JP4471133B2

JP4471133B2 - ウェハ移載装置、及びウェハ移載方法

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Publication number: JP4471133B2
Application number: JP2008028753A
Authority: JP
Inventors: 勝弘芳野
Original assignee: Oki Semiconductor Co Ltd
Current assignee: Lapis Semiconductor Co Ltd
Priority date: 2008-02-08
Filing date: 2008-02-08
Publication date: 2010-06-02
Anticipated expiration: 2028-02-08
Also published as: JP2009188305A; US8408859B2; US20090202324A1

Description

本発明は、一のキャリアに収納されたウェハを他のキャリアに移載するのに用いられるウェハ移載装置、及びこれを用いたウェハ移載方法に関する。

半導体ウェハはウェハ製造工場等でシリコン単結晶インゴットから所定厚さにスライスされ、べべリング、ラッピングなどの所定加工が施された後、運搬用のキャリアに収納され、半導体工場に搬送される。

半導体工場に搬送されると、運搬用のキャリアに収納されたウェハを各工程（例えば洗浄工程）に適合したキャリアへ移載しなければならない。

特許文献１には、受取り側のキャリアの開口部を横に向け、さらに、ウェハが収納されたキャリアの開口部を受取り側のキャリアの開口部と対向させ、そして、ウェハが収納されたキャリアを傾けることで受取り側のキャリアに向けてウェハを転がしてウェハを移載する装置が記載されている。
特開２００３−３１８２４７号公報

しかしながら、この装置によると、横に向けられた受取り側のキャリアの開口部に、ウェハが収納されたキャリアの開口部を対向させなければならない。このため、ウェハが収納されたキャリアを装置に取り付ける前に収納されるウェハがキャリアから落下することが考えられる。

本発明は、上記事実を考慮し、キャリアに収納されるウェハが落下するのを抑制することが課題である。

本発明の請求項１に係るウェハ移載装置は、ウェハを出し入れ可能とする第１出入口を備える第１キャリアを脱着自在に保持する第１キャリア収納部材と、前記第１キャリア収納部材と隣接して配置され、前記第１キャリアの前記第１出入口を通してウェハを移載する第２出入口を備える第２キャリアを脱着自在に保持する第２キャリア収納部材と、前記第１出入口を上方へ向けた状態で前記第１キャリアが脱着可能とされる第１出入位置と、前記第１キャリアと前記第２キャリアとの間で前記ウェハを移載可能とする第１受取位置とへ、前記第１キャリア収納部材を移動させると共に、前記第２出入口を上方へ向けた状態で前記第２キャリアが脱着可能とされる第２出入位置と、前記第１受取位置に移動した前記第１キャリアの前記第１出入口と前記第２キャリアの前記第２出入口が対向する第２受取位置とへ、前記第２キャリア収納部材を移動させる移動手段と、前記第１受取位置に移動した第１キャリア収納部材の第１キャリアの第１出入口と、前記第２受取位置に移動した前記第２キャリア収納部材の第２キャリアの第２出入口とが対向した状態で、前記第１キャリアと前記第２キャリアとの間で前記ウェハを移載するウェハ授受手段と、を備えが、前記移動手段は、前記第１キャリア収納部材に固定された第１回転軸部材と、前記第１回転軸部材を支持すると共に、前記第１キャリア収納部材を前記第１出入位置と前記第１受取位置との間で回転可能に支持する第１回転支持部材と、前記第１キャリア収納部材の端部と前記第２キャリア収納部材の端部を回転可能に連結する中間回転軸部材と、前記第２キャリア収納部材に固定された第２回転軸部材と、前記第２回転軸部材を前記第１キャリア収納部材に対して接近及び離間する方向へ移動可能に支持すると共に、前記第２キャリア収納部材を第２出入位置と第２受取位置の間で回転可能に支持する回転支持部材と、を備えると共に、前記ウェハ授受手段は、前記第１キャリアの前記第１出入口と前記第２キャリの前記第２出入口が対向した状態で、前記第１キャリア収納部材及び前記第２キャリア収納部材を傾ける傾斜台であることを特徴とする。

上記構成によれば、第１キャリア収納部材は、ウェハを出し入れ可能とする第１出入口を備えた第１キャリアを脱着自在に保持する。また、第２キャリア収納部材は、第１キャリア収納部材と隣接して配置され、さらに、第１キャリアの第１出入口を通してウェハを移載する第２出入口を備えた第２キャリアを脱着自在に保持する。

