JP4750844B2 - 情報記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
(i)Ti、Zr、Hf、Y、Cr、Zn、Ga、Co、Bi、In、TaおよびCeから選ばれる少なくとも1つの元素Mと、Nbと、酸素(O)とを含み、かつ、Nbの含有割合が2.9原子%以上である第1のスパッタリングターゲットを用いて、透過率調整層を成膜する透過率調整層成膜工程と、
(ii)反射層を成膜する反射層成膜工程と、
(iii)レーザビームの照射によって相変化を起こしうる記録層を成膜する記録層成膜工程と、を含んでおり、前記工程(i)〜(iii)が、工程(i)、工程(ii)、工程(iii)の順または工程(iii)、工程(ii)、工程(i)の順で行われる。
実施の形態1では、本発明の情報記録媒体の一例を説明する。実施の形態1における情報記録媒体の部分断面図を図1に示す。本実施の形態の情報記録媒体2は、対物レンズ5によって集光されたレーザビーム4が照射されることにより情報の記録再生が可能な光学的情報記録媒体である。
ただし、上記式(1)において、xおよびyは、x≧8.6、y>0、x+y≦37を満たす。より確実な効果を得るために、xがx≧9やx≧15を満たすような材料を用いてもよい。
ただし、上記式(2)において、M−Oは元素Mの酸化物を表しており、zはz≧30を満たす。
実施の形態2では、本発明の情報記録媒体の別の例を説明する。実施の形態2における情報記録媒体の部分断面図を図5に示す。本実施の形態の情報記録媒体8は、実施の形態1で説明した情報記録媒体2と同様に、対物レンズ5で集光されたレーザビーム4が照射されることによって情報の記録再生が可能な光学的情報記録媒体である。
(I)第1の基板上に、第N情報層〜第m情報層(mは、2≦m≦Nを満たす整数)をこの順に製造する工程と、
(II)第2の基板上に、第1情報層〜第m−1情報層をこの順に製造する工程と、
(III)第m情報層と第m−1情報層とを互いに貼り合わせる工程と、
を含んでおり、Lがm≦L≦Nを満たす場合は、前記工程(I)が、第L情報層を製造する工程における前記工程(i)〜(iii)を、工程(iii)、工程(ii)、工程(i)の順で含んでおり、Lが2≦L≦m−1を満たす場合は、前記工程(II)が、第L情報層を製造する工程における前記工程(i)〜(iii)を、工程(i)、工程(ii)、工程(iii)の順で含んでいる方法である場合の具体例である。詳しくは、第2情報層13が第m情報層に相当し、第1情報層11が第m−1情報層に相当する場合の例である。なお、上記に示したように、工程(i)とは、本発明の製造方法における透過率調整層成膜工程であり、工程(ii)とは反射層成膜工程であり、工程(iii)とは記録層成膜工程である。
実施の形態3では、本発明の情報記録媒体の別の例を説明する。実施の形態3における情報記録媒体の部分断面図を図9に示す。本実施の形態の情報記録媒体15は、実施の形態1で説明した情報記録媒体2と同様に、対物レンズ5で集光されたレーザビーム4が照射されることによって情報の記録再生が可能な光学的情報記録媒体である。
実施の形態4では、実施の形態1、2および3で説明した情報記録媒体に対して情報の記録再生を行う方法の一例について説明する。
実施例1では、Nb2O5またはTiO2からなるスパッタリングターゲットについて、それぞれ、成膜の効率および安定性について調べた。表1に、Nb2O5またはTiO2からなる直径200mmのスパッタリングターゲットを用いてスパッタリングした際の成膜レートを、基板のアニール工程の有無で分けて示す。
実施例2では、図2に示した情報記録媒体2と同様の構成の情報記録媒体について、高温度高湿度の条件下における腐食を調べた。
実施例3では、実施例2と同様に、図2に示した情報記録媒体2と同様の構成の情報記録媒体の高温度高湿度の条件下における腐食を調べた。情報記録媒体の製造方法は実施例2と同様である。ただし、実施例3では透過率調整層131を、Nb2O5、Bi2O3またはNb2O5とBi2O3との混合物であり、組成が(Nb2O5)z(Bi2O3)100-z(mol%)(ただし、z=0、2、5、10、20、30、40、50、60、70、80、90、95、98、100)と表される直径200mmのスパッタリングターゲットを用いて成膜した。
実施例4では、本発明の情報記録媒体における透過率調整層をスパッタリングによって成膜する際に用いられる材料について、それぞれ成膜効率および安定性を調べた。実施例4で調べたのは、Nb2O5と元素Mの酸化物(Ti、Zr、Hf、Y、Cr、Zn、Ga、Co、Bi、In、TaおよびCeの酸化物(M−O))との混合物(ただし、モル比はすべて50%:50%であり、(Nb2O5)50(M−O)50と表される)からなる直径200mmのスパッタリングターゲットの成膜レートである。成膜レートの測定方法は実施例1と同様である。
実施例5では、本発明の情報記録媒体における透過率調整層をスパッタリングによって成膜する際に用いられる材料について、成膜効率および安定性を調べた。実施例5で調べたのは、Nb2O5、Ta2O5またはNb2O5とTa2O5との混合物であり、組成が(Nb2O5)z(Ta2O5)100-z(mol%)(ただし、z=0、10、20、30、40、50、60、70、80、90、100)と表される直径200mmのスパッタリングターゲットの成膜レートである。成膜レートの測定方法は実施例1と同様である。
実施例6では、本発明の情報記録媒体における透過率調整層をスパッタリングによって成膜する際に用いられる材料について、それぞれ成膜効率および安定性を調べた。実施例6で調べたのはNb2O5とTiO2とからなる混合物、または、Nb2O5、TiO2およびLaF3とからなる混合物であり、組成が[(Nb2O5)80(TiO2)20]100-a(LaF3)a(mol%)(ただし、a=0、5、10、15、20)と表される直径200mmのスパッタリングターゲットの成膜レートである。成膜レートの測定方法は実施例1と同様である。
実施例7では、図2に示した情報記録媒体2のうち第1情報層11と分離層12を有せず、基板1上に第2情報層13と透明層3のみを形成したサンプルを製造し、透過率調整層131の屈折率nt、消衰係数ktおよび厚さdと、第2情報層13の透過率Tc,Taとの関係を調べた。
実施例8では、図3に示した情報記録媒体6の高温度高湿度の条件下における腐食を調べた。情報記録媒体6は4個の情報層を備えている。
実施例9では、図4に示した情報記録媒体7について、高温度高湿度の条件下における腐食を調べた。図4に示す情報記録媒体7はN個の情報層を備えているが、本実施例ではN=6の場合として、6個の情報層を備えた情報記録媒体を作製した。
