JP4750183B2 - マイクロリソグラフィー投影光学系 - Google Patents
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- G03F7/70116—Off-axis setting using a programmable means, e.g. liquid crystal display [LCD], digital micromirror device [DMD] or pupil facets
Description
本出願は、米国特許商標局に2005年5月3日出願の米国仮出願第60/677,276号に基づく優先権を主張する。米国仮出願第60/677,276号の内容は、参照により本明細書に全体が包含される。
ここで、k1はリソグラフィー処理の固有のパラメータであり、λは、入射光の波長であり、NAは光学系の像側開口数である。
―第1の鏡は凹面を有し、第2の鏡は平面を有する、又は、
―第1の鏡は平面を有し、第2の面は凹面を有する、又は、
―第1の鏡と第2の面は両方とも凹面を有する。
Object:物体
Mirror1:鏡S1
Stop:絞り
Mirror2:鏡S2
Mirror3:鏡S3
Mirror4:鏡S4
Mirror5:鏡S5
Mirror6:鏡S6
Mirror7:鏡S7
Mirror8:鏡S8
Radius:個別の鏡面の曲率半径
Image:像面
表2
Object:物体
Mirror1:鏡S1
Stop:絞り
Mirror2:鏡S2
Mirror3:鏡S3
Mirror4:鏡S4
Mirror5:鏡S5
Mirror6:鏡S6
Mirror7:鏡S7
Mirror8:鏡S8
Radius:個別の鏡面の曲率半径個別の鏡面の曲率半径
Image:像面
表3
Surface:面
Object:物体
Mirror1:鏡S1
Stop:絞り
Mirror2:鏡S2
Mirror3:鏡S3
Mirror4:鏡S4
Mirror5:鏡S5
Mirror6:鏡S6
Mirror7:鏡S7
Mirror8:鏡S8
Radius:個別の鏡面の曲率半径
Image:像面
表4
Claims (10)
- 物体面から像面への光路に配置された第1の鏡(S1)、第2の鏡(S2)、第3の鏡(S3)、第4の鏡(S4)、第5の鏡(S5)、第6の鏡(S6)、第7の鏡(S7)、第8の鏡(S8)を有する、前記物体面の物体を前記像面の像に投影するマイクロリソグラフィー投影光学系であって、
前記投影光学系は遮光されない射出瞳を有し、
前記第1の鏡(S1)、前記第2の鏡(S2)、前記第3の鏡(S3)、前記第4の鏡(S4)、前記第5の鏡(S5)、前記第6の鏡(S6)、前記第7の鏡(S7)、前記第8の鏡(S8)は各々、第1のボリュームクレーム(B1)、第2のボリュームクレーム(B2)、第3のボリュームクレーム(B3)、第4のボリュームクレーム(B4)、第5のボリュームクレーム(B5)、第6のボリュームクレーム(B6)、第7のボリュームクレーム(B7)、第8のボリュームクレーム(B8)を有し、
前記ボリュームクレームの全てが前記投影光学系の対称軸(12)と平行な方向に、前記投影光学系の他の鏡の何れのボリュームクレームとも交差しないで拡張可能であり、
前記第1のボリュームクレーム(B1)、前記第2のボリュームクレーム(B2)、前記第3のボリュームクレーム(B3)、前記第4のボリュームクレーム(B4)、前記第5のボリュームクレーム(B5)、前記第6のボリュームクレーム(B6)が前記投影光学系の対称軸(12)と平行な方向に、前記物体面から前記像面へ前記投影光学系を伝播する光の光路と交差しないで拡張可能であり、
前記物体面から前記像面への前記光路の前記第1の鏡(S1)が第1の半径(R1)を有し、前記物体面から前記像面への前記光路の前記第2の鏡(S2)が第2の半径(R2)を有し、前記第1の半径(R1)の前記第2の半径(R2)に対する比率の範囲が、
−6<R1/R2<−1/6
である、マイクロリソグラフィー投影光学系。 - 少なくとも前記第1の鏡又は少なくとも前記第2の鏡が平面鏡である、請求項1に記載のマイクロリソグラフィー投影光学系。
- 少なくとも前記第1の鏡(S1)が凹面鏡であり、前記第2の鏡(S2)が平面鏡であるか、又は、前記第1の鏡(S1)が平面鏡であり、少なくとも前記第2の鏡(S2)が凹面鏡である、請求項1に記載のマイクロリソグラフィー投影光学系。
- 像側開口数NAが0.3以上、好ましくは0.35以上、より好ましくは0.4以上、より好ましくは0.45以上、最も好ましくは0.5以上である、請求項1から請求項3迄の何れか1項に記載のマイクロリソグラフィー投影光学系。
- 前記投影光学系の少なくとも前記第1の鏡(S1)、前記第2の鏡(S2)、前記第3の鏡(S3)、前記第4の鏡(S4)、前記第5の鏡(S5)、前記第6の鏡(S6)は、光軸(HA)を中心として配置され、