そして、第１出入位置に配置される第１キャリア収納部材は、第１回転支持部材に支持された第１回転軸部材を中心に回転して第１受取位置へ移動する。そして、第１キャリア収納部材が回転すると、第１キャリ収納部材の端部に設けられた中間回転軸部材も第１回転軸部材を中心に移動する。

さらに、端部に設けられた中間回転軸部材が移動することで、第２出入位置に配置される第２キャリア収納部材は、第２回転軸部材を中心に回転し、さらに、この第２回転軸部材が回転支持部材によって支持されながら移動することで、第２受取位置へ移動する。

また、傾斜台は、第１キャリアの第１出入口と第２キャリの第２出入口が対向した状態で、第１キャリア収納部材及び第２キャリア収納部材を傾ける。これにより、第１キャリアと第２キャリアの間で収納されるウェハは転がって移載される。

このように、第１キャリア及び第２キャリアの第１出入口及び第２出入口を上に向けた状態で、第１キャリア収納部材及び第２キャリア収納部材から第１キャリア及び第２キャリアを脱着することができる。このため、第１キャリア及び第２キャリアに収納されるウェハが第１キャリア及び第２キャリアから落下するのを抑制することができる。

本発明の請求項２に係るウェハ移載方法は、ウェハを出し入れ可能とする第１出入口を備える第１キャリアを脱着自在に保持する第１キャリア収納部材と、前記第１キャリア収納部材と隣接して配置され、前記第１キャリアの前記第１出入口を通してウェハを移載する第２出入口を備える第２キャリアを脱着自在に保持する第２キャリア収納部材と、前記第１出入口を上方へ向けた状態で前記第１キャリアが脱着可能とされる第１出入位置と、前記第１キャリアと前記第２キャリアとの間で前記ウェハを移載可能とする第１受取位置とへ、前記第１キャリア収納部材を移動させると共に、前記第２出入口を上方へ向けた状態で前記第２キャリアが脱着可能とされる第２出入位置と、前記第１受取位置に移動した前記第１キャリアの前記第１出入口と前記第２キャリアの前記第２出入口が対向する第２受取位置とへ、前記第２キャリア収納部材を移動させる移動手段と、前記第１受取位置に移動した第１キャリア収納部材の第１キャリアの第１出入口と、前記第２受取位置に移動した前記第２キャリア収納部材の第２キャリアの第２出入口とが対向した状態で、前記第１キャリアと前記第２キャリアとの間で前記ウェハを移載するウェハ授受手段と、を備え、前記移動手段は、前記第１キャリア収納部材に固定された第１回転軸部材と、前記第１回転軸部材を支持すると共に、前記第１キャリア収納部材を前記第１出入位置と前記第１受取位置との間で回転可能に支持する第１回転支持部材と、前記第１キャリア収納部材の端部と前記第２キャリア収納部材の端部を回転可能に連結する中間回転軸部材と、前記第２キャリア収納部材に固定された第２回転軸部材と、前記第２回転軸部材を前記第１キャリア収納部材に対して接近及び離間する方向へ移動可能に支持すると共に、前記第２キャリア収納部材を第２出入位置と第２受取位置の間で回転可能に支持する回転支持部材と、を備えると共に、前記ウェハ授受手段は、前記第１キャリアの前記第１出入口と前記第２キャリの前記第２出入口が対向した状態で、前記第１キャリア収納部材及び前記第２キャリア収納部材を傾ける傾斜台であることを特徴とするウェハ移載装置を使用して前記第１キャリアと前記第２キャリとの間でウェハを移動させるウェハ移載方法であって、前記第１出入位置及び前記第２出入位置に配置される前記第１キャリア収納部材及び前記第２キャリア収納部材へ前記第１キャリア及び前記第２キャリアを取り付ける工程と、前記移動手段で、前記第１キャリア収納部材を前記第１出入位置から前記第１受取位置へ移動させると共に、前記第２キャリア収納部材を前記第２出入位置から前記第２受取位置へ移動させる工程と、前記ウェハ授受手段で、前記第１受取位置に移動した前記第１キャリア収納部材の前記第１キャリアの前記第１出入口と、前記第２受取位置に移動した前記第２キャリア収納部材の前記第２キャリアの前記第２出入口が対向した状態で、前記第１キャリアと前記第２キャリアの間でウェハを移載する工程と、ウェハの移載完了後、前記移動手段で、前記第１キャリア収納部材を前記第１受取位置から前記第１出入位置へ移動させると共に、前記第２キャリア収納部材を前記第２受取位置から前記第２出入位置へ移動させる工程と、前記第１出入位置及び前記第２出入位置に配置される前記第１キャリア収納部材及び前記第２キャリア収納部材から前記第１キャリア及び前記第２キャリアを取り外す工程と、を備えることを特徴とする。

