JP4754032B2 - ダイヤモンド放射線検出器 - Google Patents
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Description
米国特許第5,216,249号明細書は、化学蒸着により堆積した多結晶性ダイヤモンド材の層を有する中性子検出器であって、該ダイヤモンド材が、該検出器の中性子検出特性を最適化するのに十分な量の、ドーパントとしての10Bを含有する上記中性子検出器を開示する。
放射線検出器は、ホウ素ドープトダイヤモンド基体の表面にエピタキシャル成長によって生成されるダイヤモンドの外被層を有する。外被層のダイヤモンドは、基体の粒径と同等の粒径を有する。
被覆ダイヤモンド層はまた、該基体の結晶の特徴の幾つかを保持することがあり、従って、例えば、非ダイヤモンド基体の上に成長した同じ厚さの層よりも大きい粒径を有していることがある。
使用中、放射線検出器は典型的には、外被層に加わる第1の電気接点、及び、基体に加わるか又は基体と電気接触している第2の電気接点を有する。
使用中、検出すべき放射線は、薄くて高品質の層12に衝突する。e-h対が生じ、外部バイアス電圧の作用下で、これらは分離する。外部回路に電流が誘導され、電流又は電荷の測定装置によって測定される。電流/電荷の大きさによって、放射線の強度が測定される。
本発明は、次の実施例によって更に説明する。
(1)ホウ素ドープトダイヤモンド基体の表面上に成長したダイヤモンドの外被層を有する放射線検出器。
(2)γ線、X線、紫外線、α粒子及びβ粒子から選ばれる放射線を検出するのに使用するための放射線検出器。
(3)ホウ素ドープトダイヤモンドが、実質的に多結晶質体又は単結晶である、(1)又は(2)に記載の放射線検出器。
(4)ホウ素ドープトダイヤモンドが、CVDダイヤモンドである、(1)〜(3)のいずれか1項に記載の放射線検出器。
(5)ホウ素ドープトダイヤモンドのホウ素含有量が、1cm3当りのホウ素原子が1017〜1021個の範囲にある、(1)〜(4)のいずれか1項に記載の放射線検出器。
(6)外被層のダイヤモンドが、基体の粒径と同等の粒径を有する、(1)〜(5)のいずれか1項に記載の放射線検出器。
(7)基体のホウ素ドープトダイヤモンドが20〜50μmの粒径を有し、外被層のダイヤモンドが20〜50μmの粒径を有する、(1)〜(6)のいずれか1項に記載の放射線検出器。
(8)ホウ素ドープトダイヤモンド基体が、0.1〜2mmの厚さを有する、(1)〜(7)のいずれか1項に記載の放射線検出器。
(9)ダイヤモンド外被層の厚さが、1μm〜500μmである、(1)〜(8)のいずれか1項に記載の放射線検出器。
(10)ダイヤモンド外被層の厚さが、3μm〜50μmである、(1)〜(9)のいずれか1項に記載の放射線検出器。
(11)被覆層のダイヤモンドがCVDによって成長したものである、(1)〜(10)のいずれか1項に記載の放射線検出器。
(12)CVDダイヤモンドの外被層が、研磨済み面の上に成長したものである、(11)に記載の放射線検出器。
(13)研磨済み面が、30nm未満のRAを有する、(12)に記載の放射線検出器。
(14)(1)〜(13)のいずれか1項に記載のダイヤモンド検出器を与える工程と、外被層の表面を放射線にさらす工程とを含む、放射線を検出するか又は測定する方法。
(15)添付図面を参照して本明細書に実質的に記述されている放射線検出器。
(16)添付図面を参照して本明細書に実質的に記述されている、放射線を検出するか又は測定する方法。
Claims (11)
- 放射線検出器の製造方法において、該製造方法が、
単結晶のホウ素ドープトダイヤモンドからなる基体を準備する段階と、
前記基体の表面に、高純度の単結晶ダイヤモンドからなる層をエピタキシャル成長させる段階とを含む、放射線検出器の製造方法。 - 前記ホウ素ドープトダイヤモンドからなる基体をCVDにより作製する段階を含む、請求項1に記載された放射線検出器の製造方法。
- 前記ホウ素ドープトダイヤモンドからなる基体のホウ素含有量は、1cm3当りのホウ素原子が1017〜1021個の範囲にある、請求項1または請求項2に記載された放射線検出器の製造方法。
- 前記ホウ素ドープトダイヤモンドからなる基体が、0.1〜2mmの厚さを有する、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載された放射線検出器の製造方法。
- 前記ホウ素ドープトダイヤモンドからなる基体の表面に成長させられた前記高純度の単結晶ダイヤモンドからなる層の厚さが、1μm〜500μmである、請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載された放射線検出器の製造方法。
- 前記ホウ素ドープトダイヤモンドからなる基体の表面に成長させられた前記高純度の単結晶ダイヤモンドからなる層の厚さが、3μm〜50μmである、請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載された放射線検出器の製造方法。
- 前記ホウ素ドープトダイヤモンドからなる基体の表面に成長させられた前記高純度の単結晶ダイヤモンドからなる層が、CVDにより成長させられる、請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載された放射線検出器の製造方法。
- 前記高純度の単結晶ダイヤモンドからなる層が成長させられるべき前記ホウ素ドープトダイヤモンドからなる基体の表面を研磨する段階を含む、請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載された放射線検出器の製造方法。
- 前記ホウ素ドープトダイヤモンドからなる基体の表面を30nm未満の表面粗さRaに研磨する、請求項8に記載された放射線検出器の製造方法。
- 放射線を検出又は測定する方法において、該方法が、
請求項1から請求項9までのいずれか1項に記載された放射線検出器の製造方法により製造された放射線検出器を準備する段階と、
前記高純度の単結晶ダイヤモンドからなる層の表面を放射線にさらす段階とを含む、放射線を検出又は測定する方法。 - 検出又は測定される放射線が、ガンマ線、X線、紫外線、アルファ線、およびベータ線から選択される、請求項10に記載された放射線を検出又は測定する方法。
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