JP4766797B2 - プローバのステージ構造 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハ上に形成された多数の半導体デバイスの電気的特性を測定するために、ウェハをステージに載置してステージを移動し、テスタに接続される触針(プローブニードル)に各半導体デバイスの電極パッドを順次接触させるプローバに関し、特にそのステージ構造の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造工程においては、製造効率を向上させるために、ウェハに形成された多数の半導体デバイスの電極パッドに触針を接触させて、ICテスタからの試験信号を印加して半導体デバイスからの出力信号を検出し、正常に動作しないデバイスは後の組み立て工程から除くと共に、その検査結果が速やかにフィードバックされる。この検査に使用されるのがプローバである。
このプローバは、例えば真空吸着等によりウェハを保持するステージを備えており、このステージの上方には、半導体デバイスの電極パッドに対応した、テスタに接続される多数の触針を備えたプローブカードが固定されている。そして駆動機構によりステージを3次元方向に移動させ、ウェハの半導体デバイスの電極パッドに触針を接触させ、この触針を介してテスタにより試験測定を行うように構成されている。
【0003】
近年においては、半導体デバイスの耐久性のテスト及び半導体デバイスの使用環境と同様の温度環境での性能検査及び品質検査を行う必要性等から、ウェハを保持するステージ部内部に加熱/冷却装置を設けて、プローバのスペック範囲として、例えば−40℃〜+150℃の温度範囲で半導体デバイスの試験測定が行われている。
【0004】
しかしながら、この加熱/冷却装置によるステージ部の温度変化が、ステージ部を移動させるステージ機構部に伝熱し、この熱による熱膨張等の影響により、ステージの位置決め精度が悪化してしまうという問題があった。
そこで、従来のステージ構造においては、図2に示すようにこの冷/熱源11によるステージ部1の温度変化がステージ機構部2に影響しないように、ステージ部1とステージ機構部2との接続部分を熱伝導率の悪い断熱材料である単一の断熱体3を用いた断熱構造としたり、又は高温の場合には、プローバの筺体内の温度変化を防ぐためにファン4などを用いたステージ冷却構造を採用していた。
しかしながら、この従来のステージ構造では、ステージ部の温度変化のステージ機構部への影響を十分に防止しきれず、半導体デバイスの位置決め精度を依然として悪化させていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ステージ部の温度変化によるステージ機構部への影響を排除し、高低温測定時に関係なく、半導体デバイスの位置決めを高精度で行うことが可能なプローバのステージ構造を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載のプローバのステージ構造を提供する。
請求項1に記載のプローバのステージ構造は、ステージが、ウェハを保持し、加熱/冷却源でもあるステージ部と、このステージ部を移動させるステージ機構部と、その両者の間に介在する断熱部とより構成され、この断熱部が、少なくとも2つの断熱体と、これらの断熱体間に挟持される放熱体とからなっている。このように断熱層と放熱層とを重ね合わせた多層構造とすることにより、より高い断熱性を得ることができる。したがって、従来のものに比べ、断熱部を同性能で薄くコンパクトに形成できるので、高いスペース効率を有するステージ構造が得られる。また、高低温測定時の温度変化によるステージ機構部への影響を排除でき、高精度な位置付けが行える。
【0007】
請求項2の該ステージ構造は、放熱体の形状をステージ部の下面と側面とを包囲するような形状としたものであり、これにより、冷熱源であるステージ部からステージ機構部への空気による熱の伝播を遮断するようにしている。
請求項3の該ステージ構造は、放熱体のステージ部に面する表面を断熱シート被覆したものであり、これにより、ステージ部からの熱の空気伝播を一層効率良く遮断している。
【0008】
請求項4の該ステージ構造は、断熱部の断熱体がセラミックから形成され、放熱体の断熱シートがスポンジ材にアルミ蒸着が施されているものである。ステージ部はプローブカードの触針から約100〜120kgの荷重を受けるものであり、そのため断熱体も強度が必要であり、断熱材料としてセラミックは好適である。
