JP4787947B2 - 防爆型音響センサ - Google Patents

Description

本発明は、危険物取扱エリアに配置される防爆型音響センサに関する。

製油所や石油化学工場等には種々の配管が配置されており、これらの配管には可燃性の高い流体等の危険な物質が流れる危険物取扱エリアがある。
このエリア内における配管等の大規模漏洩事故を早期に発見するために漏洩検出システムが用いられている。
この漏洩検出システムには種々の方法が用いられるが、昨今、配管の近傍にマイクロフォンを配置し、配管内に流通する流体の音や漏洩した際の音をマイクロフォンで収集することが検討されている。

従来のマイクロフォンとして、電気式のマイクロフォンや光マイクロフォンが知られている。
この光マイクロフォンの従来例として、一端部が開口されたハウジングの開口部に振動膜を設け、この振動膜に先端がそれぞれ対向する２本の光ファイバをハウジング内に収納し、このうち１本の光ファイバの基端を光源と接続して膜に光を照射し、残り１本の光ファイバに光検出器を接続して膜から反射した光を信号として検出する構造のものがある（特許文献１）。
この従来例では、配管内で流通する流体が漏洩すると、マイクロフォンの振動膜の振動状態が変化するので、この振動膜の振動変化を光の信号の変化として検出し、漏洩を発見する。

特表2004-502364号公報（図１）

従来のマイクロフォンを漏洩検出システムにそのまま利用しても、防爆仕様が十分ではないので多くの課題が生じる。
例えば、通常の電気マイクロフォンでは、センサ部を防爆化するだけでなく、センサ設置工事のために接地工事が必要であり、容易に機器の設置を行うことができない。そして、石油精製装置内には大容量の電動機等、電磁ノイズ源が散在するため、電気マイクロフォンはノイズの影響を受けやすい。
通常のマイクロフォンは屋内で使用するか、屋外であっても、別途、雨よけを設けて使用する。しかし、製油所等の危険物取扱エリアは屋外が多いので、室内用のマイクロフォンをそのまま使用するわけにはいかず、別途、雨よけ施設を設置するには、その施設の構造が複雑とならざるを得ない。
特に、光マイクロフォンでは、湿度ある環境で連続的に安定した使用ができないので、石油精製装置等で使用する場合には耐候性、耐環境性が必要とされる。

本発明の目的は、センサ本体を危険物取扱エリアに設置しても、耐候性、耐環境性が優れた防爆型音響センサを提供することにある。

本発明の防爆型音響センサは、危険物取扱エリアに配置され振動音を光の信号として検知するセンサ本体と、前記危険物取扱エリアから離れた安全な非危険物取扱エリアに配置され前記センサ本体で検出された光の信号を電気に変換する光電変換器と、前記センサ本体と前記光電変換器とを接続する光ケーブルとを備え、前記センサ本体は、一部が開口された有底筒状の筐体と、この筐体の開口を閉塞する振動膜と、前記筐体内で前記光ケーブルの一端部と接続され前記振動膜にレーザ光を照射するとともに前記振動膜から反射されたレーザ光を受光するレーザ受発光部と、前記振動膜に対向配置された防水膜を有し前記筐体の全体を覆う防水部材と、を含み、前記防水部材は前記防水膜の周縁部と嵌合する正面部と、この正面部に接合されるとともに前記筐体の側面及び背面部にそれぞれ接合されるケース本体とを備え、前記ケース本体は、有底円筒状に形成されており、この内周部は前記筐体の筒状部の一側面が当接され、この他側面が所定間隔離れて配置され、この間隔から形成されるスペースは、前記防水部材と前記振動膜との間に形成されたスペースと連続して形成され、このスペースの気圧を調整するために、前記ケース本体の筒状部であって前記スペースを挟んで前記筐体の周面と対向する位置に設けられ、前記防水膜より柔軟な材料から形成され、前記防水部材の内外に圧力差が生じると、前記防水膜が変形する前に変形する気圧調整膜が前記防水部材に取り付けられたことを特徴とする。
また、本発明の他の防爆型音響センサは、危険物取扱エリアに配置され振動音を光の信号として検知するセンサ本体と、前記危険物取扱エリアから離れた安全な非危険物取扱エリアに配置され前記センサ本体で検出された光の信号を電気に変換する光電変換器と、前記センサ本体と前記光電変換器とを接続する光ケーブルとを備え、前記センサ本体は、一部が開口された有底筒状の筐体と、この筐体の開口を閉塞する振動膜と、前記筐体内で前記光ケーブルの一端部と接続され前記振動膜にレーザ光を照射するとともに前記振動膜から反射されたレーザ光を受光するレーザ受発光部と、前記振動膜に対向配置された防水膜を有し前記筐体の全体を覆う防水部材と、を含み、前記防水部材は、前記筐体を覆う第１ブロック体と、この第１ブロック体の基端側に螺合され前記コネクタを覆う第２ブロック体と、この第２ブロック体の基端側に螺合された第３ブロック体と、前記第１ブロック体の先端に螺合された正面部とを備え、前記防水部材と前記振動膜との間にはスペースが形成され、このスペースの気圧を調整するために、前記正面部の中心部に設けられた円板部において、前記防水膜と略同一平面内となる位置に設けられ、前記防水膜より柔軟な材料から形成され、前記防水部材の内外に圧力差が生じると、前記防水膜が変形する前に変形する気圧調整膜が前記防水部材に取り付けられたことを特徴とする。

