JP4752448B2 - 光導波路用ヒータ回路、光導波路デバイス - Google Patents
光導波路用ヒータ回路、光導波路デバイス Download PDFInfo
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Description
V1=(R11+Rh+R12)×I1+Rc×(I1+I2) (式1−1)
V2=(R21+Rh+R22)×I2+Rc×(I1+I2) (式1−2)
となる。ここで、各チャンネルの給電回路の抵抗値は等しく調整されており、R*=R11+Rh+R12+Rc=R21+Rh+R22+Rcとし、式1−1及び式1−2を電流I1,I2それぞれについて解くと、
I1=(R*×V1−Rc×V2)/(R*2−Rc2) (式2−1)
I2=(R*×V2−Rc×V1)/(R*2−Rc2) (式2−2)
となる。この式2−1及び式2−2のように、各ヒータ部3に流れる電流は、当該チャンネルに印加される電圧のみならず、他のチャンネルのヒータ部3に印加される電圧に依存して変化する。すなわち、チャンネル1のヒータ部3に印加する電圧を一定に維持していても、チャンネル2のヒータ部3に印加する電圧が変化すれば、チャンネル1のヒータ部3に流れる電流が変化してしまい、発熱量が変化してしまう。また、式2−1及び式2−2から、それぞれのチャンネルのヒータ部3に流れる電流値は、共通回路部の抵抗値Rcにも依存している。
I1=I2=V1/(R*+Rc)=V2/(R*+Rc) (式3)
となる。したがって、この場合も、電流値I1、I2は、共通回路部の抵抗値Rcに影響を受けることになる。
V1=(R11+Rh+R12)×I1+Rc×I1=R*×I1
となり、すなわち、I1は、
I1=V1/R*
となる。
L1>L2>L3>L4
という関係となる。このため、配線部6aの厚みをt1、配線部6bの厚みをt2、配線部6cの厚みをt3、配線部6dの厚みをt4とすると、
L1/t1=L2/t2=L3/t3=L4/t4=一定
とすることにより、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にできる。すなわち、配線長が長いほど、配線厚さを厚くする。
L1/Wa=L2/Wb=L3/Wc=L4/Wd=一定
とすることにより、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にできる。すなわち、配線長が長いほど、配線幅を広くする。
2 光導波路
3 ヒータ部
4 給電パッド
5 共通給電パッド
6,7 配線部
Claims (5)
- 複数の光導波路が形成されたデバイスに設けられ、当該各光導波路を加熱して屈折率を制御する光導波路用ヒータ回路において、
前記各光導波路に対応して前記デバイスに形成された複数の給電パッドと、
前記複数の光導波路で共通して前記デバイスに形成された共通給電パッドと、
前記各給電パッドと前記共通給電パッドとを接続する配線であって、それぞれが同一の抵抗値を有する複数の給電回路と、
前記各給電回路の配線に設けられ、前記各給電パッドと前記共通給電パッドとの間に電圧が印加されて発熱する複数のヒータ部とを備え、
前記共通給電パッドから光導波路数分の配線を引き出して前記各給電回路を構成し、前記各給電パッドと前記共通給電パッドとを接続する配線のうち、前記各給電パッドから前記各ヒータに接続された配線と前記共通給電パッドから引き出されて前記各ヒータ部に接続された配線とからなる各配線の各抵抗値を同一としたこと
を特徴とする光導波路用ヒータ回路。 - 前記各給電回路は、それぞれの配線長が等しく構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光導波路用ヒータ回路。
- 前記各給電回路は、それぞれの配線幅が等しく構成されており、配線長が長いほど配線厚さを厚くしたことを特徴とする請求項1に記載の光導波路用ヒータ回路。
- 前記各給電回路は、それぞれの配線厚さが等しく構成されており、配線長が長いほど配線幅を広くしたことを特徴とする請求項1に記載の光導波路用ヒータ回路。
- 複数の光導波路が形成され、当該各光導波路が加熱されて屈折率が制御される光導波路デバイスにおいて、
前記各光導波路に対応して形成された複数の給電パッドと、
前記複数の光導波路で共通して形成された共通給電パッドと、
前記各給電パッドと共通給電パッドとを接続する配線であって、それぞれが同一の抵抗値を有する複数の給電回路と、
前記各給電回路の配線に設けられ、前記各給電パッドと前記共通給電パッドとの間に電圧が印加されて発熱する複数のヒータ部とが、前記複数の光導波路が内部に形成されたチップに形成され、
前記共通給電パッドから光導波路数分の配線を引き出して前記各給電回路を構成し、前記各給電パッドと前記共通給電パッドとを接続する配線のうち、前記各給電パッドから前記各ヒータに接続された配線と前記共通給電パッドから引き出されて前記各ヒータ部に接続された配線とからなる各配線の各抵抗値を同一としたこと
を特徴とする光導波路デバイス。
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JP2005307648A JP4752448B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 光導波路用ヒータ回路、光導波路デバイス |
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JP2005307648A JP4752448B2 (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | 光導波路用ヒータ回路、光導波路デバイス |
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JP2007114612A JP2007114612A (ja) | 2007-05-10 |
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- 2005-10-21 JP JP2005307648A patent/JP4752448B2/ja not_active Expired - Fee Related
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