの間隔が必要であった。これに対して、本実施の形態による容器内面成膜用CVD装置では、スライド又は回転式のボトル収納機構を用いているため、この間隔を全く無くすことができる。これにより、ボトルを成膜チャンバに収納する際の上昇下降の動作長を短くすることができ、テーブルの上下動作時間の短縮にも寄与する。従って、ボトルの出し入れに割かれる装置停止時間を極力抑えることができる。
【0057】
尚、上記第1の実施の形態では、成膜チャンバ11の下方にテーブル12を配置しているが、この配置に限定されるものではなく、例えば、成膜チャンバの水平方向にテーブルを配置することも可能である。この場合、テーブル12における底部電極13のボトル固定用スタンド13aが単なる凹部ではなく、容器を確実に保持、固定できる手段をさらに含むことが好ましい。
【0058】
図4は、本発明に係る第2の実施の形態による容器内面成膜用CVD装置における上部台及び成膜チャンバを模式的に示す構成図である。図5は、図4に示す上部台及び成膜チャンバの一部を示すものであり、図5(a)は、成膜チャンバから上部台を取り外した状態を示す断面図であり、図5(b)は、成膜チャンバに上部台を装着した状態を示す断面図である。ただし、第2の実施の形態において、第1の実施の形態と同一部分の説明は省略する。
【0059】
テーブル32は、図4に示すように第1容器としての容器を吊るすサスペンドAと第2容器としての容器を吊るすサスペンドBから構成されている。サスペンドA及びサスペンドBそれぞれが成膜チャンバ31に対応するように構成されている。
【0060】
第1駆動機構は、成膜チャンバ31に対して矢印36のようにテーブル32を上下に移動させる機構である。つまり、成膜チャンバ31にテーブル32のサスペンドA又はサスペンドBが装着されている状態(即ち図5(b)に示す状態)において、テーブル32を第1駆動機構により上方に移動させることにより、成膜チャンバ31からサスペンドA又はサスペンドBが取り外され、成膜チャンバ31の上方にサスペンドA又はサスペンドBが位置する状態(即ち図5(a)に示す状態)になる。また逆に、成膜チャンバ31の上方にサスペンドA又はサスペンドBが位置している状態(即ち図5(a)に示す状態)において、テーブル32を第1駆動機構により下方に移動させることにより、成膜チャンバ31にサスペンドA又はサスペンドBが装着される状態(即ち図5(b)に示す状態)になる。
【0061】
図6(a)〜(e)は、CVD成膜時における成膜チャンバとテーブルの動作を模式的に示す構成図である。
【0062】
第2の実施の形態による容器内面成膜用CVD装置を用いて容器の内部に炭素膜を成膜する方法は、サスペンドA、Bに容器(ボトル)を上部で支持する点以外は第1の実施の形態と同様である。
【0063】
上記第2の実施の形態においても第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【0064】
また、上記第2の実施の形態では、上部電極33で容器39の口部を掴んで保持し、この容器を底部電極30に収容する構成としている。このため、外部電極内の空間40の高さを調整することにより、太さが同程度で高さが異なる容器に対する成膜を一つの容器内面成膜用CVD装置で行うことが可能となる。また、異なるサイズの容器に対して上部電極又は底部電極のいずれかを共用することが可能となる。
【0065】
また、上記第2の実施の形態では、成膜チャンバ31の上方にテーブル32を配置しているが、この配置に限定されるものではなく、例えば、成膜チャンバの水平方向にテーブルを配置することも可能である。
【0066】
また、上記実施の形態では、スタンドAとスタンドBという2つのスタンド又はサスペンドAとサスペンドBという2つのサスペンドを有するテーブル12,32を用いているが、3つ以上のスタンド又はサスペンドを有するテーブルを用いることも可能である。
【0067】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。
【0068】
また、上記実施の形態では、炭素膜を成膜する容器内面成膜用CVD装置について説明しているが、炭素膜以外の薄膜を成膜する容器内面成膜用CVD装置に本発明を適用することも可能であり、例えば、アルミ缶の内面にアルミの溶出を防ぐための窒化珪素を主成分とする膜を形成することも可能である。
【0069】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、保持部A及び保持部Bのうち一方の保持部に保持された容器内に薄膜を成膜している間に、他方の保持部において成膜終了後の容器と未成膜の容器を交換して載置するという動作が可能となる。したがって、容器の受け渡しに要する時間を短縮して量産効率を向上させた容器内面成膜用CVD装置及び容器内面成膜方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第1の実施の形態による容器内面成膜用CVD装置における成膜チャンバ及び底部台を模式的に示す構成図である。
【図2】図1に示す成膜チャンバ及び底部台の一部を示すものであり、(a)は、成膜チャンバから底部台を取り外した状態を示す断面図であり、(b)は、成膜チャンバに底部台を装着した状態を示す断面図である。
【図3】(a)〜(e)は、CVD成膜時における成膜チャンバとテーブルの動作を模式的に示す構成図である。
【図4】本発明に係る第2の実施の形態による容器内面成膜用CVD装置における上部台及び成膜チャンバを模式的に示す構成図である。
【図5】図4に示す上部台及び成膜チャンバの一部を示すものであり、(a)は、成膜チャンバから上部台を取り外した状態を示す断面図であり、(b)は、成膜チャンバに上部台を装着した状態を示す断面図である。
【図6】(a)〜(e)は、CVD成膜時における成膜チャンバとテーブルの動作を模式的に示す構成図である。
【符号の説明】
10,33…上部電極
11,31…成膜チャンバ
12,32…テーブル
13,30…底部電極
13a…ボトル固定用スタンド(凹部)
14,34…絶縁物
15,35…基台
16,17,36,37…矢印
18,38…Oリング
19,19a〜19c,39,39a〜39c…容器
20,40…空間
21,41…回転軸
22,42…矢印
23,43…原料ガス
25,45…矢印
Claims (8)
- 第1容器の内面と第2容器の内面に交互に薄膜を成膜する容器内面成膜用CVD装置であって、
第1容器を保持する保持部Aと第2容器を保持する保持部Bを有する台部材と、
