JP4785190B2 - 半導体デバイス用検査ソケット - Google Patents
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Description
前記蓋本体には、前記蓋本体に対する前記押圧部材の位置を調整するための調整ねじが螺合され、前記調整ねじと前記押圧部材との間には、前記調整ねじの駆動力を前記押圧部材に伝達するための駆動力伝達手段が設けられ、前記駆動力伝達手段は、前記押圧部材に装着された軸受手段と、前記軸受手段に回転自在に支持された受け部材とを備え、前記調整ねじが前記受け部材に作用し、前記調整ねじの軸方向の力は前記受け部材及び前記軸受手段を介して前記押圧部材に伝達され、前記調整ねじの回転方向の力は、前記軸受手段における前記押圧部材に対する前記受け部材の相対的回転によって吸収されることを特徴とする。
前記蓋本体には、前記蓋本体に対する前記押圧部材の位置を調整するための調整ねじが螺合され、前記調整ねじと前記押圧部材との間には、前記調整ねじの駆動力を前記押圧部材に伝達するための駆動力伝達手段が設けられ、前記駆動力伝達手段は、前記調整ねじの軸方向の力を前記押圧部材に伝達するが、回転方向の力を前記押圧部材に伝達しないように構成されており、
前記ソケット本体は、前記蓋体が装着される支持プレート本体と、前記支持プレート本体に所定方向に移動自在に支持された移動体とを備え、前記移動体は、検査すべき半導体デバイスが載置される載置部と、この半導体デバイスを前記載置部に導くためのガイド部と、前記プローブの先端部を保持するための先端保持プレートと、を有し、前記押圧部材は前記移動体を押圧するための第2押圧部を有し、更に、前記支持プレート本体と前記移動体との間には、前記移動体を前記蓋体に向けて弾性的に偏倚するための偏倚手段が設けられており、
前記押圧部材の前記第2押圧部が前記移動体に作用すると、前記偏倚手段の偏倚力に抗して前記移動体が前記支持プレート本体に対して相対的に移動され、これによって、前記プローブの先端部が前記先端保持プレートから突出して検査すべき半導体デバイスの端子部に電気的にコンタクトされることを特徴とする。
4 蓋体
6 蓋本体
8 押圧部材
10 調整ねじ
12 駆動力伝達手段
26 第1押圧部
28 第2押圧部
30 デバイス本体
32 端子部
38 軸受手段
40 受け部材
50 装着レバー
62 スリーブ部材
70 支持プレート本体
80 移動体
88 プローブ
90 コイルばね
D 半導体デバイス
Claims (4)
- プローブが設けられたソケット本体と、前記ソケット本体に装着される蓋体とを具備し、前記蓋体は、蓋本体と、前記ソケット本体の前記プローブに向けて半導体デバイスの端子部を押圧するための第1押圧部を有する押圧部材とを備えた半導体デバイス用検査ソケットにおいて、
前記蓋本体には、前記蓋本体に対する前記押圧部材の位置を調整するための調整ねじが螺合され、前記調整ねじと前記押圧部材との間には、前記調整ねじの駆動力を前記押圧部材に伝達するための駆動力伝達手段が設けられ、前記駆動力伝達手段は、前記押圧部材に装着された軸受手段と、前記軸受手段に回転自在に支持された受け部材とを備え、前記調整ねじが前記受け部材に作用し、前記調整ねじの軸方向の力は前記受け部材及び前記軸受手段を介して前記押圧部材に伝達され、前記調整ねじの回転方向の力は、前記軸受手段における前記押圧部材に対する前記受け部材の相対的回転によって吸収されることを特徴とする半導体デバイス用検査ソケット。 - プローブが設けられたソケット本体と、前記ソケット本体に装着される蓋体とを具備し、前記蓋体は、蓋本体と、前記ソケット本体の前記プローブに向けて半導体デバイスの端子部を押圧するための第1押圧部を有する押圧部材とを備えた半導体デバイス用検査ソケットにおいて、
前記蓋本体には、前記蓋本体に対する前記押圧部材の位置を調整するための調整ねじが螺合され、前記調整ねじと前記押圧部材との間には、前記調整ねじの駆動力を前記押圧部材に伝達するための駆動力伝達手段が設けられ、前記駆動力伝達手段は、前記調整ねじの軸方向の力を前記押圧部材に伝達するが、回転方向の力を前記押圧部材に伝達しないように構成されており、
前記ソケット本体は、前記蓋体が装着される支持プレート本体と、前記支持プレート本体に所定方向に移動自在に支持された移動体とを備え、前記移動体は、検査すべき半導体デバイスが載置される載置部と、この半導体デバイスを前記載置部に導くためのガイド部と、前記プローブの先端部を保持するための先端保持プレートと、を有し、前記押圧部材は前記移動体を押圧するための第2押圧部を有し、更に、前記支持プレート本体と前記移動体との間には、前記移動体を前記蓋体に向けて弾性的に偏倚するための偏倚手段が設けられており、
前記押圧部材の前記第2押圧部が前記移動体に作用すると、前記偏倚手段の偏倚力に抗して前記移動体が前記支持プレート本体に対して相対的に移動され、これによって、前記プローブの先端部が前記先端保持プレートから突出して検査すべき半導体デバイスの端子部に電気的にコンタクトされることを特徴とする半導体デバイス用検査ソケット。 - 前記蓋本体と前記調整ねじの頭部との間には、前記調整ねじの軸部を被嵌してスリーブ部材が装着され、前記スリーブ部材は、前記頭部に作用して前記調整ねじの所定位置を超える移動を阻止することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体デバイス用検査ソケット。
- 前記押圧部材には偏倚ばねが装着され、前記偏倚ばねは前記押圧部材を前記蓋本体側に弾性的に偏倚することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の半導体デバイス用検査ソケット。
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