請求項5の該ステージ構造は、放熱体の放熱を促進するためにファンを設けたものであり、これにより、放熱体を通り抜ける空気の流通をよくし、放熱効果を一層改善でき、ステージ部からステージ機構部への熱の伝達量を大幅に低減でき、断熱効果を高めることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態のプローバのステージ構造について説明する。図1は、本発明のプローバのステージ構造の縦断面の概略構成図である。ステージは、多数の半導体デバイスが形成されたウェハWを、その表面上に載置して保持するステージ部1と、このステージ部1を3次元方向に移動させるためのステージ機構部2と、ステージ部1とステージ機構部2間に介在し、両者間を断熱する断熱部3とより構成されている。
なお、図示されていないが、ステージの上方にはテスタに接続する多数の触針を有するプローブカードが固定されているテスタヘッド部が配置されている。
【0010】
ステージ部1の表面には、ウェハWを保持するため、例えば吸引通路に連通している吸引空気用の溝(図示せず)が形成されており、ウェハWは吸着保持される。またステージ部1の内部には、半導体デバイスを高温状態、例えば最高で150℃、又は低温状態、例えば最低で−40℃、で電気的特性検査が行えるように、加熱/冷却源としての加熱/冷却装置11が設けられている。これらの加熱/冷却装置11は、公知の適宜の加熱/冷却器が採用できるものであり、例えば、面ヒータの加熱層と冷却流体の通路を設けた冷却層との二重層構造にしたものや、熱伝導体内に加熱ヒータを巻き付けた冷却管を埋設した一層構造の加熱/冷却装置等、様々のものが考えられる。また、電気加熱ではなく、熱流体を循環させるものでもよく、またペルチェ素子を使用してもよい。
【0011】
ステージ機構部2は、一般的に良く知られた構造であるので、簡単に説明すると、水平面の2方向であるX方向とY方向、上下方向であるZ方向の3つの1次元の移動テーブル21,22,23を組み合わせて構成されている。例えば、X方向の移動テーブル23の上にY方向の移動テーブル22を載せ、その上にZ方向の移動テーブル21を載せている。それぞれの移動テーブルの駆動方式には、公知のボールねじ駆動、またはリニアモータ駆動が採用されている。即ち、例えば移動テーブル21は、移動部21a、案内部21b、ボールねじ部21c、ナット部21d、モータ部21e及びボールベアリング部21f等から構成されている。モータ部21eを駆動することで移動部21aが上下動する。
ステージ機構部2の上面、即ち、最上部に位置しているZ方向の移動テーブル21の上面(移動部21a)には、後述する断熱部3を嵌合して固定するための円筒状の凸部2aが形成されている。なお、Z方向の移動テーブル21は、θ方向にも回動できるようになっている。
【0012】
本発明の特徴である断熱部3は、図1に示される実施例では、2つの第1と第2の断熱体31,32と、これらの断熱体に挟持された放熱体33とから構成されている。なお、この断熱体の数を、2つ以上とし、放熱体の数も1つ以上として、交互に断熱体と放熱体とを積み重ねた多層構造とすれば、断熱効果は一層向上するが、一つ当りの断熱体の厚さが薄くなり、強度的に弱くなるので、適切な数を選択することが好ましい。
【0013】
第1と第2の断熱体31,32は、一般には、ステージ部1の形状と同様に円筒形に形成され、下方に配置される第2の断熱体32の下面は、駆動機構部2の上面の円筒状凸部2aに嵌合するように円柱状の凸部32aが形成されている。これらの断熱体31,32は、約100〜120kg程の荷重を受けるものであり、強度を必要するのでセラミック、好ましくはジルコニア系のセラミックで作られている。
【0014】
2つの第1と第2の断熱体31,32に挟持される放熱体33は、図1に示される実施例では、ステージ部1の下面と側面とを包囲するように水盤のような形状に形成されていて、そのほぼ中央部分で第1と第2の断熱体31,32に挟持されている。放熱体33は、熱伝導の良好な金属材であるアルミニウム、銅及びこれらの合金等から作られており、ステージ部1に面していて、断熱体31,32から露出している表面には、断熱シート34が被覆されている。この断熱シート34は、例えばシリコン樹脂系のスポンジ材の表面にアルミ蒸着したものが使用される。なお、放熱体33は、図1のものではその表面が平坦であるが、表面積を大きくするために、その表面を凹凸状にしたり、波形状にすることも可能である。
【0015】
上述したステージ部1、断熱部3及びステージ機構部(最上部の移動部21a)2は、最終的には通しボルト等で着脱自在に固定されている。
また、プローバの筺体内には、放熱体32に対して強制的に空気を送って冷却するためのファン4が設けられている。
