JP4797688B2 - 電子部品の気密封止装置 - Google Patents
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Description
前記外部接続配管と接続されるポンプと、前記温度センサからの温度情報に基づきヒータの温度を調整する温度調整とポンプの動作を制御する制御部とを有する制御処理部と、からなる電子部品の気密封止装置であって、前記封止治具にヒータ機能が組み込まれているとともに、前記制御処理部には、1以上の前記気密チャンバ部が追加的に接続可能な制御チャンネルを有し、電気的な制御を行う入出力インターフェイスおよび雰囲気を制御する配管インターフェイスを有していることを特徴としている。なお、温度センサはヒータと封止治具のいずれか一方または両方に設けられており、温度制御の方法に応じて設定すればよい。
本発明の実施の形態について、電子部品として表面実装型水晶振動子を用い、これを水晶振動子の内部空間を真空雰囲気で気密封止する装置を例にとり図面とともに説明する。図1は本実施の形態による気密封止装置の概念図、図2は開蓋時の気密チャンバ部の内部平面図、図3は閉蓋時の気密チャンバ部の断面図、図4は封止治具を示す図、図5は気密チャンバ部の他の構成を示す図、図6は本発明による接続構成の概念を示す図である。
で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎ
ず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであ
って、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属す
る変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
11,41 制御処理部
12,13,14,15,16,42,43,44,45 気密チャンバ部
11a,41a 制御部
11b、41b ポンプ
Claims (7)
- ヒータと、当該ヒータと同室に配置される封止治具と、封止治具に設置され、気密封止される1または複数の電子部品と、ヒータまたは/および封止治具の温度を測定する温度センサと、ヒータまたは/および封止治具と接続される外部接続端子と、外部接続配管とを格納する気密チャンバ部と、
前記外部接続配管と接続されるポンプと、前記温度センサからの温度情報に基づきヒータの温度を調整する温度調整とポンプの動作を制御する制御部とを有する制御処理部と、からなる電子部品の気密封止装置であって、
前記封止治具にヒータ機能が組み込まれているとともに、前記制御処理部には、1以上の前記気密チャンバ部が追加的に接続可能な制御チャンネルを有し、電気的な制御を行う入出力インターフェイスおよび雰囲気を制御する配管インターフェイスを有していることを特徴とする電子部品の気密封止装置。 - 気密チャンバ部と制御処理部からなる電子部品の気密封止装置において、前記制御処理部に気密チャンバ部が追加的に1以上接続された請求項1記載の電子部品の気密封止装置。
- 前記電子部品はパッケージ内部に水晶振動素子が保持された水晶振動デバイスであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子部品の気密封止装置。
- 気密チャンバ部には、温度センサからの温度情報に基づきヒータの温度を調整する温度調整部が組み込まれ、制御処理部には温度調整部が設けられていないことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電子部品の気密封止装置。
- 気密チャンバ部のヒータまたは/および封止治具には冷却水配管が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の電子部品の気密封止装置。
- 前記封止治具にヒータ機能が組み込まれている構成は、封止治具自体がヒータ材からなる構成であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の電子部品の気密封止装置。
- 前記ポンプは真空ポンプであり、気密チャンバ部を真空雰囲気とすることにより電子部品の気密空間を真空雰囲気としたことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の電子部品の気密封止装置。
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