上記構成によれば、先ず、第１出入位置及び第２出入位置に配置される第１キャリア収納部材及び第２キャリア収納部材へ第１キャリア及び第２キャリアを取り付ける。つまり、第１キャリア及び第２キャリアの第１出入口及び第２出入口を上に向けた状態で、第１キャリア収納部材及び第２キャリア収納部材へ第１キャリア及び第２キャリアを取り付ける。

また、移動手段で、第１キャリア収納部材を第１出入位置から第１受取位置へ移動させ、さらに、第２キャリア収納部材を第２出入位置から第２受取位置へ移動させる。

そして、ウェハ授受手段で、第１受取位置に移動した第１キャリア収納部材に保持された第１キャリアの第１出入口と、第２受取位置に移動した第２キャリア収納部材に保持された第２キャリアの第２出入口とが対向した状態で、第１キャリアと第２キャリアの間でウェハを転がしながら移載する。

ウェハの移載完了後、移動手段で、第１キャリア収納部材を第１受取位置から第１出入位置へ移動させ、さらに、第２キャリア収納部材を第２受取位置から第２出入位置へ移動させる。

そいて、第１出入位置及び第２出入位置に移動した第１キャリア収納部材及び第２キャリア収納部材から第１キャリア及び第２キャリアを取り外す。つまり、第１キャリア及び第２キャリアの第１出入口及び第２出入口を上に向けた状態で、第１キャリア収納部材及び第２キャリア収納部材から第１キャリア及び第２キャリアを取り外す。

このように、第１キャリア及び第２キャリアの第１出入口及び第２出入口を上に向けた状態で、第１キャリア収納部材及び第２キャリア収納部材から第１キャリア及び第２キャリアを脱着させるため、第１キャリア及び第２キャリアに収納されるウェハが第１キャリア及び第２キャリアから落下するのを抑制することができる。

本発明によれば、キャリアに収納されるウェハがキャリアから落下するのを抑制することができる。

本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置１０について図１から図１２に従って説明する。なお、各図に適宜示す矢印ＵＰは、重力方向の上方を示すものとする。

（構成）
図１０、図１２に示されるように、ウェハ移載装置１０には、円形のウェハ１２が決められたピッチで複数枚収納される箱状の第１キャリア１４を脱着自在に保持する第１キャリア収納部材１６が設けられている。

箱状の第１キャリア１４は、その工程に適用した樹脂材料（本実施形態では材質Ａとする）で成形されており、ウェハ１２を出し入れ可能する第１出入口１４Ａを備えている。また、第１キャリア１４の内壁には、収納されるウェハ１２が決められたピッチに収納されるため、複数個の凸部１８（図９参照）が対向して設けられている。

さらに、第１キャリア１４を脱着自在に保持する第１キャリア収納部材１６は、第１キャリア１４が脱着される開放口１６Ａを有した箱状とされており、第１出入位置（図１２に示す位置）で、開放口１６Ａが上方を向くようになっている。また、図１０に示されるように、第１キャリア収納部材１６には、収納される第１キャリア１４の一方向の位置を決める位置決ガイド部材２０が対向して２個設けられている。なお、第１キャリア１４の他方向は、第１キャリア収納部材１６の側壁面１６Ｂ（図９参照）によって位置決めされるようになっている。

この構成により、第１出入口１４Ａを上方へ向けた状態で、第１キャリア１４を第１出入位置に配置された第１キャリア収納部材１６から脱着できるようになっている。

さらに、図１２に示されるように、第１キャリア収納部材１６の開放口１６Ａの一端は上方へ延設され、上方へ延設された上端部には、ベアリング受部材２２（図１０参照）が２個設けられている。

図１１（Ａ）（Ｂ）に示されるように、ベアリング受部材２２を挿通するシャフト２４が設けられ、後述する第２キャリア収納部材３８に設けられたベアリング受部材３０とベアリング受部材２２にシャフト２４が交互に挿通するようになっている。

詳細には、図７、図８に示されるように、交互に配置されるベアリング受部材２２及びベアリング受部材３０の間には、ベアリング受部材２２とベアリング受部材３０を決められた間隔に保つ円筒形状のスペーサ３２が３個設けられている。さらに、ベアリング受部材２２及びベアリング受部材３０とシャフト２４の間には、ベアリング３４が設けられている。