この発明によれば、危険物取扱エリアにおける配管等の騒音源にセンサ本体を対向配置し、光電変換器を事務所等の非危険物取扱エリアに配置し、センサ本体と光電変換器とを光ケーブルで接続する。そして、配管等の騒音源で発生する音でセンサ本体の振動膜が振動する。レーザ受発光部から照射したレーザ光は振動膜で反射してレーザ受発光部で受光し、その光信号が光ケーブルを通って光電変換器に送られる。この光電変換器では光の信号を電気信号に変換し、その電気信号から振動膜の振動状態を見る。配管等に漏洩があると、配管等の騒音源から発する音に変化が生じることになり、この音の変化に伴って振動膜の振幅等が変化する。すると、光ケーブルを通じて光電変換器に送られる信号が変化し、この変化の状況から漏洩が検出される。

従って、本発明では、センサ本体が危険物取扱エリアに配置され、そのセンサ本体から出力される光の信号を電気信号に変換する光電変換器が非危険物取扱エリアに配置されているので、この光電変換器から出力された電気信号に基づいて漏洩を検知する作業員が非危険物取扱エリアで作業できることから作業員の安全が確保される。
しかも、振動膜の振動を電気信号ではなく光信号で非危険物取扱エリアに伝達するから、危険物取扱エリア内で電磁ノイズ源が散在しても、ノイズの影響を受けにくいので精度の高い検出を行うことができる。
その上、センサ本体の筐体には防水部材が設けられているので、振動膜やレーザ受発光部というセンサの重要な部分が筐体だけでなく防水部材で覆われているので、十分な防爆機能を果たせるとともに、雨風等に対しても強い耐候性、耐環境性を得ることができる。

ここで、本発明では、前記防水部材は前記防水膜の周縁部と嵌合する正面部と、この正面部に接合されるとともに前記筐体の側面及び背面部にそれぞれ接合されるケース本体とを備えた構成が好ましい。
この構成の発明では、防水部材を、防水膜が嵌合された正面部と、ケース本体とに分けて構成したので、ケース本体の内部に振動膜やレーザ受発光部を装着した後にケース本体の正面側に正面部を接合することで、防水部材を筐体に簡単に取り付けることができる。

前記防水部材と前記振動膜との間にはスペースが形成され、このスペースの気圧を調整する気圧調整膜が前記防水部材に取り付けられた構成が必要である。
この構成の発明では、気候の変化により筐体内の気圧が変化しても、気圧調整膜によって筐体内部の気圧が一定に保たれるため、振動膜及び防水膜の動きに悪影響を及ぼすことがなく、精度の高い漏洩検出を行うことができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の第１実施形態にかかる防爆型音響センサの概略構成を示す図である。
図１において、防爆型音響センサ１は、危険物取扱エリアＡに配置されるセンサ本体１１と、非危険物取扱エリアＢに配置される光電変換器１２と、センサ本体１１と光電変換器１２とをそれぞれ接続する２本の光ケーブル１３とを備えている。本実施形態では、この防爆型音響センサ１は１セット設けられるものでもよく、あるいは、複数セット設けられるものでもよい。
ここで、危険物取扱エリアＡとは製油所や石油化学工場等であって、その施設を構成する配管に可燃性の高い危険な流体が流れるエリアをいう。このエリアでは、防災管理が徹底されており、人の出入りも制限されている。非危険物取扱エリアＢとは事務管理部門等の事務所が設置される安全なエリアをいう。