実施例10では、図2に示した情報記録媒体2と同様の構成の情報記録媒体を作製し、第2情報層13の透過率調整層131の成膜前に行うアニール工程の実施時間と、第2情報層13の透過性能との関係を調べた。具体的には、透過率調整層131の組成がTiO2である情報記録媒体と(Nb2O5)50(Bi2O3)50(mol%)である情報記録媒体とについて、それぞれ、透過率調整層131の成膜前にアニール工程を実施したものと実施しないものを作製し、すべての情報記録媒体について第2情報層13の透過性能を確認した。アニール工程の時間は2時間、5時間、10時間および24時間とした。第2情報層13の透過性能は、第1情報層11の反射率および記録感度を調べることで確認した。第1情報層11の記録および再生は、第2情報層13を透過したレーザビームによって行われるため、第1情報層の反射率および記録感度は第2情報層13の透過性能によって変化するからである。
Claims (1)
- 基板上にN個の情報層(Nは2以上の整数)が設けられており、レーザビームが照射されることによって前記各情報層に対して情報の記録および再生が行われる情報記録媒体であって、
前記N個の情報層を、レーザビーム入射側と反対側から順に第1情報層〜第N情報層とした場合、前記N個の情報層に含まれる第L情報層(Lは、2≦L≦Nを満たす整数)は、少なくとも、レーザビームの照射によって相変化を起こしうる記録層と、反射層と、透過率調整層とを、レーザビーム入射側からこの順で含んでおり、
前記透過率調整層が、Zr、Hf、Y、Cr、Zn、Ga、Co、In、TaおよびCeから選ばれる少なくとも1つの元素Mと、Nbと、酸素(O)とを含み、かつ、前記透過率調整層におけるNbの含有割合が2.9原子%以上26.5原子%以下である、情報記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008510819A JP4750844B2 (ja) | 2006-03-31 | 2007-03-20 | 情報記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006098816 | 2006-03-31 | ||
JP2006098816 | 2006-03-31 | ||
PCT/JP2007/055597 WO2007119439A1 (ja) | 2006-03-31 | 2007-03-20 | 情報記録媒体およびその製造方法 |
JP2008510819A JP4750844B2 (ja) | 2006-03-31 | 2007-03-20 | 情報記録媒体およびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011014762A Division JP5058346B2 (ja) | 2006-03-31 | 2011-01-27 | 情報記録媒体およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007119439A1 JPWO2007119439A1 (ja) | 2009-08-27 |
JP4750844B2 true JP4750844B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=38609227
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008510819A Expired - Fee Related JP4750844B2 (ja) | 2006-03-31 | 2007-03-20 | 情報記録媒体およびその製造方法 |
JP2011014762A Expired - Fee Related JP5058346B2 (ja) | 2006-03-31 | 2011-01-27 | 情報記録媒体およびその製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011014762A Expired - Fee Related JP5058346B2 (ja) | 2006-03-31 | 2011-01-27 | 情報記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8088464B2 (ja) |
JP (2) | JP4750844B2 (ja) |
CN (1) | CN101496104B (ja) |
TW (1) | TW200805356A (ja) |
WO (1) | WO2007119439A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006112165A1 (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 光学的情報記録媒体とその製造方法 |
US8158233B2 (en) | 2008-01-31 | 2012-04-17 | Panasonic Corporation | Optical information recording medium, method of manufacturing the same, and sputtering target |
JP5386374B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2014-01-15 | パナソニック株式会社 | 光学的情報記録媒体及びその製造方法 |
WO2010110412A1 (ja) * | 2009-03-27 | 2010-09-30 | 日鉱金属株式会社 | Ti-Nb系酸化物焼結体スパッタリングターゲット、Ti-Nb系酸化物薄膜及び同薄膜の製造方法 |
WO2011024381A1 (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | パナソニック株式会社 | 情報記録媒体とその製造方法 |
JP5441586B2 (ja) * | 2009-09-25 | 2014-03-12 | Tdk株式会社 | 光記録媒体、光記録媒体の製造方法 |