また、シャフト２４がベアリング受部材２２及びベアリング受部材３０から抜け出るのを防止するネジ部材３６が、シャフト２４の両サイドにネジ止にて固定されている。この構成により、ベアリング受部材２２及びベアリング受部材３０は、シャフト２４に対して回転自在とされている。

図１２に示されるように、ベアリング受部材３０は、開放口３８Ａを備える箱状の第２キャリア収納部材３８の一端を上方に延長した上端部に設けられている。

この第２キャリア収納部材３８は、ウェハ１２を収納できる第２キャリア４０を脱着自在に保持するようになっており、第２出入位置（図１２に示す位置）で、開放口３８Ａが上方を向くようになっている。また、図１０に示されるように、第２キャリア収納部材３８には、収納される第２キャリア４０の一方向の位置を決める位置決ガイド部材４２が対向して２個設けられている。なお、第２キャリア４０の他方向は、第２キャリア収納部材３８の側壁面３８Ｂ（図９参照）によって位置決めされるようになっている。

また、図１２に示されるように、第２キャリア収納部材３８に収納される第２キャリア４０は、第１キャリア１４と同様に、円形のウェハ１２が決められたピッチで複数枚収納される箱状とされている。また、箱状の第２キャリア４０は、第１キャリア１４とは違う工程に適用した樹脂材料（本実施形態では材質Ｂとする）で成形されており、ウェハ１２を出し入れ可能する第２出入口４０Ａを備えている。さらに、第２キャリア４０の内壁には、収納されるウェハ１２が決められたピッチに収納されるため、複数個の凸部４４（図９参照）が対向して設けられている。

この構成により、第１キャリア１４と同様に、第２出入口４０Ａを上方へ向けた状態で、第２キャリア４０を第２出入位置に配置された第２キャリア収納部材３８から脱着できるようになっている。

一方、図１に示されるように、第１キャリア収納部材１６には、図示せぬモータに連結された第１回転軸部材４８が固定されており、第１回転軸部材４８は垂直方向に延びる矩形状のフレーム部材４６に回転可能に支持されている。

詳細には、図１０に示されるように、フレーム部材４６は、第１キャリア収納部材１６を挟むように設けれ、夫々のフレーム部材４６に、第１回転軸部材４８が回転可能に軸支され、第１キャリア収納部材１６をバランス良く支持するようになっている。

また、図１０、図１２に示されるように、第２キャリア収納部材３８には、第２キャリア収納部材３８を回転可能に支持する外径円形状の第２回転軸部材５０が、第２キャリア収納部材３８を挟むように２個設けられている。

さらに、この第２回転軸部材５０は、第２キャリア収納部材３８を挟むように垂直方向に延びて設けられるフレーム部材５２の上面部５２Ａに載置されている。詳細には、フレーム部材５２は、第２キャリア収納部材３８の側壁面３８Ｂに沿って配置されており、上面部５２Ａは水平面とされている。つまり、第２回転軸部材５０は上面部５２Ａを転がって移動できるようになっている。

この構成により、図１に示されるように、作業者が作動スイッチを押圧すると、ウェハ移載装置１０を制御する制御部材が第１出入位置に配置される第１キャリア収納部材１６に設けられた第１回転軸部材４８にモータの回転力を伝達して、第１キャリア収納部材１６を矢印Ａ方向に回動させる。これにより、第１キャリア収納部材１６のベアリング受部材２２に挿入されたシャフト２４も第１回転軸部材４８を中心に回動させるようになっている。

さらに、シャフト２４が回動すると、第２キャリア収納部材３８に設けられたベアリング受部材３０が回動し、第２出入位置に配置されていた第２キャリア収納部材３８は、上面部５２Ａを移動しながら第２キャリア収納部材３８を回動可能に支持する第２回転軸部材５０を中心に矢印Ｂ方向に回動するようになっている。

図２、図３に示されるように、回動する第１キャリア収納部材１６と第２キャリア収納部材３８は、１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８に収納される第１キャリア１４の第１出入口１４Ａと第２キャリア４０の第２出入口４０Ａが対向する第１受取位置及び第２受取位置（図３参照）へ回動するようになっている。

つまり、第１キャリア収納部材１６は、第１出入位置（図１参照）と第１受取位置（図３参照）との間を回動可能とされており、第２キャリア収納部材３８は、第２出入位置（図１参照）と第２受取位置（図３参照）との間を回動可能とされている。