センサ本体１１は、危険な流体が流通する配管（図示せず）に対向配置されているものであり、一部が開口された筐体１１０と、この筐体１１０の開口を閉塞する振動膜１１１と、この振動膜１１１に対向するように筐体１１０の内部に設けられたレーザ受発光部１１２と、筐体１１０の全体を覆う防水部材１１３とを備えている。
筐体１１０は、金属、プラスチック、その他の硬質材料から有底円筒状に形成されている。筐体１１０の内周部には振動膜１１１の外周縁を嵌合する嵌合溝１１０Ａが周方向に沿って形成されている。筐体１１０の底部には光ケーブル１３を挿通するための孔部１１０Ｂが軸方向に延びて形成されている。
振動膜１１１は、金属、プラスチック、その他の弾性材料から略円板状に形成されている。

レーザ受発光部１１２は円錐台状の台座１１２１と、この台座１１２１の頂部に設けられ振動膜１１１に向けてレーザ光を照射するレーザ発光部１１２２と、振動膜１１１から反射されたレーザ光を受光するレーザ受光部１１２３とを備えている。これらのレーザ発光部１１２２とレーザ受光部１１２３とは、それぞれ台座１１２１を貫通して設けられた光ケーブル１３の端部と接続されている。
防水部材１１３は振動膜１１１に対向配置された防水膜１１３１と、この防水膜１１３１の周縁部と嵌合する正面部１１３２と、この正面部１１３２に接合されるとともに筐体１１０の側面及び背面部にそれぞれ接合されるケース本体１１３３とを備えている。

防水膜１１３１は、プラスチック、その他の弾性材料のうち防水機能を有する材料から略円板状に形成されており、その外周部が正面部１１３２に嵌合されている。
正面部１１３２は金属、プラスチック、その他の硬質材料のうち防水機能を有する材料から略平板リング状に形成されている。
ケース本体１１３３は金属、プラスチック、その他の硬質材料のうち防水機能を有する材料から有底円筒状に形成されており、その内部には筐体１１０に嵌合する嵌合部１１３３Ａが形成されている。ケース本体１１３３の底部には光ケーブル１３を挿通するための孔部１１３３Ｂが軸方向に延びて形成されている。
筐体１１０の内部において振動膜１１１で仕切られたスペースと、振動膜１１１と防水膜１１３１との間のスペースとを連通する内圧調整チューブ１４が筐体１１０の筒部に設けられている。内圧調整チューブ１４はプラスチック材料から形成されている。

光ケーブル１３は光ファイバであり、その端部でコネクタ１５を介して光電変換器１２に接続されている。
光電変換器１２は図示しない制御装置と接続されており、この制御装置は、光電変換器１２及びコネクタ１５を介してレーザ発光部１１２２に信号を送り、かつ、レーザ受光部１１２３からコネクタ１５及び光電変換器１２を介して信号を受け取るサーバを備え、このレーザ受光部１１２３から受け取る信号の変化を光から電気信号に変換し、パソコン（パーソナルコンピュータ）等の演算装置に入力し、パソコン等にて異常を検知する。

次に、本実施形態における防爆型音響センサ１の動作について説明する。
危険物取扱エリアＡの配管に流体が流通すると、流通に際して騒音が生じる。すると、配管内を流通している流体の音によってセンサ本体１１の振動膜１１１が振動する。レーザ受発光部１１２のレーザ発光部１１２１から照射したレーザ光は振動膜１１１で反射してレーザ受光部１１２２で受光し、その光信号が光ケーブル１３を通って非危険物取扱エリアＢにある光電変換器１２に送られる。振動膜１１１の振動が一定であれば、規定の光の信号が光電変換器１２に送られる。

この光電変換器１２で光の信号を電気信号に変換した後、パソコン等に電気信号が送られ、この信号から異常を検知する。
ここで、配管に漏洩があると、配管の漏洩箇所から音が生じ、この騒音に重畳して測定された音の変化に伴って振動膜１１１の振幅等が変化する。すると、レーザ発光部１１２１から照射されて振動膜１１１で反射した後にレーザ受光部１１２２で受光されるレーザ光の光路が変化することになり、この変化したレーザ光の信号が光ケーブル１３を通じて光電変換器１２を介してパソコン等に送られ、このパソコン等によって漏洩が検出される。