前記第1の鏡(S1)、前記第2の鏡(S2)、前記第3の鏡(S3)、前記第4の鏡(S4)、前記第5の鏡(S5)、前記第6の鏡(S6)の各々が、前記投影光学系を介して光路(10000)内を導かれる光束が入射する使用領域を有し、
前記第1の鏡(S1)、前記第2の鏡(S2)、前記第3の鏡(S3)、前記第4の鏡(S4)、前記第5の鏡(S5)、前記第6の鏡(S6)は各々、それぞれの鏡の使用領域の中心点(AUF)から光軸(HA)に平行に測定した、深度(T)を持つ前記第1のボリュームクレーム(B1)、前記第2のボリュームクレーム(B2)、前記第3のボリュームクレーム(B3)、前記第4のボリュームクレーム(B4)、前記第5のボリュームクレーム(B5)、前記第6のボリュームクレーム(B6)を有し、
前記深度(T)が前記鏡の直径の値の1/3より大きく、異なる鏡のボリュームクレームは相互に重ならない、請求項1から請求項4迄の何れか1項に記載のマイクロリソグラフィー投影光学系。 - 前記第7の鏡(S7)は、前記光軸(HA)を中心として配置され、前記第7の鏡(S7)は、それぞれの鏡の使用領域の中心点(AUF)から光軸(HA)に平行に測定した、深度(T)を持つ前記第7のボリュームクレーム(B7)を有し、前記深度(T)が前記第7の鏡(S7)の直径の値の1/3より大きい、請求項5に記載のマイクロリソグラフィー投影光学系。
- 前記第8の鏡(S8)は、前記光軸(HA)を中心として配置され、前記第8の鏡(S8)は、それぞれの鏡の使用領域の中心点(AUF)から光軸(HA)に平行に測定した、深度(T)を持つ前記第8のボリュームクレーム(B8)を有し、前記深度(T)が前記第8の鏡(S8)の直径の値の1/3より大きい、請求項5又は請求項6に記載のマイクロリソグラフィー投影光学系。
- 前記投影光学系の少なくとも前記第1の鏡(S1)、前記第2の鏡(S2)、前記第3の鏡(S3)、前記第4の鏡(S4)、前記第5の鏡(S5)、前記第6の鏡(S6)は、光軸(HA)を中心として配置され、
前記第1の鏡(S1)、前記第2の鏡(S2)、前記第3の鏡(S3)、前記第4の鏡(S4)、前記第5の鏡(S5)、前記第6の鏡(S6)の各々が、前記投影光学系を介して光路(10000)内を導かれる光束が入射する使用領域を有し、
前記第1の鏡(S1)、前記第2の鏡(S2)、前記第3の鏡(S3)、前記第4の鏡(S4)、前記第5の鏡(S5)、前記第6の鏡(S6)は各々、それぞれの鏡の使用領域の中心点(AUF)から光軸(HA)に平行に測定した、深度(T)を持つ前記第1のボリュームクレーム(B1)、前記第2のボリュームクレーム(B2)、前記第3のボリュームクレーム(B3)、前記第4のボリュームクレーム(B4)、前記第5のボリュームクレーム(B5)、前記第6のボリュームクレーム(B6)を有し、
前記深度(T)が50mmを上回る、請求項1から請求項4迄の何れか1項に記載のマイクロリソグラフィー投影光学系。 - 前記第7の鏡(S7)は、前記光軸(HA)を中心として配置され、前記第7の鏡(S7)は、使用領域の中心点(AUF)から光軸に平行に測定した、深度(T)を持つ前記第7のボリュームクレーム(B7)を有し、前記深度(T)が50mmを上回る、請求項8に記載のマイクロリソグラフィー投影光学系。
- 前記第8の鏡(S8)は、前記光軸(HA)を中心として配置され、前記第8の鏡(S8)は、使用領域の中心点(AUF)から光軸(HA)に平行に測定した、深度(T)を持つ前記第8のボリュームクレーム(B8)を有し、前記深度(T)が50mmを上回る、請求項8又は請求項9に記載のマイクロリソグラフィー投影光学系。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US67727605P | 2005-05-03 | 2005-05-03 | |
US60/677,276 | 2005-05-03 | ||
PCT/EP2006/003900 WO2006117122A1 (en) | 2005-05-03 | 2006-04-27 | Microlithography exposure apparatus using polarized light and microlithography projection system having concave primary and secondary mirrors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008541418A JP2008541418A (ja) | 2008-11-20 |
JP4750183B2 true JP4750183B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=36694100
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008509335A Expired - Fee Related JP4750183B2 (ja) | 2005-05-03 | 2006-04-27 | マイクロリソグラフィー投影光学系 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090213345A1 (ja) |