【0016】
上記のように構成された本発明のプローバのステージ構造においては、加熱/冷却源であるステージ部1からの熱が断熱部3によって遮断され、ステージ機構部2へ熱伝達しないようになっている。即ち、ステージ部1からの熱は断熱部3の上部の第1の断熱体31によって1次断熱され、熱伝達量が絞り込まれる。次に1次断熱によって低減された熱量は、放熱体33によって放熱され、更に断熱部3の下部の第2の断熱体32への熱伝達量が絞り込まれる。次いで、放熱後の絞り込まれた熱量を第2の断熱体32で2次断熱する。このように、断熱−放熱−断熱という多層の組み合せ構造を断熱部3に採用することによって、断熱効果を高めることができる。これにより、ステージ部1の温度変化がステージ移動機構部であるステージ機構部2に伝わることを防止でき、その熱膨張又は熱収縮による影響を排除でき、半導体デバイスの触針に対する高精度な位置決めを安定して確保できる。
【0017】
また、放熱体33がステージ部1の下面と側面とを間隔をあけて包囲するような水盤形状となっていて、そのステージ部1に面する表面を断熱シート34で被覆していることにより、ステージ部1からの熱が空気伝播によりステージ機構部2へと伝熱するのが遮断されるようになっており、その断熱効果が一層高められる。
更に、放熱体33の第1と第2の断熱体31,32で挟持されている中央部分以外の外部に拡張している部分を、プローバの筺体内に設けたファン4により冷却し、放熱量を向上させて第2の断熱体32への熱伝達量を一層減少させることで、更に一層の断熱効果が高められる。
【0018】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のプローバのステージ構造においては、従来の単体の断熱層のみの構造と比較して、加熱/冷却源であるステージ部からステージ機構部への熱伝達量を大幅に低減することができ、高精度な位置決めが確保できる。したがって、高低温測定時の温度変化による精度への悪影響を排除でき、高低温測定時でのプローバの精度を従来の数μm程度から更に高精度まで保証できる。
また、微細化、大口径化が進むシリコンウェハの測定において、精度への要求は高まっており、プローバの精度向上は、更なる微細化、大口径化を可能としている。更には、高低温測定時の高精度化の実現により、現状の測定温度(約150℃〜−40℃)よりも、更なる高温(約200℃)、低温での測定が可能となり、より劣要な環境でも安定動作が可能な更なる高品質、高性能な半導体の開発に寄与できる。また特殊環境で使用する機器類の開発や航空宇宙開発の分野で使用する半導体の開発に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態のプローバのステージ構造の縦断面の概略構成図である。
【図2】従来のステージ構造の概略図である。
【符号の説明】
1…ステージ部
11…加熱/冷却装置
2…ステージ機構部
3…断熱部
31,32…断熱体
33…放熱体
34…断熱シート
4…ファン
Claims (5)
- ウェハ上に形成された多数の半導体デバイスの電気特性を検査するために、プローブカードの触針に対してウェハを保持したステージを移動させるプローバのステージ構造において、
前記ステージが、ウェハを保持するチャック機構と内部に加熱/冷却装置とを有するステージ部と、該ステージ部を3次元方向に移動させるためのステージ機構部と、該ステージ部と該ステージ機構部間に介在し、両者間を断熱する断熱部とからなっていて、
前記断熱部が、少なくとも2つの断熱体と、該断熱体間に挟持され、該断熱体より横方向に突出する少なくとも1つの放熱体とからなることを特徴とするプローバのステージ構造。 - 前記放熱体が、前記ステージ部の下面と側面とを包囲するように水盤形状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のプローバのステージ構造。
- 前記放熱体のステージ部に面する表面が、断熱シートで被覆されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローバのステージ構造。
- 前記断熱体が、セラミックより形成されており、前記断熱シートが、スポンジ材にアルミの蒸着が施されていることを特徴とする請求項3に記載のプローバのステージ構造。
- 前記放熱体の放熱を促進するために、ファンが設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のプローバのステージ構造。
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