従って、第１実施形態では次の作用効果を奏することができる。
（１）本実施形態では、センサ本体１１が危険物取扱エリアＡに配置され、そのセンサ本体１１から出力される光の信号を電気信号に変換する光電変換器１２が非危険物取扱エリアＢに配置され、これらのセンサ本体１１と光電変換器１２とをそれぞれ接続する光ケーブル１３とを備えて防爆型音響センサ１を構成しているから、光電変換器１２から出力された電気信号をパソコン等に入力し、このパソコン等にて異常を検知する作業員が非危険物取扱エリアＢで作業できることから作業員の安全が確保される。しかも、センサ本体１１の信号を電気信号ではなく光信号で非危険物取扱エリアＢに伝達するから、危険物取扱エリアＡ内で仮に電磁ノイズ源が散在しても、光はノイズの影響を受けにくいので精度の高い検出を行うことができる。

（２）センサ本体１１は、一部が開口された有底筒状の筐体１１０と、この筐体１１０の開口を閉塞する振動膜１１１と、筐体１１０内で光ケーブル１３の一端部と接続され振動膜１１１にレーザ光を照射するとともに振動膜１１１から反射されたレーザ光を受光するレーザ受発光部１１２とを含み構成されているので、配管内を流通する流体が漏洩して騒音が変化すると、振動膜１１１の振動の振幅が変化し、これをレーザ光で検出することになる。

（３）センサ本体１１は筐体１１０の全体を覆う防水部材１１３を備えたから、振動膜１１１やレーザ受発光部１１２というセンサの重要な部分が筐体だけでなく防水部材１１３で覆われているので、十分な防爆機能を果たせるとともに、雨風等に対しても強い耐候性、耐環境性を得ることができる。
（４）防水部材１１３は振動膜１１１に対向配置された防水膜１１３１を有するから、配管内を流通する流体の騒音によって防水膜１１３１が振動し、この振動が振動膜１１１に伝達されるので、防水部材１１３を設けることで強い耐候性、耐環境性を得ることができる。

（５）防水部材１１３は防水膜１１３１の周縁部と嵌合する正面部１１３２と、この正面部１１３２に接合されるとともに筐体１１０の側面及び背面部にそれぞれ接合されるケース本体１１３３とを備えたので、ケース本体１１３３の内部に振動膜１１１やレーザ受発光部１１２を装着した後にケース本体１１３３の正面側に正面部を接合することで、防水部材１１３を筐体１１０に簡単に取り付けることができる。

（６）筐体１１０の内部において振動膜１１１で仕切られたスペースと、振動膜１１１と防水膜１１３１との間のスペースとを連通する内圧調整チューブ１４が筐体１１０に設けられている。そのため、これらのスペースがそれぞれ密閉されている状態であっても、振動膜１１１がこれらのスペースの負圧によって振動が制限されることがないから、精度の高い検出をすることができる。

（７）レーザ受発光部１１２は、振動膜１１１に向けてレーザ光を照射するレーザ発光部１１２２と、振動膜１１１から反射されたレーザ光を受光するレーザ受光部１１２３とが別々に構成され、これらのレーザ発光部１１２２とレーザ受光部１１２３とにそれぞれ光ケーブル１３が接続されている。そのため、レーザ光の振動膜１１１への入射ルートと振動膜１１１からの反射ルートとを別々に設けることにより、構造を簡易なものにすることができる。

次に、本発明の第２実施形態を図２に基づいて説明する。第２実施形態はセンサ本体の構造が第１実施形態と異なるもので、他の構造は第１実施形態と同じである。なお、第２実施形態の説明で、第１実施形態と同一の構成要素は同一の符号を付して説明を省略もしくは簡略にする。
図２は第２実施形態にかかる防爆型音響センサ２の概略構成図である。
図２において、防爆型音響センサ２は危険物取扱エリアＡに配置されるセンサ本体２１と、前記光電変換器１２及び前記光ケーブル１３とを備えている。本実施形態では、光ケーブル１３は１本である。

センサ本体２１は、前記筐体１１０及び振動膜１１１と、この振動膜１１１に対向するように筐体１１０の内部に設けられたレーザ受発光部２１２と、筐体１１０の全体を覆う防水部材２１３とを備えている。
レーザ受発光部２１２は振動膜１１１に向けてレーザ光を照射するレーザ発光部と、振動膜１１１から反射されたレーザ光を受光するレーザ受光部とが一体に構成された構造であり、このレーザ受発光部１１２と光ケーブル１３とはコネクタ１５を介して接続されている。このコネクタ１５は筐体１１０の底部に一部が嵌合されている。
防水部材２１３は、前記防水膜１１３１及び正面部１１３２と、この正面部１１３２に接合されるとともに筐体１１０の側面及び背面部にそれぞれ接合されるケース本体２１３３とを備えている。

