JP4784646B2 - 親水性領域と撥水性領域を有する処理基材およびその製造方法 - Google Patents

親水性領域と撥水性領域を有する処理基材およびその製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、表面に親水性領域と撥水性領域を有する処理基材およびその製造方法、該処理基材を用いて機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材を製造する方法に関する。
半導体素子、ディスプレイ、発光素子などの分野において、多くの機能性薄膜が実用化されている。機能性薄膜は、所望の特性を有する材料を所望位置に配置させてパターン化したものである。該薄膜は、配線、電極、絶縁層、発光層、および光学薄膜等として利用される。
たとえば、フォトリソグラフィにより得たフォトレジストパターンはその一例である。しかしフォトリソグラフィの工程は複雑で、エネルギー、材料等の利用効率が低い。また、クリーンルーム内で実施するために設備コストが高価となる問題がある。
フォトリソグラフィの問題を解決する方法として、インクジェット法が提案されている。しかしインクジェット法は、位置精度が低く、高精細なパターンの形成が困難であるため、予め基材表面上に、インクを受容しない撥水性領域とインクを受容する親水性領域とをもつ下地膜を形成させて位置精度を上げる下記（１）および（２）の方法が提案されている。
（１）酸化チタン等の光触媒を露光時に作用させることにより、界面活性剤の濡れ性を変化させる、または光触媒分解性物質を分解除去することにより、印刷インクやトナーを受容または反発するパターンを形成する方法（特許文献１参照）。特許文献１には、光触媒の結着剤に使用されるシロキサン結合（−Ｓｉ−Ｏ−）を主骨格として有するシリコーン樹脂は、光触媒作用により、ケイ素原子に結合した有機基が酸素含有基に置換されることによって濡れ性が向上することが記載されている。
（２）基材表面を親水化処理した後、化学気相蒸着法によりフッ化アルキルシランの有機単分子膜のパターンを形成させ、該単分子膜をエッチングのレジスト膜にする方法（特許文献２参照）。特許文献２には、親水化処理として、単結晶シリコン（自然酸化膜表面ＳｉＯ２）、ポリエチレンフィルム、ガラスなどの基材の表面を、Ｘｅ２エキシマランプの紫外光（１７２ｎｍ）または酸素プラズマにより親水化処理する方法が開示される。またフッ化アルキルシランの有機単分子膜形成は、紫外光（１７２ｎｍ）または電子ビームを照射することにより行われることが記載されている。
特開平１１−３４４８０４号公報 特開２０００−２８２２４０号公報
従来の方法は、２００ｎｍ未満の高エネルギー光を必要とし、長時間の光の照射を必要とする方法である。また、該方法は大規模な設備、真空装置、高エネルギー光源などの特別な装置が必要になる。また、該方法は２００ｎｍ以下の高エネルギー光が用いられるため、パターンの薄膜中の有機物までもが分解し、親水性領域と撥水性領域のコントラストの低いパターンとなることがある。
本発明は、コントラストの高い親水性領域と撥水性領域を表面に有する処理基材の提供を目的とする。また本発明は、該処理基材を、特別な装置や高エネルギー光、長時間の光の照射を必須とせず、低光量により短時間で製造できる方法の提供を目的とする。さらに本発明は、該処理基材を用いて、機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材を製造する方法の提供を目的とする。
上記目的は、以下の本発明により達成できる。
＜１＞ 基材の表面に親水性領域と撥水性領域とを有する処理基材であって、撥水性領域は下記組成物（Ａ）を硬化させた膜厚が０．１〜１００ｎｍである撥水性の膜からなることを特徴とする処理基材。
組成物（Ａ）：下式（１１）、（１２）、（２１）または（２２）で表される化合物である化合物（ａ）と光重合開始剤とを含む組成物。
Figure 0004784646
 ただし、式中、Ｑ １ およびＱ ２ は、それぞれ独立して、１価の有機基を示す。Ｑ ３ は、炭素数４以上のアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基、または炭素数１以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基を示す。Ｑ ４ は、炭素数４以上のアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基、または炭素数２以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基を示す。Ｒ １ は水素原子またはメチル基を示す。ｎは０以上の整数を、ｋは１〜５の整数を示す。
＜２＞ 組成物（Ａ）は、アクリロイル基およびメタクリロイル基からなる群から選ばれる重合性官能基の３個以上を有する化合物（ｂ）（ただし、該化合物（ｂ）は前記化合物（ａ）であっても、前記化合物（ａ）以外の化合物であってもよい）を含む、＜１＞に記載の処理基材。
＜３＞ 親水性領域の水に対する接触角が５０度以下であり、撥水性領域の水に対する接触角が８０度以上である＜１＞または＜２＞に記載の処理基材。
＜４＞ 親水性領域と撥水性領域が所望のパターンを形成してなる＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の処理基材。
＜５＞ 親水性の基材を使用するかまたは基材の表面を親水化処理して表面を親水性にし、つぎに該表面に下記組成物（Ａ）を含む膜を形成し、ついで該膜の表面の一部に光を照射して組成物（Ａ）を硬化させ膜厚が０．１〜１００ｎｍである撥水性の膜を形成し、ついで基材の表面に存在する未硬化の組成物（Ａ）を除去して親水性の表面を露出させることによって、
基材の表面に親水性領域と組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜からなる撥水性領域とを有する処理基材を得ることを特徴とする処理基材の製造方法。
組成物（Ａ）：上記式（１１）、（１２）、（２１）または（２２）で表される化合物である化合物（ａ）と光重合開始剤とを含む組成物。
＜６＞ 親水性の基材の表面を湿式洗浄もしくは光洗浄する、または基材の表面に親水性化合物を塗布することにより、基材の表面を親水化処理する、＜５＞に記載の製造方法。
＜７＞ 基材の表面に親水性化合物と下記組成物（Ａ）とを含む膜を形成し、静置することにより親水性化合物を基材側に移行させて、ついで該膜の表面の一部に光を照射して組成物（Ａ）を硬化させ膜厚が０．１〜１００ｎｍである撥水性の膜を形成し、ついで基材の表面に存在する未硬化の組成物（Ａ）を除去して親水性の表面を露出させることによって、基材の表面に親水性領域と組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜からなる撥水性領域とを有する処理基材を得ることを特徴とする処理基材の製造方法。
