JP4761995B2 - 半導体集積回路及びそのテスト方法 - Google Patents
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Description
書き込み及び読み出し対象のメモリセルのアドレスが、不良メモリセルアドレスと一致する場合には、書き込み及び読み出し対象のメモリセルをリダンダンシーメモリセルに置き換えるテスト対象のメモリと、
前記メモリをテストすることによって検出された前記不良メモリセルアドレスを記憶し、前記不良メモリセルアドレスを前記メモリに与える不揮発性記憶素子と、
前記不揮発性記憶素子から、前記不良メモリセルアドレスを読み出す読み出し回路と、
前記読み出し回路によって読み出された前記不良メモリセルアドレスを保持するアドレス保持回路と、
前記アドレス保持回路に保持されている不良メモリセルアドレスに基づいて、前記リダンダンシーメモリセルに置き換えられた前記メモリセルのアドレスを選択的に発生するアドレス発生回路と、
前記アドレス発生回路によって発生されたアドレスに基づいて、置き換えが正しく行われるか否かについての再テストを行うことにより、前記リダンダンシーメモリセルを選択的にテストする制御回路と
を備える。
書き込み及び読み出し対象のメモリセルのアドレスが、不揮発性記憶素子に記憶されている不良メモリセルアドレスと一致する場合には、書き込み及び読み出し対象のメモリセルをリダンダンシーメモリセルに置き換えるテスト対象のメモリに対して、置き換えが正しく行われるか否かについての再テストを行う際に、
前記不揮発性記憶素子から、前記不良メモリセルアドレスを読み出すステップと、
前記読み出された前記不良メモリセルアドレスを保持するステップと、
前記保持されている前記不良メモリセルアドレスに基づいて、前記リダンダンシーメモリセルに置き換えられた前記メモリセルのアドレスを選択的に発生するステップと、
前記発生された前記アドレスに基づいて、置き換えが正しく行われるか否かについての再テストを行うことにより、前記リダンダンシーメモリセルを選択的にテストするステップと
を備える。
図1に、本発明の第1の実施の形態による半導体集積回路10の構成を示し、図2に、本実施の形態によるテスト処理手順RT10を示す。この半導体集積回路10は、例えばSRAMなどからなるテスト対象としてのメモリ20と、不揮発性記憶素子としてのヒューズ30と、BIST(ビルトインセルフテスト)回路40とを有する。
図3に、本発明の第2の実施の形態による半導体集積回路100の構成を示す。なお、図1に示された要素と同一のものには同一の符号を付して説明を省略する。
図4に、本発明の第3の実施の形態による半導体集積回路200の構成を示す。なお、図1に示された要素と同一のものには同一の符号を付して説明を省略する。
20、110、210 メモリ
30 ヒューズ
40、120、220 BIST回路
50 ヒューズ読み出し回路
60 ロウアドレス保持回路
70 アドレス発生回路
80 制御回路
130、230 カラムアドレス保持回路
Claims (5)
- 書き込み及び読み出し対象のメモリセルのアドレスが、不良メモリセルアドレスと一致する場合には、書き込み及び読み出し対象のメモリセルをリダンダンシーメモリセルに置き換えるテスト対象のメモリと、
前記メモリをテストすることによって検出された前記不良メモリセルアドレスを記憶し、前記不良メモリセルアドレスを前記メモリに与える不揮発性記憶素子と、
前記不揮発性記憶素子から、前記不良メモリセルアドレスを読み出す読み出し回路と、
前記読み出し回路によって読み出された前記不良メモリセルアドレスを保持するアドレス保持回路と、
前記アドレス保持回路に保持されている不良メモリセルアドレスに基づいて、前記リダンダンシーメモリセルに置き換えられた前記メモリセルのアドレスを選択的に発生するアドレス発生回路と、
前記アドレス発生回路によって発生されたアドレスに基づいて、置き換えが正しく行われるか否かについての再テストを行うことにより、前記リダンダンシーメモリセルを選択的にテストする制御回路と
を備えることを特徴とする半導体集積回路。 - 前記メモリは、前記リダンダンシーメモリセルがロウ方向に沿って複数配置されたリダンダンシー領域を有し、
前記アドレス発生回路は、ロウアドレスを不良メモリセルロウアドレスに固定した上で、カラムアドレスを発生させることにより、前記リダンダンシーメモリセルに置き換えられた前記メモリセルのアドレスを選択的に発生することを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。 - 前記メモリは、前記リダンダンシーメモリセルがカラム方向に沿って複数配置されたリダンダンシー領域を有し、
前記アドレス発生回路は、カラムアドレスを不良メモリセルカラムアドレスに固定した上で、ロウアドレスを発生させることにより、前記リダンダンシーメモリセルに置き換えられた前記メモリセルのアドレスを選択的に発生することを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。 - 書き込み及び読み出し対象のメモリセルのアドレスが、不揮発性記憶素子に記憶されている不良メモリセルアドレスと一致する場合には、書き込み及び読み出し対象のメモリセルをリダンダンシーメモリセルに置き換えるテスト対象のメモリに対して、置き換えが正しく行われるか否かについての再テストを行う際に、
前記不揮発性記憶素子から、前記不良メモリセルアドレスを読み出すステップと、
前記読み出された前記不良メモリセルアドレスを保持するステップと、
前記保持されている前記不良メモリセルアドレスに基づいて、前記リダンダンシーメモリセルに置き換えられた前記メモリセルのアドレスを選択的に発生するステップと、
前記発生された前記アドレスに基づいて、置き換えが正しく行われるか否かについての再テストを行うことにより、前記リダンダンシーメモリセルを選択的にテストするステップと
を備えることを特徴とする半導体集積回路のテスト方法。 - 前記メモリは、前記リダンダンシーメモリセルがロウ方向に沿って複数配置されたリダンダンシー領域を有し、
前記メモリセルのアドレスを選択的に発生するステップでは、ロウアドレスを不良メモリセルロウアドレスに固定した上で、カラムアドレスを発生させることにより、前記リダンダンシーメモリセルに置き換えられた前記メモリセルのアドレスを選択的に発生することを特徴とする請求項4記載の半導体集積回路のテスト方法。
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