保持部Aに保持された第1容器と保持部Bに保持された第2容器を交互に収容するために、台部材における保持部Aと保持部Bが交互に装着される成膜チャンバと、
台部材が成膜チャンバに装着された状態と台部材が成膜チャンバから取り外された状態との間で台部材を移動させる第1駆動機構と、
上記台部材が成膜チャンバから取り外された状態で台部材をスライド又は回転させる第2駆動機構と、
第1容器及び第2容器のうち一方の容器に薄膜を成膜している間に、他方の成膜終了後の容器と未成膜の容器を交換して台部材に保持する機構と、
を具備することを特徴とする容器内面成膜用CVD装置。 - 上記第2駆動機構は、成膜チャンバと保持部Aが対応する位置と成膜チャンバと保持部Bが対応する位置との間で台部材を移動させるために、台部材をスライド又は回転させる機構であることを特徴とする請求項1に記載の容器内面成膜用CVD装置。
- 上記保持部Aが第1容器を載置するスタンドAであり、上記保持部Bが第2容器を載置するスタンドBであることを特徴とする請求項1に記載の容器内面成膜用CVD装置。
- 上記保持部Aが第1容器の口部を保持するサスペンドAであり、上記保持部Bが第2容器の口部を保持するサスペンドBであることを特徴とする請求項1に記載の容器内面成膜用CVD装置。
- 上記薄膜が非晶質水素含有炭素を主成分とする膜であることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1項記載の容器内面成膜用CVD装置。
- 第1容器を載置するスタンドAと第2容器を載置するスタンドBを有する底部台と、スタンドAに載置された第1容器とスタンドBに載置された第2容器を交互に収容するために、底部台におけるスタンドAとスタンドBが交互に装着される成膜チャンバと、を備えた容器内面成膜用CVD装置を用いて第1容器の内面と第2容器の内面に交互に薄膜を成膜する方法であって、
スタンドAに成膜チャンバを装着した状態でスタンドA上の第1容器内に薄膜を成膜し、その間に、スタンドBにおいて成膜終了後の容器と未成膜の第2容器を交換して載置し、
底部台を成膜チャンバから取り外すことにより、スタンドA上の第1容器を成膜チャンバから取り出し、
底部台をスライド又は回転させ、
底部台を成膜チャンバに装着することにより、スタンドB上の未成膜の第2容器を成膜チャンバ内に収納し、
スタンドB上の第2容器内に薄膜を成膜し、その間に、スタンドAにおいて成膜終了後の第1容器と未成膜の容器を交換して載置することを特徴とする容器内面成膜方法。 - 第1容器の口部を保持するサスペンドAと第2容器の口部を保持するサスペンドBを有する上部台と、サスペンドAに保持された第1容器とサスペンドBに保持された第2容器を交互に収容するために、上部台におけるサスペンドAとサスペンドBが交互に装着される成膜チャンバと、を備えた容器内面成膜用CVD装置を用いて第1容器の内面と第2容器の内面に交互に薄膜を成膜する方法であって、
サスペンドAに成膜チャンバを装着した状態でサスペンドA下の第1容器内に薄膜を成膜し、その間に、サスペンドBにおいて成膜終了後の容器と未成膜の第2容器を交換して保持し、
上部台を成膜チャンバから取り外すことにより、サスペンドA下の第1容器を成膜チャンバから取り出し、
上部台をスライド又は回転させ、
上部台を成膜チャンバに装着することにより、サスペンドB下の未成膜の第2容器を成膜チャンバ内に収納し、
サスペンドB下の第2容器内に薄膜を成膜し、その間に、サスペンドAにおいて成膜終了後の第1容器と未成膜の容器を交換して保持することを特徴とする容器内面成膜方法。 - 上記薄膜が非晶質水素含有炭素を主成分とする膜であることを特徴とする請求項6又は7に記載の容器内面成膜方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001194385A JP4804654B2 (ja) | 2001-06-27 | 2001-06-27 | 容器内面成膜用cvd装置及び容器内面成膜方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001194385A JP4804654B2 (ja) | 2001-06-27 | 2001-06-27 | 容器内面成膜用cvd装置及び容器内面成膜方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003013231A JP2003013231A (ja) | 2003-01-15 |
JP4804654B2 true JP4804654B2 (ja) | 2011-11-02 |
Family
ID=19032527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001194385A Expired - Fee Related JP4804654B2 (ja) | 2001-06-27 | 2001-06-27 | 容器内面成膜用cvd装置及び容器内面成膜方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4804654B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014112533A1 (ja) | 2013-01-18 | 2014-07-24 | 日精エー・エス・ビー機械株式会社 | 樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システム |
WO2016068023A1 (ja) * | 2014-10-27 | 2016-05-06 | 日精エー・エス・ビー機械株式会社 | 樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システム |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4689564B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2011-05-25 | 日産自動車株式会社 | 燃料噴射弁の製造装置および製造方法 |
JP5574868B2 (ja) * | 2010-07-29 | 2014-08-20 | 三菱重工食品包装機械株式会社 | 物品処理方法 |
WO2014103677A1 (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-03 | 麒麟麦酒株式会社 | 薄膜の成膜装置 |