組成物（Ａ）：上記式（１１）、（１２）、（２１）または（２２）で表される化合物である化合物（ａ）と光重合開始剤とを含む組成物。
＜８＞ ２００ｎｍ以上の波長を有する光を照射する、＜５＞〜＜７＞のいずれかに記載の製造方法。
＜９＞ ＜４＞に記載の処理基材の表面に機能性材料を含む親水性の液を塗布して、処理基材のパターンを形成した親水性領域に該親水性の液を付着させ、つぎに乾燥させることによって機能性材料の膜からなるパターンを形成させることを特徴とする機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材の製造方法。
＜１０＞ ＜４＞に記載の処理基材の表面に機能性材料を含む親水性の液を塗布して、処理基材のパターンを形成した親水性領域に該親水性の液を付着させ、つぎに乾燥させることによって機能性材料の膜からなるパターンを形成させた後、組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜を除去することを特徴とする機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材の製造方法。
本発明によれば、コントラストの高い親水性領域と撥水性領域を表面に有する処理基材が得られる。また、大規模な設備、真空装置および高エネルギー光源を用いることなく処理基材を製造できる。すなわち、簡便な装置および光源を用い、低光量により短時間で、処理基材を製造できる。
また、本発明の処理基材を用いて、簡便に機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材を得ることができ、多くの用途に使用することができる。
以下、アクリロイル基およびメタクリロイル基からなる群から選ばれる重合性官能基を意味する用語として（メタ）アクリロイル基を使用する。（メタ）アクリレートとはアクリレートまたはメタクリレートを意味する。
本明細書において、式（１１）で表される化合物を化合物（１１）と記す。他式で表される化合物も同様に記す。
本発明で用いられる基材としては、ガラス；シリコンウェハー；Ｐｄ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、またはＰｂ等の金属；ＰｄＯ、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、ＰｂＯ、またはＳｂ２Ｏ３等の金属酸化物；ＨｆＢ２、ＺｒＢ２、ＬａＢ６、ＣｅＢ６、ＹＢ４、またはＧｄＢ４等の硼化物；ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＨｆＣ、ＴａＣ、ＳｉＣ、またはＷＣ等の炭化物；ＴｉＮ、ＺｒＮ、またはＨｆＮ等の窒化物；ＳｉまたはＧｅ等の半導体；カーボン；ポリイミド、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、またはポリテトラフルオロエチレン等の樹脂；等の材料からなる基材から選択できる。基材は、親水性の材料からなる表面が親水性の基材であっても、親水性ではない（疎水性の）材料からなる表面が親水性ではない基材であってもよい。ガラス、シリコンウェハー、金属酸化物またはポリイミドが好ましい。これらのうち、ガラス、シリコンウェハーおよび金属酸化物は通常親水性の材料である。
基材の形状としては、特に限定されず、平面、曲面、または部分的に曲面を有する平面が好ましく、平面がより好ましい。また基材の面積も特に限定されず、従来の塗布方法が適用できる限りの大きさの面を有する基材を採用できる。また、本発明における基材の表面の処理は、平面上の基材の片面で行うのが好ましい。
本発明の処理基材の製造方法は、下記［１］の工程または下記［２］の工程を含む。
［１］まず、親水性の基材を使用するかまたは基材の表面を親水化処理して表面を親水性にし、つぎに該表面に（メタ）アクリロイル基の１個以上および撥水性部分を有する化合物（ａ）と光重合開始剤を含む組成物（Ａ）を含む膜を形成する工程。
［２］基材の表面に親水性化合物と下記組成物（Ａ）とを含む膜を形成し、静置することにより親水性化合物を基材側に移行させる工程。
上記［１］の工程または上記［２］の工程の後、膜の表面の一部に光を照射して組成物（Ａ）を硬化させ膜厚が０．１〜１００ｎｍである撥水性の膜を形成し、ついで基材の表面に存在する未硬化の組成物（Ａ）を除去して親水性の表面を露出させることによって本発明の処理基材を得ることができる。
まず、上記［１］の工程について説明する。基材は予め表面を洗浄などで清浄化した後使用することが好ましい。親水性材料からなる表面が親水性の基材はそのまま使用できる。親水性ではない表面を有する基材は表面を親水化処理して使用する。親水性の表面を有する基材であっても表面を親水化処理して使用することができる。基材の表面を洗浄する方法としては、プラスチック、金属、ガラス、セラミックスなどの表面を洗浄する一般的な方法が適用可能である。該方法としては、基材の表面を湿式洗浄する方法、基材の表面を光洗浄する方法、などが好ましい。基材の表面を親水化処理する方法としては、プラスチック、金属、ガラス、セラミックスなどの表面を親水化処理する一般的な方法が適用可能である。該方法としては、表面に反応して表面を親水化しうる化合物を反応させる方法、または基材の表面に親水性化合物を塗布して親水性化合物の層を形成する方法、またはこれらを組み合わせた方法が例示できる。
基材の湿式洗浄には、水、水系洗浄剤、または非水系洗浄剤（有機溶剤、フッ素系溶剤等）を使用できる。特に基材を水または界面活性剤を含んだ水系洗浄剤を用いて洗浄した後に、イソプロピルアルコールやエチルアルコール等の低沸点の有機溶剤を用いて、表面の異物や水分等を除去しつつ乾燥する方法が好ましい。さらに基材の種類や汚れの種類・程度に応じて、工程の追加、または工程の一部の省略ができる。有機系の汚れが付着した基材の湿式洗浄は、まず該汚れを除去するために、ジクロロペンタフルオロプロパン（旭硝子社製ＡＫ−２２５；ＣＦ３ＣＦ２ＣＨＣｌ２とＣＣｌＦ２ＣＦ２ＣＨＣｌＦの混合物）等のフッ素系溶剤であらかじめ洗浄しておき、つぎに水系洗浄剤または有機溶剤で基材を浸漬洗浄するのが好ましい。浸漬洗浄する際には、超音波洗浄を併用してもよい。ガラスについては、浸漬洗浄の代わりに、または浸漬洗浄とともに、酸化セリウム系微粒子を含む研磨剤で研磨洗浄し、純水ですすいで風乾して用いる方法を採用してもよい。
基材を光洗浄する方法としては、ＵＶ／Ｏ３洗浄（紫外光、オゾン、または両者の組み合わせによる光洗浄）が好ましい。ＵＶ／Ｏ３洗浄の原理は（１）フォトンエネルギーの高い紫外光で、汚れの主成分（有機物）の結合を切り、汚れの結合が切れやすくなった状態にし、（２）この状態にさらにオゾンや活性酸素種が作用して、有機物を酸化し、二酸化炭素や水にして揮発させて洗浄するというものである。よって、紫外光とオゾンのそれぞれを単独でまたは併用して表面を清浄化でき、後者の方法が好ましい。市販のＵＶ／Ｏ３洗浄用装置を使用できる。
