JP4787630B2 - 超音波探触子 - Google Patents
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- バッキング層と、
バッキング層上に設けられる圧電層と、
圧電層上に設けられる整合層と、
を有する超音波探触子であって、
前記圧電層は、第一分割部として機能する溝によって複数に分割され、
前記整合層は、第二分割部として機能する溝によって複数に分割され、
前記圧電層の溝には、第一充填剤が充填され、
前記整合層の溝には、第二充填剤が充填され、
前記第一充填剤の音響インピーダンスは、前記第二充填剤の音響インピーダンスよりも大きく、
前記第一充填剤は、フィラー剤が実質的に添加されていない充填剤であり、
前記第二充填剤は、フィラー剤が添加された充填剤である、
ことを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1に記載の超音波探触子において、
前記第一充填剤は、フィラー剤が添加されていないシリコーンゴムである、
ことを特徴とする超音波探触子。 - バッキング上に電極を介して圧電板を接着する工程と、
圧電板をカットして複数に分割する工程と、
カットによって圧電板に形成された分割溝に第一充填剤を充填する工程と、
圧電板上に電極を介して音響整合層を接着する工程と、
音響整合層をカットして複数に分割する工程と、
カットによって音響整合層に形成された分割溝に第二充填剤を充填する工程と、
を含み、
前記第一充填剤を充填する工程において、フィラー剤が実質的に添加されていない第一充填剤が充填されることを特徴とし、
カットによって複数に分割された圧電板の上面をマスキングシートで保護する工程をさらに含み、
前記第一充填剤を充填する工程において、マスキングシートで上面を保護された圧電板の側面から分割溝に第一充填剤が充填される、
ことを特徴とする超音波探触子の製造方法。
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