JP4803566B1 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
レーザ加工装置1は、例えば膜構造を有するガラス基板や、不透明な材料などの加工対象物50に対して、加工用のレーザ光L1及び、該レーザ光L1のフォーカス調整のためのフォーカスサーボを動作させるフォーカス制御用のレーザ光L2とを出射する。図1を参照して、本発明のレーザ加工装置の具体例である、レーザ加工装置1の基本的な構成について説明する。図1はレーザ加工装置1の全体的な構成を示す模式図である。
このとき、加工用レンズブロック33aは、レーザ光L1のフォーカス位置が加工対象物50の上面S1及び下面S2の間隔、つまり加工対象物50のZ方向厚さTと屈折率Nとに応じた光路長分移動するよう、加工用集光レンズ33をZ方向に移動させる。かかる移動の態様について、図5の模式図に示す。
続いて、図6を参照して、実施例のレーザ加工装置1の動作について説明する。
図7を参照して、実施例に係るレーザ加工装置1の変形例であるレーザ加工装置1’について説明する。図7はレーザ加工装置1’の全体的な構成を示す模式図である。尚、図7及び以下に示すレーザ加工装置1’の構成について、図1に示されるレーザ加工装置1と同様の構成については、同一の番号を付して説明を省略している。
図8を参照して、実施例に係るレーザ加工装置1の第2の変形例であるレーザ加工装置1’’について説明する。図8はレーザ加工装置1’’の全体的な構成を示す模式図である。尚、図8及び以下に示すレーザ加工装置1’’の構成について、図1に示されるレーザ加工装置1と同様の構成については、同一の番号を付して説明を省略している。
11…制御部、
12…ステージ、
12a…ステージアクチュエータ
2…フォーカス制御用光学系、
21…フォーカス用光源
22…ビームスプリッタ
23…1/4波長板、
24…フォーカス用集光レンズ、
24a…フォーカス用レンズブロック
25…シリンドリカルレンズ、
26…4分割受光素子(PD:Photo Detector)、
26a…PDアクチュエータ、
3…加工用光学系、
31…加工用光源、
32…ダイバージングレンズ、
33…加工用集光レンズ
33a…加工用レンズブロック
L1…加工用のレーザ光、
L2…フォーカス制御用のレーザ光
F1…加工用のレーザ光の集光部、
F2…フォーカス制御用のレーザ光の集光部、
S1…加工対象物の上面表面、
S2…加工対象物の下面表面。
Claims (6)
- 加工対象物にレーザ光を集光させることで、加工を行うレーザ加工装置であって、
前記加工対象物に加工を行うための第1レーザ光を照射する第1照射手段と、
前記加工対象物に第2レーザ光を照射する第2照射手段と、
前記加工対象物の表面又は裏面に前記第1レーザ光の集光部である第1集光部を形成することで加工を行う第1集光手段と、
前記加工対象物の所定の位置に前記第2レーザ光の集光部である第2集光部を形成する第2集光手段と、
前記加工対象物において反射される前記第2レーザ光の反射光を受光する受光手段と、
前記受光手段に受光される前記第2レーザ光の反射光に基づいて、前記第2集光部の位置を決定するフォーカスサーボ手段と、
前記第2集光部の位置に基づいて決定される位置に前記第1集光部を形成するように前記第1集光手段の動作を制御する制御手段と
を備え、
前記第1集光手段の開口数が前記第2集光手段の開口数よりも大きいことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記第2集光手段の開口数は、前記加工対象物の表面及び裏面の間の厚さ、並びに屈折率に基づいて決定される値以上であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記第2集光手段の開口数は、0.1以上であることを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工装置。
- 前記第1集光手段は、前記加工対象物の表面又は裏面における前記第2集光部の位置に基づいて決定される位置に前記第1集光部を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
- 前記第1及び第2照射手段がレーザ光を照射する際に、前記第1レーザ光と前記加工対象物とを相対的に移動させる移動手段を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
- 前記第2集光手段は、前記加工対象物における、前記第2レーザ光の光軸方向における前記加工対象物の表面から所定距離離隔した所定の位置に前記第2集光部を形成することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
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