また、湿式洗浄のみでは微少な有機物の汚れ（例えば、中性洗剤の界面活性剤の残り滓、クリーンルームの浮遊物など）が残りやすい。これに対して、上述の光洗浄は、そのおそれがない。従って、最初に、湿式洗浄で比較的大きな汚れを除去し、その後、光洗浄により洗浄する方法も好ましい。
基材の表面の親水化処理に用いうる親水性化合物としては、ポリ（ビニルアルコール）、ポリ（ビニルピロリドン）、ポリ（エチレングリコール）等の親水性ポリマー；グリセリン、ペンタエリスリトール、ソルビトール等の多価アルコールが挙げられる。表面に反応して表面を親水化しうる化合物としては、Ｈ−Ｓｉ（ＯＣＨ２ＣＨ３）３、ＮＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−Ｓｉ（ＯＣＨ２ＣＨ３）３等の加水分解性シラン化合物、または該化合物の一部または全部が加水分解された化合物、または該化合物の加水分解縮合物が挙げられる。
親水性化合物は溶媒に溶解させた溶液として塗布し乾燥して親水性化合物の層を形成することが好ましい。親水性ポリマーや多価アルコールは水に溶解させた水溶液として使用することが好ましい。加水分解性シラン化合物はイソプロピルアルコール等のアルコール系溶媒に溶解させて使用することが好ましい。溶液中の親水性化合物や加水分解性シラン化合物の濃度は０．０１〜１０質量％が好ましく、０．１〜１質量％がより好ましい。
基材への塗布方法は特に限定されず、スピンコート法、ディップコート法、スプレー法、ロールコート法、メニスカスコート法、スクリーン印刷法等が採用できる。
基材の表面が異なる材料で形成されている場合には、基材の表面を親水化処理する方法を採用するのが好ましい。異なる材料の表面に対して、同じ親水性を付与することができるからである。
つぎに、基材の親水性の表面に、組成物（Ａ）を含む膜を形成する。組成物（Ａ）は（メタ）アクリロイル基の１個以上および撥水性部分を有する化合物（ａ）と光重合開始剤を含む。化合物（ａ）の（メタ）アクリロイル基は、分子中のどの位置にあってもよいが分子末端に存在するのが特に好ましい。分子の末端に存在する方が反応性が高いからである。
化合物（ａ）の撥水性部分としては、１価または２価の撥水性の基が好ましい。１価の撥水性の基としては、オルガノポリシロキサン骨格を有する１価の基、炭素数４以上のアルキル基、または炭素数１〜１２のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基が好ましい。２価の撥水性の基としては、オルガノポリシロキサン骨格を有する２価の基、炭素数４以上のアルキレン基、または炭素数２〜１２のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基が好ましい。
該オルガノポリシロキサン骨格は、ポリシロキサン骨格とその骨格を形成するケイ素原子に結合した有機基とを有する。ケイ素原子に結合した有機基は、炭素−ケイ素結合で結合している。すなわち、この有機基はケイ素原子に結合する末端原子が炭素原子である有機基である。オルガノポリシロキサン骨格中のケイ素原子には１個以上の有機基が結合し、多くの場合、末端ケイ素原子を除いて１個または２個の有機基が結合し、オルガノポリシロキサン骨格を有する１価の基では末端ケイ素原子には３個までの有機基が結合している。本発明においては、オルガノポリシロキサン骨格は、分岐のない線状、または少数の分岐を有する線状の構造を有することが好ましい。
上記ケイ素原子に結合している有機基としては、炭化水素基、または含フッ素有機基が好ましい。炭化水素基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基が好ましい。入手性の観点から、ケイ素原子に結合している有機基としては、炭素数４以下のアルキル基、炭素数４以下のアルケニル基やアルキニル基、炭素数８以下のアリール基が好ましい。そのうちでもメチル基、エチル基およびフェニル基が好ましく、特にメチル基が好ましい。また、オルガノポリシロキサン骨格の撥水性を高める観点から、ケイ素原子に結合している有機基としては、炭素数が５〜２０の直鎖状のアルキル基やアルケニル基が好ましく、特に炭素数６〜１６の直鎖状のアルキル基が好ましい。また、オルガノポリシロキサン骨格の撥水性を特に高める観点から、ケイ素原子に結合している有機基としては、含フッ素有機基が好ましく、エーテル性酸素原子を含んでいてもよいポリフルオロアルキル基がより好ましい。特に、ジフルオロメチレン連鎖を有するポリフルオロアルキル基、ペルフルオロオキシアルキレン基を有するポリフルオロアルキル基が好ましい。
化合物（ａ）としては、１個の（メタ）アクリロイル基と１価の撥水性の基を有する化合物、２個の（メタ）アクリロイル基と２価の撥水性の基を有する化合物が挙げられる。前者の例としては化合物（１１）または化合物（１２）が挙げられ、後者の例として化合物（２１）または化合物（２２）が挙げられる。ただし、式中の記号は前記した意味と同じ意味である。
Figure 0004784646
化合物（１１）ではオルガノポリシロキサン骨格を有する１価の基が、化合物（１２）ではＱ３が、化合物（２１）ではオルガノポリシロキサン骨格を有する２価の基が、化合物（２２）ではＱ４が、それぞれ撥水性部分に相当する。
上記の式中、Ｑ１およびＱ２は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、フッ素原子を含んでいてもよい１価の炭化水素基が好ましく、炭素数１〜４のアルキル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。Ｑ１が複数存在する場合（ｎが２以上の場合）、複数のＱ１は異なっていてもよい。Ｑ２についても同様である。
Ｒ１は水素原子またはメチル基である。ｎは０以上の整数であり、１以上の整数が好ましく、化合物の分子量が５００〜１，０００，０００となる整数であるのが好ましい。ｋは１〜５の整数であり、２〜４の整数が好ましく、３がより好ましい。
上記の式中、Ｑ３は、炭素数４以上のアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基、または炭素数１以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基である。
Ｑ３が炭素数４以上のアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基である場合、炭素数４以上のアルキル基が好ましく、炭素数４〜１８のアルキル基がより好ましい。炭素原子数が該範囲であると、優れた撥水性を発揮する利点がある。アルキル基は、直鎖構造、分岐構造、環構造、または部分的に環を有する構造が挙げられ、直鎖構造が好ましい。