JP7209228B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2023-01-20 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 情報記録媒体およびその製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11316981A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-16 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光学情報記録媒体の製造方法 |
JP2003013201A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-15 | Kyocera Corp | 酸化チタン系薄膜及びこれを用いた光記録媒体 |
WO2003025922A1 (fr) * | 2001-09-12 | 2003-03-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Support optique d'enregistrement d'informations |
WO2004025640A1 (ja) * | 2002-09-13 | 2004-03-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 情報記録媒体とその製造方法 |
WO2004055800A1 (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 光学的情報記録媒体およびその製造方法 |
JP2006045666A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-02-16 | Pioneer Electronic Corp | 薄膜形成用スパッタリングターゲット、誘電体薄膜、光ディスク及びその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0325922A (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-04 | Nec Kyushu Ltd | 半導体製造装置 |
JP4141993B2 (ja) * | 2003-08-07 | 2008-08-27 | 松下電器産業株式会社 | 光学的情報記録媒体 |
US7858290B2 (en) * | 2003-10-02 | 2010-12-28 | Panasonic Corporation | Information recording medium and method for manufacturing the same |
JP4442543B2 (ja) * | 2005-10-13 | 2010-03-31 | 日本電気株式会社 | 光学的情報記録媒体 |
-
2007
- 2007-03-20 WO PCT/JP2007/055597 patent/WO2007119439A1/ja active Application Filing
- 2007-03-20 CN CN200780012407.4A patent/CN101496104B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-20 JP JP2008510819A patent/JP4750844B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-20 US US12/295,083 patent/US8088464B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-21 TW TW096109682A patent/TW200805356A/zh unknown
-
2011
- 2011-01-27 JP JP2011014762A patent/JP5058346B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11316981A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-16 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光学情報記録媒体の製造方法 |
JP2003013201A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-15 | Kyocera Corp | 酸化チタン系薄膜及びこれを用いた光記録媒体 |
WO2003025922A1 (fr) * | 2001-09-12 | 2003-03-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Support optique d'enregistrement d'informations |
WO2004025640A1 (ja) * | 2002-09-13 | 2004-03-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 情報記録媒体とその製造方法 |
WO2004055800A1 (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 光学的情報記録媒体およびその製造方法 |
JP2006045666A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-02-16 | Pioneer Electronic Corp | 薄膜形成用スパッタリングターゲット、誘電体薄膜、光ディスク及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011081909A (ja) | 2011-04-21 |
JPWO2007119439A1 (ja) | 2009-08-27 |
WO2007119439A1 (ja) | 2007-10-25 |
TW200805356A (en) | 2008-01-16 |
CN101496104A (zh) | 2009-07-29 |
CN101496104B (zh) | 2010-12-01 |
US20090086608A1 (en) | 2009-04-02 |
US8088464B2 (en) | 2012-01-03 |
JP5058346B2 (ja) | 2012-10-24 |
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