ケース本体２１３３は、金属、プラスチック、その他の硬質材料のうち防水機能を有する材料から有底円筒状に形成されており、その内周部は筐体１１０の筒状部の一側面が当接され、この他側面が所定間隔離れて配置されている。この間隔から形成されるスペースは、振動膜１１１と防水膜１１３１との間に形成されたスペースと連続して形成されている。
ケース本体２１３３の筒状部であってスペースを挟んで筐体１１０の周面と対向する位置には気圧調整膜２０が設けられている。この気圧調整膜２０は防水部材２１３と振動膜１１１との間に形成されたスペースの気圧を調整するものであり、防水膜１１３１より柔軟な材料から形成されている。気候の変化により、防水部材２１３の内外に圧力差が生じると、防水膜１１３１が変形する前に気圧調整膜２０が変形する。
ケース本体２１３３の底部にはコネクタ１５及び光ケーブル１３を挿通するための孔部２１３３Ｂが軸方向に延びて形成されている。

従って、第２実施形態では第１実施形態の（１）〜（６）と同様の作用効果を奏することができる他、次の作用効果を奏することができる。
（８）防水部材２１３と振動膜１１１との間にはスペースが形成され、このスペースの気圧を調整する気圧調整膜２０が防水部材２１３のケース本体２１３３に取り付けられので、気候の変化により筐体１１０内の気圧が変化しても、気圧調整膜２０によって筐体１１０内部の気圧が一定に保たれる。そのため、振動膜１１１及び防水膜１１３１の動きに悪影響を及ぼすことがなく、精度の高い音響信号の変換を行うことができる。

（９）レーザ受発光部２１２は、振動膜１１１に向けてレーザ光を照射するレーザ発光部と、振動膜１１１から反射されたレーザ光を受光するレーザ受光部とが一体に構成され、このレーザ受発光部２１２と光ケーブル１３とはコネクタ１５を介して接続されている。そのため、レーザ光の振動膜への入射ルートと振動膜１１１からの反射ルートとを１本にすることで装置を小型化することができる。

次に、本発明の第３実施形態を図３に基づいて説明する。第３実施形態は第２実施形態を実用化した場合の具体的な構造を示すものである。なお、第３実施形態の説明で、第２実施形態と同一の構成要素は同一の符号を付して説明を省略もしくは簡略にする。
図３は第２実施形態を実用化した場合の防爆型音響センサ３の構成図である。
図３において、防爆型音響センサ３は危険物取扱エリアＡに配置されるセンサ本体３１と、前記光電変換器１２（図３では図示せず）及び前記光ケーブル１３とを備えている。

センサ本体３１は、筐体１１０及び振動膜１１１と、この振動膜１１１に対向するように筐体１１０の内部に設けられた図示しないレーザ受発光部と、筐体１１０及びコネクタ１５の全体を覆う防水部材３１３とを備えている。筐体１１０の内部は第２実施形態と同様に図示しない内圧調整チューブが設けられており、防水部材３１３には図示しない気圧調整膜が設けられている。
レーザ受発光部は第２実施形態のレーザ受発光部２１２と同じ構造であり、光ケーブル１３とはコネクタ１５を介して接続されている。

防水部材３１３は、筐体１１０を覆う第１ブロック体３１３１と、この第１ブロック体３１３１の基端側に螺合されコネクタ１５を覆う第２ブロック体３１３２と、この第２ブロック体３１３２の基端側に螺合された第３ブロック体３１３３と、第１ブロック体３１３１の先端に螺合された正面部３１３４とを備えている。本実施形態では、第１〜第３ブロック体３１３１〜３１３３からケース本体が構成される。
第１ブロック体３１３１は、筐体１１０の外周部を嵌合するものであり、その先端部から振動膜１１１を露出させる開口が形成されている。第１ブロック体３１３１と筐体１１０とに内圧調整チューブ１４が設けられている。
第２ブロック体３１３２は、その先端部に筐体１１０の基端部と当接する当接部３１３２Ａが形成され、その軸芯に沿って略円柱状のコネクタ１５を挿通する孔部３１３２Ｂが形成されている。
第３ブロック体３１３３はコネクタ１５の端部を覆うものである。
正面部３１３４はキャップ状に形成されており、その中心部には円板部３１３４Ａが設けられている。この円板部３１３４Ａには防水膜１１３１と気圧調整膜２０とが略同一平面内に設けられている。