炭素数４以上のアルキル基であるＱ３の具体例としては、以下の基が挙げられる。
Ｈ（ＣＨ２）４−、Ｈ（ＣＨ２）６−、Ｈ（ＣＨ２）８−、Ｈ（ＣＨ２）１０−、Ｈ（ＣＨ２）１２−、Ｈ（ＣＨ２）１４−、Ｈ（ＣＨ２）１６−、Ｈ（ＣＨ２）１８−。
Ｑ３が炭素数１以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基である場合、Ｒｆ１−Ｙ−で表される基が好ましい（Ｒｆ１は炭素数１以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基を示し、Ｙはフッ素原子を含まない２価連結基を示す。）。
Ｒｆ１基は炭素数１〜１２のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基が好ましく、炭素数１〜１２のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキル基がより好ましく、炭素数３〜１２のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキル基が特に好ましい。Ｒｆ１基の構造は、直鎖構造、分岐構造、環構造、または部分的に環を有する構造が挙げられ、直鎖構造が好ましい。
Ｒｆ１基の具体例としては、以下の基が挙げられる。
Ｆ（ＣＦ２）４−、Ｆ（ＣＦ２）６−、Ｆ（ＣＦ２）８−、Ｈ（ＣＦ２）４−、Ｈ（ＣＦ２）６−、Ｈ（ＣＦ２）８−。
ＣＦ３ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２−、ＣＦ３ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−、ＣＦ３ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２−、ＣＦ３ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−。
ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２−、ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−、ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−、ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２−、ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−、ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−、ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２−。
Ｙとしては、−（ＣＨ２）ｍ−、−ＳＯ２ＮＲ２−（ＣＨ２）ｍ−、−（Ｃ＝Ｏ）−ＮＲ２−（ＣＨ２）ｍ−で表される基が好ましい。ただし、ｍは１〜５の整数を示し、Ｒ２は水素原子、メチル基、またはエチル基を示す。
Ｑ４は、炭素数４以上のアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基、または炭素数２以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基が挙げられる。
Ｑ４が炭素数４以上のアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基である場合、炭素数４以上のアルキレン基が好ましく、炭素数４〜１８のアルキレン基がより好ましい。これらの基は優れた撥水性を発揮する利点がある。アルキレン基は、直鎖構造、分岐構造、環構造、または部分的に環を有する構造が挙げられ、直鎖構造が好ましい。
炭素数４以上のアルキレン基であるＱ４の具体例としては、以下の基が挙げられる。
−（ＣＨ２）４−、−（ＣＨ２）６−、−（ＣＨ２）８−、−（ＣＨ２）１０−、−（ＣＨ２）１２−、−（ＣＨ２）１４−、−（ＣＨ２）１６−、−（ＣＨ２）１８−。
Ｑ４が炭素数２以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基である場合、炭素数２〜１２のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基であるのが好ましく、炭素数２〜１２のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキレン基であるのがより好ましい。エーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基の構造は、直鎖構造、分岐構造、環構造、または部分的に環を有する構造が挙げられ、直鎖構造が好ましい。
炭素数２以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基であるＱ４の具体例としては、以下の基が挙げられる。
−（ＣＦ２）２−、−（ＣＦ２）４−、−（ＣＦ２）６−、−（ＣＦ２）８−、−（ＣＦ３）ＣＦ［ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）］ＯＣＦ２（ＣＦ２）４ＣＦ２Ｏ［ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ］ＣＦ（ＣＦ３）−、
−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２（ＣＦ３）ＣＦ［ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）］ＯＣＦ２−、
−（ＣＦ２）４ＣＦ２Ｏ［ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ］ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−。
化合物（ａ）としては、化合物（１１）、化合物（１２）または化合物（２１）が好ましい。撥水性に優れることから、Ｑ１およびＱ２がメチル基である化合物（１１）、Ｑ１がメチル基である化合物（２１）、Ｑ３がＲｆ１−Ｙ−で表される基であってＲｆ１が炭素数１〜１２のペルフルオロアルキル基である化合物（１２）を用いるのがより好ましい。