CN114686859B (zh) * | 2022-04-12 | 2023-02-07 | 广州志橙半导体有限公司 | 一种cvd工作台旋转装置及cvd装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5565248A (en) * | 1994-02-09 | 1996-10-15 | The Coca-Cola Company | Method and apparatus for coating hollow containers through plasma-assisted deposition of an inorganic substance |
MX9504279A (es) * | 1994-02-16 | 1997-05-31 | Coca Cola Co | Envases huecos que tienen una capa superficial interna, inerte o impermeable, obtenida mediante polimerizacion sobre la superficie o reaccion de la superficie asistida por plasma. |
JP3115252B2 (ja) * | 1997-03-14 | 2000-12-04 | 麒麟麦酒株式会社 | 炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置および製造方法 |
-
2001
- 2001-06-27 JP JP2001194385A patent/JP4804654B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014112533A1 (ja) | 2013-01-18 | 2014-07-24 | 日精エー・エス・ビー機械株式会社 | 樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システム |
US10106886B2 (en) | 2013-01-18 | 2018-10-23 | Nissei Asb Machine Co., Ltd. | Coating apparatus for resin container, and resin container manufacturing system |
WO2016068023A1 (ja) * | 2014-10-27 | 2016-05-06 | 日精エー・エス・ビー機械株式会社 | 樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003013231A (ja) | 2003-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3078620U (ja) | 薄膜を成長させるための装置 | |
TWI488259B (zh) | A thin film deposition apparatus and a substrate processing system including the same | |
US4149923A (en) | Apparatus for the treatment of wafer materials by plasma reaction | |
JPH0831909A (ja) | 半導体製造装置及び該装置に於けるウェーハ搬送方法 | |
JP4804654B2 (ja) | 容器内面成膜用cvd装置及び容器内面成膜方法 | |
JP4020306B2 (ja) | 基板処埋装置 | |
KR101372333B1 (ko) | 기판 처리 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
WO1998019335A1 (fr) | Appareil de traitement thermique de type vertical | |
WO2020137169A1 (ja) | 気相成長装置 | |
US4822756A (en) | Reaction furnace and method of operating the same | |
JP3122883B2 (ja) | 気相成長装置 | |
JP3623134B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3901754B2 (ja) | 基板保持装置、スパッタリング装置、基板交換方法、スパッタリング方法 | |
JP2004332117A (ja) | スパッタリング方法、基板保持装置、スパッタリング装置 | |
WO2020137170A1 (ja) | 気相成長装置 | |
WO1991007773A1 (fr) | Procede de traitement sous vide d'un substrat et appareil utilise | |
JP2000174094A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP4194262B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2000286327A (ja) | 成膜装置 | |
JPH0362515A (ja) | 真空加熱処理装置 | |
JP2004011005A (ja) | 処理装置および処理方法 | |
JP2006108348A (ja) | 基板処理装置 | |
JP3717793B2 (ja) | ガラス成形品の成形装置及び成形方法 | |
JPH1036970A (ja) | 薄膜気相成長装置 | |
JP3886734B2 (ja) | 搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080617 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100816 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110726 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110810 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4804654 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |