JP4756240B2 - 高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子とその製造方法 - Google Patents
高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子とその製造方法 Download PDFInfo
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Description
上記酸化ケイ素膜にフッ酸水溶液処理を施し、半導体基板上に、酸化ケイ素膜が存在しない領域を形成し、次いで、該領域に隣接して、ナノシリコンを多数含むフッ酸水溶液が残留する領域を形成し、その後、
上記フッ酸水溶液残留領域にブロワー処理を施し、隣接する酸化ケイ素膜が存在しない領域に、多数のナノシリコンを凝集状態で露出せしめる
ことを特徴とする高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
上記酸化ケイ素膜中に、酸化ケイ素膜が存在しない領域を形成し、その後、
上記領域に、粒子サイズ1.5〜2.0nm、2.0〜2.5nm、2.5〜3.5nmの何れかのナノシリコンを多数含むナノシリコンを付着させ、凝集状態で露出せしめる
ことを特徴とする高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
2 ナノシリコン
3 酸化ケイ素膜
4 マスク
5 フッ酸水溶液処理
6 フッ酸水溶液
7 ブロワー処理
8 透明電極
9 アルミニウム電極
10 銀ペースト
11 駆動電圧
12 レジスト
13 露光処理
14 紫外光線
15 現像処理
16 硫酸溶液処理
17 アクリル板
18 樹脂容器
19 純水
20 ヒーター
21 恒温水槽
22 容器
23 エタノール
24 スターラー/超音波洗浄器
25 攪拌処理
26 アルゴンガス導入口
27 排気口
28 真空チャンバー
29 絶縁材料
30 冷却管
31 冷却水
32 基板ホルダー
33 陰極シールド
34 高周波電極
35 高周波コントローラ
36 ターゲット材料
36a シリコンチップ
36b 石英ガラス
Claims (17)
- 粒子サイズ1.5〜2.0nm、2.0〜2.5nm、2.5〜3.5nmの何れかのナノシリコンを多数内包する半導体基板上の酸化ケイ素膜に、フッ酸水溶液処理とブロワー処理を施すことにより、多数のナノシリコンを含んだフッ酸水溶液をナノシリコンと酸化ケイ素膜の存在しない領域に移動させて、凝集状態で露出して形成され、かつ、室温で、低い駆動電圧にて、青色、緑色、赤色の何れかを高輝度で発光することを特徴とする高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子。
- 前記ナノシリコンが、高周波スパッタリング法で作製したアモルファス酸化ケイ素膜に熱処理を施して形成されたナノシリコンであることを特徴とする請求項1に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子。
- 前記熱処理の温度は900〜1200℃で、かつ、同時間は15〜100分であることを特徴とする請求項2に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子。
- 半導体基板上に形成された酸化ケイ素膜が存在しない領域に、粒子サイズ1.5〜2.0nm、2.0〜2.5nm、2.5〜3.5nmの何れかのナノシリコンを多数含んで形成され、かつ、室温で、低い駆動電圧にて、赤色、緑色、青色の何れかを高輝度で発光することを特徴とする高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子。
- 前記ナノシリコンが、高周波スパッタリング法で作製したアモルファス酸化ケイ素膜に熱処理を施し、その後、フッ酸水溶液処理、攪拌処理を施して形成されたナノシリコンであることを特徴とする請求項4に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子。
- 半導体基板上に、粒子サイズ1.5〜2.0nm、2.0〜2.5nm、2.5〜3.5nmの何れかのナノシリコンを多数内包する酸化ケイ素膜を形成し、
上記酸化ケイ素膜にフッ酸水溶液処理を施し、半導体基板上に、酸化ケイ素膜が存在しない領域を形成し、次いで、該領域に隣接して、ナノシリコンを多数含むフッ酸水溶液が残留する領域を形成し、その後、
上記フッ酸水溶液残留領域にブロワー処理を施し、隣接する酸化ケイ素膜が存在しない領域に、多数のナノシリコンを凝集状態で露出せしめる
ことを特徴とする高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。 - 前記ナノシリコンが、高周波スパッタリング法で作製したアモルファス酸化ケイ素膜に熱処理を施して形成したナノシリコンであることを特徴とする請求項6に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
- 前記熱処理の温度は900〜1200℃で、かつ、同時間は15〜100分であることを特徴とする請求項7に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
- 前記フッ酸水溶液処理において、濃度1〜10%のフッ酸水溶液を用い、60〜180分処理し、半導体基板上に、前記酸化ケイ素膜が存在しない領域を形成することを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
- 前記フッ酸水溶液処理において、濃度1〜10%のフッ酸水溶液を用い、10〜60分処理し、前記ナノシリコンを多数含むフッ酸水溶液が残留する領域を形成することを特徴とする請求項6〜9のいずれか1項に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
- 半導体基板を熱処理し、該基板上に酸化ケイ素膜を形成し、次いで、
上記酸化ケイ素膜中に、酸化ケイ素膜が存在しない領域を形成し、その後、
上記領域に、粒子サイズ1.5〜2.0nm、2.0〜2.5nm、2.5〜3.5nmの何れかのナノシリコンを多数含むナノシリコンを付着させ、凝集状態で露出せしめる
ことを特徴とする高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。 - 前記熱処理の温度が1000〜1200℃であることを特徴とする請求項11に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
- 前記酸化ケイ素膜が存在しない領域を、フォトリソグラフィで酸化ケイ素膜上にパターン被膜を形成し、露出している酸化ケイ素膜をフッ酸水溶液処理して形成することを特徴とする請求項11又は12に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
- 前記領域に、粒子サイズ1.5〜2.0nm、2.0〜2.5nm、2.5〜3.5nmの何れかのナノシリコンを多数含むナノシリコンを含有する溶液を塗布し、所定粒子径条のナノシリコンを凝集状態で露出せしめることを特徴とする請求項11〜13のいずれか1項に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
- 前記ナノシリコン粒子が、高周波スパッタリング法で作製したアモルファス酸化ケイ素膜に熱処理を施し、次いで、フッ酸水溶液処理を施し、その後、溶液中で攪拌処理を施して形成されたナノシリコンであることを特徴とする請求項11〜14のいずれか1項に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
- 前記フッ酸水溶液処理を、濃度1〜50%のフッ酸水溶液を用い、10〜70℃で、10〜600秒行うことを特徴とする請求項15に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
- 前記攪拌処理を10〜600秒行うことを特徴とする請求項15又は16に記載の高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子の製造方法。
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