さらに、Ｑ１およびＱ２がメチル基である化合物（１１）、Ｑ１がメチル基である化合物（２１）であって、分子量が５００〜１,０００,０００である化合物が特に好ましく、分子量が１，０００〜１００,０００である該化合物がとりわけ好ましい。化合物（１１）または化合物（２１）は、通常はｎが異なる２種以上の化合物の混合物として入手され、ｎは該混合物におけるｎの平均値で表現されることもあり、その場合のｎは正数となる。化合物（１１）または化合物（２１）において、分子量が５００以上であると、基材表面からの蒸発を防止できる利点があり、分子量が１,０００,０００より小さいと、溶媒への溶解性が良好になるため、作業性が向上する利点がある。
光重合開始剤としては、光を吸収してラジカルを発生することにより重合反応を開始させる物質であり、（メタ）アクリロイル基の重合を開始させる物質から選択されうる。例えば２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン（メルク社製、ダロキュア１１７３）、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（チバ・ガイギー社製、イルガキュア１８４）、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン（メルク社製、ダロキュア１１１６）、ベンジルジメチルケタール（チバ・ガイギー社製、イルガキュア６５１）、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン（チバ・ガイギー社製、イルガキュア９０７）、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１（チバ・ガイギー社製、イルガキュア３６９）、２，４−ジエチルチオキサントン（日本化薬社製、カヤキュアＤＥＴＸ）を好ましい例としてあげることができる。これらは単独で用いても、２種類以上を混合して用いてもよい。光重合開始剤の量は、化合物（ａ）の総量に対して０．１〜５０質量％が好ましく、１〜１０質量％がより好ましい。
組成物（Ａ）は、（メタ）アクリロイル基の３個以上を有する化合物（ｂ）を含むことが好ましい。ただし、該化合物（ｂ）は上記化合物（ａ）であっても、上記化合物（ａ）以外の化合物であってもよい。すなわち、化合物（ａ）である化合物（ｂ）とは、（メタ）アクリロイル基の３個以上と撥水性部分を有する化合物を意味し、化合物（ａ）以外の化合物である化合物（ｂ）とは、（メタ）アクリロイル基の３個以上を有し撥水性部分を有しない化合物を意味する。（メタ）アクリロイル基の３個以上を有する化合物（ｂ）の使用は、組成物（Ａ）の硬化を促進するのに有効である。
化合物（ａ）以外の化合物である化合物（ｂ）としては、３価以上のポリオールのポリ（メタ）アクリレートが好ましい。１分子中の（メタ）アクリロイル基の数は８個以下が好ましい。具体的には、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート等が挙げられる。組成物（Ａ）中の化合物（ａ）以外の化合物である化合物（ｂ）の量は、化合物（ａ）の総量に対して０．１〜１００質量％が好ましく、５〜５０質量％がより好ましい。化合物（ｂ）の量が多すぎると、組成物（Ａ）を硬化させた膜からなる撥水性領域の撥水性が低くなるおそれがある。
つぎに、上記［２］の工程について説明する。上記組成物（Ａ）に上記親水性化合物を含ませ、基材の表面に塗布して膜を形成し、静置することにより親水性化合物を基材側に移行させる。親水性部分を有する化合物は高表面エネルギーの材料であることから基材側に配向し、撥水性部分を有する化合物は低表面エネルギーの材料であることから気相界面に配向する性質がある。この性質を利用して、親水性化合物と化合物（ａ）のバイレイヤー構造を形成させることができる。
親水性化合物の量は化合物（ａ）の量に対して０．１〜１００質量％が好ましく、１〜６０質量％がより好ましい。静置の条件は、化合物（ａ）の種類、親水性化合物の種類、膜厚に応じて適宜決められる。この現象を促進するために、材料を塗布した基材を加熱してもよい。塗布した親水性化合物および／または化合物(ａ)のガラス転移温度以上に加熱することにより、数十秒〜数分程度の短時間で、バイレイヤー構造を形成できる。
親水性化合物の代わりに表面に反応して表面を親水化しうる化合物を使用して上記と同様に該化合物を基材表面に移行させて基材表面に反応させ、基材表面を親水性にすることができる。該化合物の使用量や使用条件は上記親水性化合物を使用する場合と同様である。
上記［１］の工程における組成物（Ａ）、上記［２］の工程における親水性化合物等と組成物（Ａ）は、溶媒を含む溶液として塗布するのが好ましい。溶媒としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール類、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、ヘキサン等の炭化水素類が好ましい。溶液中の固形分濃度は０．０１〜５０質量％が好ましく、０．１〜１０質量％がより好ましい。
膜を形成する方法としては、上記溶液を基材表面に塗布する方法が好ましく、スピンコート、ディップコート、ワイヤーバーコート、ブレードコート、ロールコートなどの方法が採用できる。塗布は、室温下または加熱下で行うことが好ましい。また膜を形成した基材は、大気中または窒素気流中等で乾燥されることが好ましい。該乾燥は室温で行うのが好ましい。乾燥を加熱下で行う場合には、基材の材質の耐熱性によって温度および時間を適宜変更するのが好ましい。
膜を形成後、膜の表面の一部に光を照射する。光照射に用いる光は、波長２００ｎｍ以上の光が好ましく、波長３００ｎｍ以上の光がより好ましい。また、波長３８０ｎｍ以下の光が好ましく、波長３６５ｎｍ以下の光がより好ましい。波長２００ｎｍ以上の光は、基材を分解するおそれが少ない利点がある。また、波長３８０ｎｍ以下の光により重合を開始させる光重合開始剤は入手しやすく、光源も安価である。照射時間は、光の波長、光の強度・光源の種類、組成物（Ａ）の種類等に応じて、適宜変更しうる。超高圧水銀ランプの場合、２〜１００ｍｗ／ｃｍ２で５〜１２０秒照射すればよい。高圧水銀ランプの場合は一般に、超高圧水銀ランプより短時間の照射でよい。
光源としては、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、キセノンランプ、ナトリウムランプ、窒素等の気体レーザー、有機色素溶液の液体レーザー、無機単結晶に希土類イオンを含有させた固体レーザー等が挙げられる。また、単色光が得られるレーザー以外の光源としては、広帯域の線スペクトル、連続スペクトルをバンドパスフィルター、カットオフフィルター等の光学フィルターを使用して取出した特定波長の光を使用してもよい。一度に大きな面積を照射することができることから、光源としては高圧水銀ランプまたは超高圧水銀ランプが好ましい。
光の照射はフォトマスクを介して行うことが好ましい。この方法により、膜の表面の所望の領域でのみ硬化反応を起こすことが可能であり、親水性領域と撥水性領域が所望のパターンを形成した処理基材を得ることができる。
光照射する雰囲気は任意に選択することができる。膜厚１００ｎｍ以下の組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜を形成する場合には、酸素による硬化阻害を受ける場合があるため、窒素ガス雰囲気等の不活性ガス雰囲気下に光照射するのが好ましい。不活性ガスとしては、窒素、アルゴン、ヘリウム、二酸化炭素等から選ばれるガスが挙げられ、安価に入手できるため窒素ガスが最も好ましい。
光照射は、基材が光照射に用いる光を透過する波長の光であれば、基材のどちらの面側から行ってもよく、通常は基材の組成物（Ａ）を含む膜の面側から光照射を行うのが好ましい。
組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜を形成した後、基材の表面に存在する未硬化の組成物（Ａ）を除去する。未硬化の組成物（Ａ）を除去することにより、親水性の表面を露出させることとなる。未硬化の組成物（Ａ）を除去する方法としては、化合物（ａ）が低分子量である場合には、窒素気流を吹き付けて除去する方法が好ましい。化合物（ａ）が高分子量である場合には、容易に蒸発しないため、未反応の化合物（ａ）が残存する表面を有機溶媒で洗浄するのが好ましい。洗浄に用いる有機溶媒としては、化合物（ａ）を溶解する溶媒が好ましい。該有機溶媒としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール類、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、ヘキサン等の炭化水素類等が挙げられる。
撥水性の膜の膜厚は０．１〜１００ｎｍであり、０．１〜５０ｎｍが好ましく、０．１〜１０ｎｍがより好ましい。特に本発明の処理基材を電子部材として使用する場合は撥水性の膜は薄いほうが好ましい。本発明の処理基材の表面に機能性材料を含む親水性の液を塗布して、処理基材のパターンを形成した親水性領域に該親水性の液を付着させ、つぎに乾燥させることによって機能性材料の膜からなるパターンを形成させた後、組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜を除去して機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材を製造できる。該部材は電子素子として有用である。組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜を除去するのは、該部材を電子素子として使用する場合に、撥水性の膜が素子の動作に影響するおそれがあるからである。よって撥水性の膜は除去しやすさの観点から薄いほうが好ましい。
本発明によれば、基材の表面に親水性領域と、組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜からなる撥水性領域とを有する処理基材が提供される。親水性領域と撥水性領域は、水に対する接触角で区別できる。本明細書では該接触角は、実施例に記載する静滴法による測定値で表す。親水性領域の水に対する接触角は、５０度以下が好ましく、４０度以下がより好ましく、２０度以下が特に好ましい。撥水性領域の水に対する接触角は、８０度以上が好ましく、１００度以上がより好ましく、１１０度以上が特に好ましい。撥水性領域と親水性領域との水に対する接触角の差は４０度以上が好ましく、７０度以上がより好ましい。この差が大きいほどコントラストの高いパターンが得られる。
また、化合物（ａ）として含フッ素化合物を用いた場合には、撥水性領域は撥油性領域にもなる。撥油性領域は親油性溶媒（炭化水素系溶媒など）をはじくことができ、それによって機能性膜を形成するために機能性材料の溶媒として親油性溶媒を使用しても撥水性領域に機能性材料が付着することを防止することができる。一方、親水性領域においては親油性溶媒に対しても親和性をもたせることができる。撥油性領域と親水性領域とは、炭化水素化合物に対する接触角で区別できる。具体的には、炭化水素化合物としてヘキサデカンを用いた場合、撥油性領域のヘキサデカンに対する接触角は、４０度以上が好ましく、６０度以上がより好ましく、７０度以上が特に好ましい。
本発明の処理基材の製造方法において、光重合反応に用いる光としてフォトマスクを解した光やレーザー光を用いて光照射を行った場合には、親水性領域と撥水性領域が所望のパターンを形成してなる処理基材が得られる。また、親水性領域と撥水性領域の線幅が１０μｍ以下であるパターンを形成できる。
本発明の処理基材の表面に機能性材料を含む親水性の液を塗布して、処理基材のパターンを形成した親水性領域に該親水性の液を付着させ、つぎに乾燥させることによって、機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材を製造できる。
機能性材料としては、金属配線を形成する金属粒子分散ペースト、カラーフィルタを形成する色素材料、電子デバイス・有機ディスプレイを形成するセラミック材料、有機半導体材料等が挙げられる。
機能性材料を含む親水性を有する液とは、機能性材料を水もしくは極性の高い有機溶媒に溶解させた液をいう。極性の高い有機溶媒は水と混和しうる有機溶媒であればさらに好適である。
液の塗布方法としては、スピンコート、ディップコート、ワイヤーバーコート、ブレードコート、ロールコート等の塗布方法、スクリーン印刷、インクジェット法等の特定領域への印刷方法が挙げられる。これらのうち、撥水性領域と親水性領域とからなるパターン上の非撥水性領域に選択的に塗布することが可能という点で、スクリーン印刷、インクジェット法が好ましい。
乾燥は大気中または窒素気流中等で行うことが好ましい。また、乾燥は室温または加熱下で行うのが好ましい。乾燥を加熱下で行う場合には、基材の材質の耐熱性によって温度および時間を適宜変更するのが好ましい。
上記したように、電子素子などにおいては、撥水性の膜が除去された、機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材が有用である。撥水性の膜の除去は、部材をＵＶ／Ｏ３処理することにより行うのが好ましい。例えば、ＵＶ／Ｏ３発生装置としてＰＬ７−２００（センエジニアリング（株）製）を使用し、部材を１〜３分照射することが好ましい。
本発明の処理基材に、機能性材料として親水性のインクを用い付着させた場合には、該部材はスタンプとなりうる。さらに親水性領域と撥水性領域のパターンを精密に形成した場合には、マイクロコンタクトプリンティング用のスタンプ等としても利用できる。
また、本発明において、基材としてプラスチック基板等のフレキシブル基板を用いた場合には、ロールツーロール法（Ｒｏｌｌ ｔｏ Ｒｏｌｌ法）が実施できるように設置した複数のロールと、複数のロールの間に露光機を設置して基板への光照射を行うことにより、高スループットで光処理基材を得ることができる。