なお、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８へ、第１キャリア１４及び第２キャリア４０が収納されたか否かを検知するセンサ部材が設けられており、第１キャリア１４及び第２キャリア４０が、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８に収納されていない場合には、制御部材の指示で、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８は、第１出入位置及び第２出入位置から回動しないようになっている。

また、第１キャリア収納部材１６に収納された第１キャリア１４にウェハ１２が収納されているか否か、さらに、第２キャリア収納部材３８に収納された第２キャリア４０にウェハ１２が収納されているか否かを検知するセンサ部材が設けられており、第１キャリア１４及び第２キャリア４０の両方にウェハ１２が収納されている場合には、制御部材の指示で、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８は、第１出入位置及び第２出入位置から回動しないようになっている。

一方、図１に示されるように、第１回転軸部材４８を回動可能に支持するフレーム部材４６及び第２回転軸部材５０を支持するフレーム部材５２は、フレーム部材４６及びフレーム部材５２を傾倒可能に支持する傾斜台６０に固定されている。

詳細には、傾斜台６０は、上面にフレーム部材４６及びフレーム部材５２が固定される載置板６２と、載置板６２を下面から支持する基礎板６４と、基礎板６４の上面及び載置板６２の端部に固定され、載置板６２を回動可能に支持するヒンジ部材６６と、基礎板６４を支持する複数個の脚部材６８を含んで構成されている。

この構成により、図４に示されるように、作業者の指示でウェハ移載装置１０を制御する制御部材が、駆動部材（図示省略）の駆動力を傾斜台６０に伝達して載置板６２を傾ける。さらに、載置板６２が傾くことで、フレーム部材４６及びフレーム部材５２を傾けることができる構成となっている。

（作用・効果）
次に、このウェハ移載装置１０を使用して、第１キャリア１４に収納されるウェハ１２を第２キャリア４０に移載する方法について説明する。

先ず、図１２に示されるように、作業者は、第１キャリア１４の第１出入口１４Ａからウェハ１２を第１キャリア１４へ収納する。

次に、図１、図１２に示されるように、第１出入位置及び第２出入位置に配置された第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８へ、材質Ａにて成形された第１キャリア１４及び材質Ｂにて成形された第２キャリア４０を取り付ける。

ここで、前述したように、第１出入位置及び第２出入位置に配置された第１キャリア収納部材１６の開放口１６Ａ及び第２キャリア収納部材３８の開放口３８Ａは、上方をむいているため、出入口１４Ａを上方に向けた第１キャリア１４及び出入口４０Ａを上方に向けた第２キャリア４０を傾けることなく第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８へ取り付けることができる。

次に、図２に示されるように、作業者が作動スイッチを押圧すると、ウェハ移載装置１０を制御する制御部材が、第１出入位置に配置される第１キャリア収納部材１６に設けられた第１回転軸部材４８にモータの回転力を伝達して、第１キャリア収納部材１６を矢印Ａ方向に回動させる。さらに、第１キャリア収納部材１６が矢印Ａ方向に回動することで、シャフト２４も第１回転軸部材４８を中心に回動する。

シャフト２４が回動することで、第２キャリア収納部材３８に設けられたベアリング受部材３０が第２回転軸部材５０を中心に回動する。ベアリング受部材３０が回動すると、第２出入位置に配置されていた第２キャリア収納部材３８は、上面部５２Ａを移動しながら第２キャリア収納部材３８を回動可能に支持する第２回転軸部材５０を中心に矢印Ｂ方向に回動する。

第１キャリア収納部材１６が矢印Ａ方向へ回動し、第２キャリア収納部材３８が矢印Ｂ方向へ回動すると、図３に示されるように、１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８に収納される第１キャリア１４の第１出入口１４Ａと第２キャリア４０の第２出入口４０Ａが対向する第１受取位置及び第２受取位置で、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８が停止する。

第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８が第１受取位置及び第２受取位置で停止すると、図４に示されるように、制御部材は、傾斜台６０の載置板６２を駆動部材の駆動力で初期位置から傾ける。載置板６２と基礎板６４とが重なる初期位置から載置板６２を傾けると、第１キャリア収納部材１６が第２キャリア収納部材３８より上側に配置される。

第１キャリア収納部材１６が第２キャリア収納部材３８より上側に配置されることで、第１キャリア１４に収納されていたウェハ１２は、第２キャリア４０に向けて転がり、第１出入口１４Ａ及び第２出入口４０Ａを通って第２キャリア４０に移載される。