従って、第３実施形態では第２実施形態の（１）〜（６）（８）（９）と同様の作用効果を奏することができる他、次の作用効果を奏することができる。
（１０）ケース本体を第１〜第３ブロック体３１３１〜３１３３から構成し、これらを互いに螺合して一体化する構成としたので、防水部材３１３を筐体１１０及びコネクタ１５に簡単に取り付けることができる。

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
たとえば、前記実施形態では、振動膜１１１に防水膜１１３１を対向配置したが、本発明では、振動膜１１１と防水膜１１３１との位置関係は任意に設定することができる。

本発明は、製油所や石油化学工場、その他の危険物取扱エリアに配置される防爆型音響センサに利用することができる。

本発明の第１実施形態にかかる防爆型音響センサの概略を示す断面図。 本発明の第２実施形態にかかる防爆型音響センサの概略を示す断面図。 本発明の第３実施形態（第２実施形態を実用化した具体的構造）にかかる防爆型音響センサの要部の概略を示す断面図。

符号の説明

１，２，３…防爆型音響センサ、１１，２１，３１…センサ本体、１２…光電変換器、１３…光ケーブル、１５…コネクタ、２０…気圧調整膜、１１０…筐体、１１１…振動膜、１１２…レーザ受発光部、１１３，２１３，３１３…防水部材、１１３１…防水膜、Ａ…危険物取扱エリア、Ｂ…非危険物取扱エリア

Claims (2)

1. 危険物取扱エリアに配置され振動音を光の信号として検知するセンサ本体と、前記危険物取扱エリアから離れた安全な非危険物取扱エリアに配置され前記センサ本体で検出された光の信号を電気に変換する光電変換器と、前記センサ本体と前記光電変換器とを接続する光ケーブルとを備え、
   前記センサ本体は、一部が開口された有底筒状の筐体と、この筐体の開口を閉塞する振動膜と、前記筐体内で前記光ケーブルの一端部と接続され前記振動膜にレーザ光を照射するとともに前記振動膜から反射されたレーザ光を受光するレーザ受発光部と、前記振動膜に対向配置された防水膜を有し前記筐体の全体を覆う防水部材と、を含み、
   前記防水部材は前記防水膜の周縁部と嵌合する正面部と、この正面部に接合されるとともに前記筐体の側面及び背面部にそれぞれ接合されるケース本体とを備え、
   前記ケース本体は、有底円筒状に形成されており、この内周部は前記筐体の筒状部の一側面が当接され、この他側面が所定間隔離れて配置され、
   この間隔から形成されるスペースは、前記防水部材と前記振動膜との間に形成されたスペースと連続して形成され、
   このスペースの気圧を調整するために、前記ケース本体の筒状部であって前記スペースを挟んで前記筐体の周面と対向する位置に設けられ、前記防水膜より柔軟な材料から形成され、前記防水部材の内外に圧力差が生じると、前記防水膜が変形する前に変形する気圧調整膜が前記防水部材に取り付けられた
   ことを特徴とする防爆型音響センサ。
2. 危険物取扱エリアに配置され振動音を光の信号として検知するセンサ本体と、前記危険物取扱エリアから離れた安全な非危険物取扱エリアに配置され前記センサ本体で検出された光の信号を電気に変換する光電変換器と、前記センサ本体と前記光電変換器とを接続する光ケーブルとを備え、
   前記センサ本体は、一部が開口された有底筒状の筐体と、この筐体の開口を閉塞する振動膜と、前記筐体内で前記光ケーブルの一端部と接続され前記振動膜にレーザ光を照射するとともに前記振動膜から反射されたレーザ光を受光するレーザ受発光部と、前記振動膜に対向配置された防水膜を有し前記筐体の全体を覆う防水部材と、を含み、
   前記防水部材は、前記筐体を覆う第１ブロック体と、この第１ブロック体の基端側に螺合され前記コネクタを覆う第２ブロック体と、この第２ブロック体の基端側に螺合された第３ブロック体と、前記第１ブロック体の先端に螺合された正面部とを備え、
   前記防水部材と前記振動膜との間にはスペースが形成され、
   このスペースの気圧を調整するために、前記正面部の中心部に設けられた円板部において、前記防水膜と略同一平面内となる位置に設けられ、前記防水膜より柔軟な材料から形成され、前記防水部材の内外に圧力差が生じると、前記防水膜が変形する前に変形する気圧調整膜が前記防水部材に取り付けられた
   ことを特徴とする防爆型音響センサ。

Images