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
水に対する接触角は、静滴法により、ＪＩＳ Ｒ３２５７「基板ガラス表面のぬれ性試験方法」に準拠して、基材上の測定表面の３ケ所に水滴を載せ、各水滴について測定した。液滴は２μＬ／滴であり、測定は２０℃で行った。接触角は、３測定値の平均値（ｎ＝３）で示す。
［例１］
（基板の洗浄）
５ｃｍ四方のシリコンウェハーをエタノールで洗浄後、ＵＶ／Ｏ３洗浄した。
（塗布用溶液の作製）
サンプル瓶にイソプロパノール（２．５ｇ）をとった。両末端にメタクリロイルオキシプロピル基を有するポリジメチルシロキサン（ＤＭＳ−Ｒ１８、Ｇｅｌｅｓｔ社製、上記式（２１）においてＲ１がメチル基、Ｑ１がメチル基、ｋが３で表される化合物、分子量４５００〜５５００）の１０質量％イソプロパノール溶液（０．１ｇ）を加えた。トリメチロールプロパントリアクリレートの１質量％イソプロパノール溶液（０．２ｇ）を加えた。光重合開始剤としてＩＲＧＡＣＵＲＥ ３６９（チバ・ガイギー社製）の１％イソプロパノール溶液（０．０６ｇ）を加えた。サンプル瓶を数回振って溶液を混合させた。
（溶液の塗布）
作製した塗布溶液をシリコンウェハーに、３０００ｒｐｍ、２０秒の条件下スピンコートして、膜を形成した。
（光照射）
得られた膜の表面に、窒素雰囲気下、膜側から、開孔パターン（２．５ｃｍ×５ｃｍ）を有するフォトマスクを介して、高圧水銀ランプからの紫外線を５ｍｗ／ｃｍ２で１５秒照射した。
（基材の洗浄）
光照射後の基材を、イソプロパノールでリンスした後、エタノールでリンスし、窒素気流で乾燥したものを処理基材とした。
（膜厚の測定）
得られた処理基材の光照射部の膜厚を原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscope；AFM）で測定した結果、撥水性膜の厚さは８ｎｍであった。
（接触角の測定）
上記工程により得られた処理基材の表面の水に対する接触角は、非照射部分が２８度、紫外線照射部分が１００度であったことから、親水性領域（接触角２８度）と、撥水性領域（接触角１００度）とを有する撥水親水パターンの形成が確認された。撥水性領域の膜厚は３８ｎｍであった。
［例２］
例１において、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ３６９をＩＲＧＡＣＵＲＥ ９０７（チバ・ガイギー社製）に変更すること以外は、同様の操作を行った。得られた膜の厚さは８ｎｍであった。
得られた処理基材の表面の水に対する接触角は、非照射部分が２１度、紫外線照射部分が１００度であることから、親水性領域（接触角２１度）と、撥水性領域（接触角１００度）とを有する撥水親水パターンの形成が確認された。
［例３］
例２において、塗布溶液にポリビニルアルコール（分子量５００、関東化学（株）社製）の１％水溶（０．５ｇ）を加えたこと、スピンコートの後５分間静置したことの他は同様の操作を行った。得られた膜の厚さは約１２ｎｍであると推測される。
得られた処理基材の表面の水に対する接触角は、非照射部分が２９度、紫外線照射部分が１００度であることから、親水性領域（接触角２９度）と、撥水性領域（接触角１００度）とを有する撥水親水パターンの形成が確認された。
［例４］
例２において、塗布溶液を塗布する前に、ポリビニルアルコール（分子量５００、関東化学（株）社製）の１質量％水溶液（２ｍＬ）をスピンコート（３０００ｒｐｍ、２０秒）で塗布した。他は同様の操作を行った。得られた膜の厚さは約１２ｎｍであると推測される。
得られた処理基材の表面の水に対する接触角は、非照射部分が２９度、紫外線照射部分が１００度であることから、親水性領域（接触角２９度）と、撥水性領域（接触角１００度）とを有する撥水親水パターンの形成が確認された。
［例５］
ＮＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−Ｓｉ（ＯＣＨ２ＣＨ３）３（０．１ｇ、信越化学社製）をイソプロパノール（１００ｇ）に溶解した後、蒸留水（０．０２５ｇ）を入れ、室温で２０時間撹拌して、アミノシリコーン溶液を得た。
例２において、塗布溶液を塗布する前に、上記で調製したアミノシリコーン溶液（２ｍＬ）をスピンコート（３０００ｒｐｍ、２０秒）で塗布した。他は同様の操作を行った。得られた膜の厚さは約１５ｎｍであると推測される。
得られた処理基材の表面の水に対する接触角は、非照射部分が１１度、紫外線照射部分が１０２度であることから、親水性領域（接触角１１度）と、撥水性領域（接触角１０２度）とを有する撥水親水パターンの形成が確認された。
［例６］
例１において、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ３６９をＩＲＧＡＣＵＲＥ ９０７に、トリメチロールプロパントリアクリレートをジペンタエリスリトールヘキサアクリレートに変更し、光照射の雰囲気を窒素雰囲気から空気雰囲気に変更すること以外は、同様の操作を行った。得られた膜の厚さは約８ｎｍである。
得られた処理基材の表面の水に対する接触角は、非照射部分が１９度、紫外線照射部分が１００度であることから、親水性領域（接触角１９度）と、撥水性領域（接触角１００度）とを有する撥水親水パターンの形成が確認された。
本発明の製造方法によれば、大規模な設備、真空装置および光源を用いることなく親水性領域と撥水性領域とからなる微細なパターンを形成できる。該パターン面に、インクジェットを利用して機能性インクを噴射した場合には、親水性領域にのみ機能性インクが保持され、撥水性領域には保持されないことから、基材を機能性インクでパターニングできる。また本発明は電子デバイスの回路形成にも応用できる。また、撥水親水パターンを有する薄膜は、親水性領域に機能性インクを含ませ、別の基材に転写することにより、マイクロコンタクトプリンティング用のスタンプとして使うこともできる。
また、本発明の基材の表面に親水性領域と撥水性領域を有する処理基材は、医療分野においても使用できる。例えば、毛細血管の血管部が親水部になるようなパターンを持ったマスクを作製し、基材に毛細血管のパターンを転写する。その上に血管皮細胞をばら撒いて、親水性領域のみで細胞増殖し、毛細血管のパターンを再生できる。
また、化合物（ａ）として撥水性を有し撥油性を有さない化合物（例えば、フッ素不含の炭化水素系撥水性化合物）を用いた場合には、撥水性領域は親油性領域ともなりうるため、油性のインクを親油部に保持させることができ、印刷の製版として利用できる。
また、本発明の基材の表面に親水性領域と撥水性領域を有する処理基材は、親水性領域の表面に存在する水酸基等の反応性を利用して、該親水性領域の表面に他の性質を有する化合物を反応させ、撥水性と他の性質を有する基材を形成させることも可能である。