次に、図５、図６に示されるように、ウェハ移載装置１０を制御する制御部材は、第１回転軸部材４８をモータの回転力で回転させ、さらに、傾いた載置板６２を初期位置に戻すことで、第１受取位置に配置された第１キャリア収納部材１６を第１出入位置へ、第２受取位置に配置された第２キャリア収納部材３８を第２出入位置へ移動させる。

図６に示されるように、第１出入位置に配置された第１キャリア収納部材１６の開放口１６Ａは上方に向けられており、さらに、第１キャリア収納部材１６に収納される第１キャリア１４の第１出入口１４Ａは上方に向けられている。同様に、第２出入位置に配置された第２キャリア収納部材３８の開放口３８Ａは上方に向けられており、さらに、第２キャリア収納部材３８に収納される第２キャリア４０の第２出入口４０Ａは上方に向けられている。

そして、第１出入口１４Ａを上方に向けた状態で、第１キャリア１４を第１キャリア収納部材１６から取り外し、第２出入口４０Ａを上方に向けた状態で、第２キャリア４０を第２キャリア収納部材３８から取り外してウェハ１２を第１キャリア１４から第２キャリア４０へ移載する作業を完了する。

このようにして、第１キャリア１４の第１出入口１４Ａ及び第２キャリア４０の第２出入口４０Ａを上方へ向けた状態で、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８へ第１キャリア１４及び第２キャリア４０を脱着できる。このため、第１キャリア１４及び第２キャリア４０に収納されるウェハ１２が、第１キャリア１４及び第２キャリア４０から落下するのを抑制することができる。

また、傾斜台６０を傾けてウェハ１２を転がすことで材質の違う第１キャリア１４から第２キャリア４０へウェハ１２を移載することができる。

また、第１キャリア１４及び第２キャリア４０が、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８に収納されていない状態では、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８が作動しないようになっている。このため、ご操作を防止することができる。

また、第１キャリア１４及び第２キャリア４０の両方にウェハ１２が収納されている状態では、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８が作動しないようになっているため、ご操作を防止することができる。

また、第１キャリア１４の第１出入口１４Ａ及び第２キャリア４０の第２出入口４０Ａを上方へ向けた状態で、第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８へ第１キャリア１４及び第２キャリア４０を脱着できるため、ロボット等を使用して第１キャリア１４及び第２キャリア４０を脱着することができる。

なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかである。例えば、上記実施形態では、第１キャリア収納部材１６に固定された第１回転軸部材４８に回転力を伝達し、この力をシャフト２４を介して第２キャリア収納部材３８へ伝達して第２キャリア収納部材３８を回動させたが、第２キャリア収納部材３８を単独で回動させるモータ等を設けて第２キャリア収納部材３８を回動させてもよい。

また、上記実施形態では、第１キャリア収納部材１６が第１受取位置に、第２キャリア収納部材３８が第２受取位置に配置された状態（図４に示す状態）で、第１回転軸部材４８に回転力を付与して第１キャリア収納部材１６及び第２キャリア収納部材３８を略上方を向けた後、載置板６２を回動させて初期位置に戻したが、この動作を同時に行ってもよく、また、載置板６２を初期位置に戻した後、第１回転軸部材４８へ回転力を付与してもよい。

次ぎに、本発明のウェハ移載装置８０の第２実施形態を図１３、図１４に従って説明する。

なお、第１実施形態と同一部材については、同一符号を付してその説明を省略する。

図１４に示されるように、第１実施形態と違い第２実施形態では、ウェハ移載装置８０に脱着自在とされているキャリアは２個ではなく４個とされている。

詳細には、第１キャリア収納部材１６と同一形状であって、第３キャリア８８が収納される第３キャリア収納部材８２が、第１キャリア収納部材１６に隣接して設けられ、第３キャリア収納部材８２の第３回転軸部材８４は、シャフト８６で第１回転軸部材４８と連結されている。これにより、第３キャリア収納部材８２は、第１キャリア収納部材１６と同時に回動するようになっている。

同様に、第２キャリア収納部材３８と同一形状であって、第４キャリア９８が収納される第４キャリア収納部材９０が、第２キャリア収納部材３８に隣接して設けられている。そして、第２キャリア収納部材３８と第４キャリア収納部材９０の間に設けられる第４キャリア収納部材９０の第４回転軸部材９２は、第２キャリア収納部材３８の第２回転軸部材５０と共用する構成となっている。これにより、第４キャリア収納部材９０は、第２キャリア収納部材３８と同時に回動するようになっている。

