JP4763318B2 - 赤外反射防止膜 - Google Patents
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Description
基板 Ge
第1層 Ge 光学膜厚 0.20λ0
第2層 SiO 光学膜厚 0.10λ0
第3層 Ge 光学膜厚 0.50λ0
第4層 SiO 光学膜厚 0.30λ0
第5層 Ge 光学膜厚 0.20λ0
第6層 SiO 光学膜厚 0.70λ0
第7層MgF2 光学膜厚 0.70λ0
ただし、光学膜厚は4nλ・dであり、nは屈折率、λは光の波長、dは膜厚、中心波長λ0=3.5μmである。
基板 Ge
第1層 Ge 光学膜厚 0.29λ0
第2層 SiO 光学膜厚 0.14λ0
第3層 Ge 光学膜厚 0.71λ0
第4層 SiO 光学膜厚 0.43λ0
第5層 Ge 光学膜厚 0.29λ0
第6層 SiO 光学膜厚 1.00λ0
第7層MgF2 光学膜厚 1.00λ0
ただし、光学膜厚は4nλ・dであり、nは屈折率、λは光の波長、dは膜厚、中心波長λ0=2.45μmである。
基板 Ge
第1層 Ge 光学膜厚 0.20λ0
第2層 SiO 光学膜厚 0.10λ0
第3層 Ge 光学膜厚 0.50λ0
第4層 SiO 光学膜厚 0.30λ0
第5層 Ge 光学膜厚 0.20λ0
第6層 SiO 光学膜厚 0.70λ0
第7層 MgF2 光学膜厚 0.70λ0
ただし、中心波長λ0=3.5μmである。
ここでMgF2の膜厚dを求めると、4n・d=0.70λ0
d=0.70×3.5/4n=0.45μm
(ただし、MgF2の屈折率nは1.37とする。)
なお、基板の材料としてはGeの他にSi、ZnSe、ZnSを用いることができる。
〔比較例1〕
実施例1と比較するために下記の比較例(従来例)1を示す。
基板 Ge
第1層 ZnS 光学膜厚 0.40λ0
第2層 Ge 光学膜厚 1.15λ0
第3層 ZeS 光学膜厚 3.06λ0
第4層 MgF2 光学膜厚 3.10λ0
ただし、中心波長λ0=1.0μmである。
ここで、MgF2の膜厚dを求めると、4nd=3.10λ0
d=3.10×1.0/4n=0.57μm
(ただし、MgF2の屈折率nは1.37とする。)
この比較例1のMgF2の膜厚と実施例1のMgF2の膜厚との比を計算すると、0.45/0.57=0.79
となる。
〔実施例2〕
基板 Ge
第1層 Ge 光学膜厚 0.29λ0
第2層 SiO 光学膜厚 0.14λ0
第3層 Ge 光学膜厚 0.71λ0
第4層 SiO 光学膜厚 0.43λ0
第5層 Ge 光学膜厚 0.29λ0
第6層 SiO 光学膜厚 1.00λ0
第7層 MgF2 光学膜厚 1.00λ0
ただし、中心波長λ0=2.45μmである。
d=λ0/4n=445.13nm
なお、光学膜厚として、下記の幅を採用することもできる。
第1層 0.01λ0≦4nd≦10.0λ0
第2層 0.71λ0≦4nd≦1.64λ0
第3層 0.50λ0≦4nd≦1.18λ0
第4層 0.84λ0≦4nd≦1.27λ0
第5層 0.86λ0≦4nd≦0.13λ0
第6層 0.75λ0≦4nd≦1.15λ0
第7層 0.70λ0≦4nd≦1.40λ0
〔比較例2〕
実施例2と比較するために下記の比較例(従来例)2を示す。
基板 Ge
第1層 ZnS 光学膜厚 0.13λ0
第2層 Ge 光学膜厚 0.37λ0
第3層 ZeS 光学膜厚 1.00λ0
第4層 MgF2 光学膜厚 1.00λ0
ただし、中心波長λ0=3.10μmである。
ここで、MgF2の膜厚を求めると、
d=λ0/4n=563.23nm
この実施例2の場合でも、従来に比べて約2割膜厚を減少させることができる。光学特性をグラフにすると図2に示すとおりである。
Claims (2)
- 基板をGeとする赤外反射防止膜において、基板から数えて第1層〜第7層を下記構成にしたことを特徴とする赤外反射防止膜。
基板 Ge
第1層 Ge 光学膜厚 0.20λ0
第2層 SiO 光学膜厚 0.10λ0
第3層 Ge 光学膜厚 0.50λ0
第4層 SiO 光学膜厚 0.30λ0
第5層 Ge 光学膜厚 0.20λ0
第6層 SiO 光学膜厚 0.70λ0
第7層MgF2 光学膜厚 0.70λ0
ただし、光学膜厚は4nλ・dであり、nは屈折率、λは光の波長、dは膜厚、中心波長λ0=3.5μmである。 - 基板をGeとする赤外反射防止膜において、基板から数えて第1層〜第7層を下記構成にしたことを特徴とする赤外反射防止膜。
基板 Ge
第1層 Ge 光学膜厚 0.29λ0
第2層 SiO 光学膜厚 0.14λ0
第3層 Ge 光学膜厚 0.71λ0
第4層 SiO 光学膜厚 0.43λ0
第5層 Ge 光学膜厚 0.29λ0
第6層 SiO 光学膜厚 1.00λ0
第7層MgF2 光学膜厚 1.00λ0
ただし、光学膜厚は4nλ・dであり、nは屈折率、λは光の波長、dは膜厚、中心波長λ0=2.45μmである。
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