なお、２００６年３月６日に出願された日本特許出願２００６−０５９４９５号の明細書、特許請求の範囲、及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。

Claims (10)

  1. 基材の表面に親水性領域と撥水性領域とを有する処理基材であって、撥水性領域は下記の組成物（Ａ）を硬化させた膜厚が０．１〜１００ｎｍである撥水性の膜からなることを特徴とする処理基材。
    組成物（Ａ）：下式（１１）、（１２）、（２１）または（２２）で表される化合物である化合物（ａ）と光重合開始剤とを含む組成物。
    Figure 0004784646
     ただし、式中の記号は以下の意味を示す。
    Ｑ １ およびＱ ２ は、それぞれ独立して、１価の有機基。
    Ｑ ３ は、炭素数４以上のアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基、または炭素数１以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基。
    Ｑ ４ は、炭素数４以上のアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基、または炭素数２以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基。
    Ｒ １ は水素原子またはメチル基。
    ｎは０以上の整数、ｋは１〜５の整数。
  2. 組成物（Ａ）は、アクリロイル基およびメタクリロイル基からなる群から選ばれる重合性官能基の３個以上を有する化合物（ｂ）（ただし、該化合物（ｂ）は前記化合物（ａ）であっても、前記化合物（ａ）以外の化合物であってもよい）を含む、請求項１に記載の処理基材。
  3. 親水性領域の水に対する接触角が５０度以下であり、撥水性領域の水に対する接触角が８０度以上である請求項１または２に記載の処理基材。
  4. 親水性領域と撥水性領域が所望のパターンを形成してなる請求項１〜３のいずれかに記載の処理基材。
  5. 親水性の基材を使用するかまたは基材の表面を親水化処理して表面を親水性にし、つぎに該表面に下記組成物（Ａ）を含む膜を形成し、
    ついで該膜の表面の一部に光を照射して組成物（Ａ）を硬化させ膜厚が０．１〜１００ｎｍである撥水性の膜を形成し、
    ついで基材の表面に存在する未硬化の組成物（Ａ）を除去して親水性の表面を露出させることによって、
    基材の表面に親水性領域と組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜からなる撥水性領域とを有する処理基材を得ることを特徴とする処理基材の製造方法。
    組成物（Ａ）：下式（１１）、（１２）、（２１）または（２２）で表される化合物である化合物（ａ）と光重合開始剤とを含む組成物。
    Figure 0004784646
     ただし、式中の記号は以下の意味を示す。
    Ｑ １ およびＱ ２ は、それぞれ独立して、１価の有機基。
    Ｑ ３ は、炭素数４以上のアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基、または炭素数１以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基。
    Ｑ ４ は、炭素数４以上のアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基、または炭素数２以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基。
    Ｒ １ は水素原子またはメチル基。
    ｎは０以上の整数、ｋは１〜５の整数。
  6. 親水性の基材の表面を湿式洗浄もしくは光洗浄する、または基材の表面に親水性化合物を塗布することにより、基材の表面を親水化処理する、請求項５に記載の製造方法。
  7. 基材の表面に親水性化合物と下記組成物（Ａ）とを含む膜を形成し、静置することにより親水性化合物を基材側に移行させて、
    ついで該膜の表面の一部に光を照射して組成物（Ａ）を硬化させ膜厚が０．１〜１００ｎｍである撥水性の膜を形成し、
    ついで基材の表面に存在する未硬化の組成物（Ａ）を除去して親水性の表面を露出させることによって、
    基材の表面に親水性領域と組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜からなる撥水性領域とを有する処理基材を得ることを特徴とする処理基材の製造方法。
    組成物（Ａ）：下式（１１）、（１２）、（２１）または（２２）で表される化合物である化合物（ａ）と光重合開始剤とを含む組成物。
    Figure 0004784646
     ただし、式中の記号は以下の意味を示す。
    Ｑ １ およびＱ ２ は、それぞれ独立して、１価の有機基。
    Ｑ ３ は、炭素数４以上のアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基、または炭素数１以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基もしくは該基を部分構造として持つ１価の有機基。
    Ｑ ４ は、炭素数４以上のアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基、または炭素数２以上のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキレン基もしくは該基を部分構造として持つ２価の有機基。
    Ｒ １ は水素原子またはメチル基。
    ｎは０以上の整数、ｋは１〜５の整数。
  8. ２００ｎｍ以上の波長を有する光を照射する、請求項５〜７のいずれかに記載の製造方法。
  9. 請求項４に記載の処理基材の表面に機能性材料を含む親水性の液を塗布して、処理基材のパターンを形成した親水性領域に該親水性の液を付着させ、つぎに乾燥させることによって機能性材料の膜からなるパターンを形成させることを特徴とする機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材の製造方法。
  10. 請求項４に記載の処理基材の表面に機能性材料を含む親水性の液を塗布して、処理基材のパターンを形成した親水性領域に該親水性の液を付着させ、つぎに乾燥させることによって機能性材料の膜からなるパターンを形成させた後、組成物（Ａ）を硬化させた撥水性の膜を除去することを特徴とする機能性材料の膜からなるパターンが形成された部材の製造方法。
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