また、図１３に示されるように、ウェハ移載装置８０には、キャリアの脱着状況及びウェハの収納状況を知らせる警告パネル９６が設けられている。

詳細には、第１キャリア収納部材１６に第１キャリア１４が取り付けられると、ランプ９６Ａが点灯するようになっており、さらに、第１キャリア収納部材１６に取り付けられた第１キャリア１４にウェハ１２が収納されていると、ランプ９６Ｂが点灯するようになっている。

同様に、第２キャリア収納部材３８に第２キャリア４０が取り付けられると、ランプ９６Ｃが点灯し、第３キャリア収納部材８２に第３キャリア８８が取り付けられると、ランプ９６Ｅが点灯し、第４キャリア収納部材９０に第４キャリア９８が取り付けられると、ランプ９６Ｇが点灯するようになっている。

また、収納される第２キャリア４０にウェハ１２が収納されていると、ランプ９６Ｄが点灯し、収納される第３キャリア８８にウェハ１２が収納されていると、ランプ９６Ｆが点灯し、収納される第４キャリア９８にウェハ１２が収納されていると、ランプ９６Ｈが点灯するようになっている。

このように、第１キャリア１４、第２キャリア４０、第３キャリア８８及び第４キャリア９８の脱着状況、及び夫々のキャリアへのウェハ１２の収納状況を警告パネル９６を見ることで作業者が把握できる。このため、作業者の誤操作等を抑制することができる。

また、第１キャリア収納部材１６と第３キャリア収納部材８２が同時に回動するようになっており、さらに、第２キャリア収納部材３８と第４キャリア収納部材９０が同時に回動するようになっているため、一連の動作で、ウェハ１２を第１キャリア１４から第２キャリア４０へ、第３キャリア８８から第４キャリア９８へ移載することができる。

本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置を示した側面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置を示した側面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置を示した側面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置を示した側面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置を示した側面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置を示した側面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置に採用されたベアリング受部材及びスペーサ等を示した平面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置に採用されたベアリング受部材及びスペーサ等を示した拡大平面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置を示した平面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置を示した平面図である。（Ａ）（Ｂ）本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置に採用された第１キャリア収納部材及び第２キャリア収納部材等を示した分解平面図及び分解側面図である。本発明の第１実施形態に係るウェハ移載装置を示した側面図である。本発明の第２実施形態に係るウェハ移載装置に採用された警告パネルを示した正面図である。本発明の第２実施形態に係るウェハ移載装置を示した平面図である。

符号の説明

１０ウェハ移載装置
１２ウェハ
１４第１キャリア
１４Ａ第１出入口
１６第１キャリア収納部材
２４シャフト（中間回転軸部材）
３８第２キャリア収納部材
４０第２キャリア
４０Ａ第２出入口
４８第１回転軸部材
５０第２回転軸部材
５２フレーム部材（回転支持部材）
６０傾斜台（ウェハ授受手段）

