JP4787602B2 - 真空乾燥装置 - Google Patents
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Description
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、簡単な構成でありながら短時間で被乾燥物を乾燥させることが可能な真空乾燥機を提供することにある。
スピン用鉛直回転軸と転動用鉛直回転軸とを併用した2軸回転により、バスケットにスピンと転動を与えるようにしたので、被乾燥物の種類によって、バスケット内の被乾燥物をより短時間で乾燥することができる。
挿入部の軸シールに通常のOリングと真空グリスを用いる通常のシール手段では、回転に伴って抵抗が増大し、過負荷になるという問題が生じやすいが、本発明によれば、回転用シールを用いたので、そのような問題を解決できる。
強化ガラスを用いると、耐熱性、耐圧性、高透過率が得られ、被乾燥物をより短時間で乾燥することができる。
図1は実施の形態の真空乾燥機の概略縦断面図を示す。この真空乾燥機は、スピンモードと、スピンと転動の併用モードとの何れかを選択できるようになっている。図面上で、矢印Aで示す回転がスピンを意味し、矢印Bで示す回転が転動を意味している。
なお、バスケット31は、図示しないガイドによって所定位置に位置決めされ、その後に、チャック21によって固定される。チャック21によってバスケット31が固定されるのはスピンモードのときだけであり、併用モードのときは、バスケット32(二点鎖線で示す)はチャック21で固定しない。
スピン用鉛直回転軸13の上部には、図示しない部材を介してバスケット支持用のガイド30が、バスケット形状に合わせて設けられる。ここでは、ガイド30は、角型のバスケット31の形状に合わせて直方体状としたフレームから構成される。12本のフレーム材のうちの4本の縦材30aの下部のそれぞれに、バスケット31の矩形底面の四隅が係止される係止部30bが設けられている。バスケット31は、ガイド30の上方からガイド30内に挿入され、このガイド30に案内されて係止部30bで係止されることで、真空チャンバ10内の所定位置に位置決め(装着)される。
なお、丸型バスケット31’用のガイドは、上記ガイド30内に着脱自在に設けるとよい。
図5に真空排気ユニットの実施例を示す。
真空排気ユニットは、真空ポンプ式とエジェクタ式との2種類の排気方式を選択できるように構成してある。被乾燥物に付着している洗浄液の種類やクライアントの要望によって使い分けることを可能とするためである。
図6に示すように、スピン用鉛直回転軸13は、真空チャンバ10の底壁10aの中央に設けた挿入部としての挿入孔10bから真空チャンバ10内に鉛直方向に挿入される。スピン用鉛直回転軸13が挿入される底壁10a中央の挿入孔10bに、回転用シール51を有する軸受50を用いている。
図8及び図11を用いてローラ部の説明をする。図8はローラに着目した真空乾燥機の要部正面図、図11は図8のB−B線断面図である。
バスケット31の下部であって、スピン用鉛直回転軸13の上部に設けたかさ歯車61上方に、スピン用鉛直回転軸13と直交する一対の転動用水平回転軸19が、このかさ歯車61と対向して同一直線上に設けられる。各転動用水平回転軸19の一端にスピン用鉛直回転軸13の上部に設けたかさ歯車61と齒合するかさ歯車62が設けられ、他端に一対のローラ軸18の中央部にそれぞれ設けたかさ歯車64と齒合するかさ歯車63が設けられる。各ローラ軸18は、一対の転動用水平回転軸19と同一面内で直交するように設けられ、その両端に前述した一対のローラ17が、ローラ軸18を中心に回転するようにそれぞれ設けられている。
これによりスピン用鉛直回転軸13の鉛直回転が、転動用水平回転軸19、及びローラ軸18に伝えられ、ローラ軸18に取り付けられた一対のローラ17がローラ軸18とともに水平回転する。
図9及び図10を用いてチャック部の説明をする。図9はチャックに着目した真空乾燥機の要部側面図、図10は図8のA−A線断面図である。
メカニカルなチャック21は、バスケット31を把持するための一対のアームからなる把持部21aと、把持部21aを閉じる方向に付勢する弾性部材としてのスプリング23と、スプリング23の付勢力に抗して把持部21aを開放する方向に付勢するシリンダ22と、転動用鉛直回転軸15の内部と連通してエア等の流体をシリンダ22に給排する給排管25とから構成される。
チャック21は、常時はスプリング23の付勢力でバスケット31を挟着固定し、シリンダ22のロッド押出力でスプリング23の付勢力に抗してバスケット31の挟着固定を解き、バスケット31をチャック21から開放するようになっている。このようにスプリング23でバスケット31を固定し、シリンダ22でバスケット31の固定を解除するようにチャック21を構成すると、エアが切れたときでもバスケット31の固定を確保できるという利点がある。
このように実施の形態では、スピン乾燥時に、メカニカルなチャック21によりバスケット31を固定するようになっている。
[スピンモード選択]
転動用鉛直回転軸15から給排管25を介してシリンダ22にエアを導入し、チャック21を押し開き、バスケット31を受け入れ可能にする。バスケット31内に洗浄後の被乾燥物を入れる。被乾燥物に使用した洗浄液は、例えば水、炭化水素系(石油系)等である。
エジェクタ式を採用した場合は、この乾燥中、エジェクタ122により吸引された排気ガスを冷却して排気ガス中に含まれる液体を凝縮して取り出す。
シリンダ22にエアを注入してチャック21をバスケット31から開放して、チャック21による挟着固定を解除する。
真空、輻射加熱、及びスピンを同時に行っているため、半導体業界等で従来から行われている真空中でのヒータ加熱と比べて、2〜3分という短時間で被乾燥物をクリーンに乾燥することができる。
蓋体8を開け、真空チャンバ10内にバスケット32を入れ、一対のローラ17上に設置する。なお、チャック21は開いた状態に保持する。
12 排気系
13 スピン用鉛直回転軸
14 スピン用駆動機構
15 転動用鉛直回転軸
16 転動用駆動機構
21 チャック
30 ガイド
31 バスケット
32 バスケット
41 光透過窓
42 加熱ランプ
Claims (3)
- バスケット内に収容した被乾燥物を乾燥させる真空乾燥装置であって、
密閉可能な容器と、
前記容器を真空引きする排気系と、
前記容器内に鉛直方向に挿入されるスピン用鉛直回転軸と、
前記スピン用鉛直回転軸を回転して垂直軸を中心に前記回転バスケットを回転させるスピン用駆動機構と、
前記スピン用鉛直回転軸内を貫通する転動用鉛直回転軸と、
前記転動用鉛直回転軸の上部に水平方向に対向して配置される一対のローラと、
前記転動用鉛直回転軸と前記一対のローラ間に回転運動を伝達する伝達手段と、
前記転動用鉛直回転軸を回転し、前記伝達手段を介して前記一対のローラ上に載せるバスケットを水平軸を中心に転動させる転動用駆動機構と、
前記容器の壁に設けられる光透過窓と、
前記容器外に設けられ前記光透過窓を通して前記バスケット内に収容される被乾燥物を輻射加熱する加熱ランプと
を備えた真空乾燥装置。 - 前記スピン用鉛直回転軸が挿入される前記容器壁の挿入部に、回転用シールを有する軸受を用いたことを特徴とする請求項1に記載の真空乾燥装置。
- 前記光透過窓が強化ガラスであることを特徴とする請求項1または2に記載の真空乾燥装置。
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