Claims

ウェハを出し入れ可能とする第１出入口を備える第１キャリアを脱着自在に保持する第１キャリア収納部材と、
前記第１キャリア収納部材と隣接して配置され、前記第１キャリアの前記第１出入口を通してウェハを移載する第２出入口を備える第２キャリアを脱着自在に保持する第２キャリア収納部材と、
前記第１出入口を上方へ向けた状態で前記第１キャリアが脱着可能とされる第１出入位置と、前記第１キャリアと前記第２キャリアとの間で前記ウェハを移載可能とする第１受取位置とへ、前記第１キャリア収納部材を移動させると共に、前記第２出入口を上方へ向けた状態で前記第２キャリアが脱着可能とされる第２出入位置と、前記第１受取位置に移動した前記第１キャリアの前記第１出入口と前記第２キャリアの前記第２出入口が対向する第２受取位置とへ、前記第２キャリア収納部材を移動させる移動手段と、
前記第１受取位置に移動した第１キャリア収納部材の第１キャリアの第１出入口と、前記第２受取位置に移動した前記第２キャリア収納部材の第２キャリアの第２出入口とが対向した状態で、前記第１キャリアと前記第２キャリアとの間で前記ウェハを移載するウェハ授受手段と、を備え、
前記移動手段は、前記第１キャリア収納部材に固定された第１回転軸部材と、前記第１回転軸部材を支持すると共に、前記第１キャリア収納部材を前記第１出入位置と前記第１受取位置との間で回転可能に支持する第１回転支持部材と、前記第１キャリア収納部材の端部と前記第２キャリア収納部材の端部を回転可能に連結する中間回転軸部材と、前記第２キャリア収納部材に固定された第２回転軸部材と、前記第２回転軸部材を前記第１キャリア収納部材に対して接近及び離間する方向へ移動可能に支持すると共に、前記第２キャリア収納部材を第２出入位置と第２受取位置の間で回転可能に支持する回転支持部材と、を備えると共に、
前記ウェハ授受手段は、前記第１キャリアの前記第１出入口と前記第２キャリの前記第２出入口が対向した状態で、前記第１キャリア収納部材及び前記第２キャリア収納部材を傾ける傾斜台であることを特徴とするウェハ移載装置。
ウェハを出し入れ可能とする第１出入口を備える第１キャリアを脱着自在に保持する第１キャリア収納部材と、
前記第１キャリア収納部材と隣接して配置され、前記第１キャリアの前記第１出入口を通してウェハを移載する第２出入口を備える第２キャリアを脱着自在に保持する第２キャリア収納部材と、
前記第１出入口を上方へ向けた状態で前記第１キャリアが脱着可能とされる第１出入位置と、前記第１キャリアと前記第２キャリアとの間で前記ウェハを移載可能とする第１受取位置とへ、前記第１キャリア収納部材を移動させると共に、前記第２出入口を上方へ向けた状態で前記第２キャリアが脱着可能とされる第２出入位置と、前記第１受取位置に移動した前記第１キャリアの前記第１出入口と前記第２キャリアの前記第２出入口が対向する第２受取位置とへ、前記第２キャリア収納部材を移動させる移動手段と、
前記第１受取位置に移動した第１キャリア収納部材の第１キャリアの第１出入口と、前記第２受取位置に移動した前記第２キャリア収納部材の第２キャリアの第２出入口とが対向した状態で、前記第１キャリアと前記第２キャリアとの間で前記ウェハを移載するウェハ授受手段と、を備え、
前記移動手段は、前記第１キャリア収納部材に固定された第１回転軸部材と、前記第１回転軸部材を支持すると共に、前記第１キャリア収納部材を前記第１出入位置と前記第１受取位置との間で回転可能に支持する第１回転支持部材と、前記第１キャリア収納部材の端部と前記第２キャリア収納部材の端部を回転可能に連結する中間回転軸部材と、前記第２キャリア収納部材に固定された第２回転軸部材と、前記第２回転軸部材を前記第１キャリア収納部材に対して接近及び離間する方向へ移動可能に支持すると共に、前記第２キャリア収納部材を第２出入位置と第２受取位置の間で回転可能に支持する回転支持部材と、を備えると共に、
前記ウェハ授受手段は、前記第１キャリアの前記第１出入口と前記第２キャリの前記第２出入口が対向した状態で、前記第１キャリア収納部材及び前記第２キャリア収納部材を傾ける傾斜台であることを特徴とするウェハ移載装置を使用して前記第１キャリアと前記第２キャリとの間でウェハを移動させるウェハ移載方法であって、
前記第１出入位置及び前記第２出入位置に配置される前記第１キャリア収納部材及び前記第２キャリア収納部材へ前記第１キャリア及び前記第２キャリアを取り付ける工程と、
前記移動手段で、前記第１キャリア収納部材を前記第１出入位置から前記第１受取位置へ移動させると共に、前記第２キャリア収納部材を前記第２出入位置から前記第２受取位置へ移動させる工程と、
前記ウェハ授受手段で、前記第１受取位置に移動した前記第１キャリア収納部材の前記第１キャリアの前記第１出入口と、前記第２受取位置に移動した前記第２キャリア収納部材の前記第２キャリアの前記第２出入口が対向した状態で、前記第１キャリアと前記第２キャリアの間でウェハを移載する工程と、
ウェハの移載完了後、前記移動手段で、前記第１キャリア収納部材を前記第１受取位置から前記第１出入位置へ移動させると共に、前記第２キャリア収納部材を前記第２受取位置から前記第２出入位置へ移動させる工程と、
前記第１出入位置及び前記第２出入位置に配置される前記第１キャリア収納部材及び前記第２キャリア収納部材から前記第１キャリア及び前記第２キャリアを取り外す工程と、
を備えることを特徴とするウェハ移載方法。