EP (1) | EP1877868A1 (ja) |
JP (1) | JP4750183B2 (ja) |
KR (1) | KR101213950B1 (ja) |
CN (2) | CN101171547A (ja) |
WO (1) | WO2006117122A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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DE102008002749A1 (de) | 2008-06-27 | 2009-12-31 | Carl Zeiss Smt Ag | Beleuchtungsoptik für die Mikrolithografie |
DE102008042438B4 (de) * | 2008-09-29 | 2010-11-04 | Carl Zeiss Smt Ag | Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage mit mindestens zwei Arbeitszuständen |
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-
2006
- 2006-04-27 JP JP2008509335A patent/JP4750183B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-27 KR KR1020077026380A patent/KR101213950B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-04-27 EP EP06742716A patent/EP1877868A1/en not_active Withdrawn
- 2006-04-27 CN CNA2006800151471A patent/CN101171547A/zh active Pending
- 2006-04-27 WO PCT/EP2006/003900 patent/WO2006117122A1/en active Application Filing
- 2006-04-27 CN CN201110020152.4A patent/CN102033436B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-27 US US11/919,858 patent/US20090213345A1/en not_active Abandoned
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001110709A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡及び露光装置ならびに集積回路の製造方法。 |
JP2002107630A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-04-10 | Carl Zeiss Stiftung Trading As Carl Zeiss | 6枚の反射鏡を用いたマイクロリソグラフィ用の投影光学系 |
JP2002139672A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-17 | Carl Zeiss Stiftung Trading As Carl Zeiss | 8枚の反射鏡を用いたマイクロリソグラフィ用の投影光学系 |
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JP2003133212A (ja) * | 2001-10-26 | 2003-05-09 | Canon Inc | 光学装置 |
JP2004303760A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Canon Inc | Euv光強度分布測定装置およびeuv光強度分布測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090213345A1 (en) | 2009-08-27 |
KR20080005418A (ko) | 2008-01-11 |
EP1877868A1 (en) | 2008-01-16 |
JP2008541418A (ja) | 2008-11-20 |
WO2006117122A1 (en) | 2006-11-09 |
CN102033436A (zh) | 2011-04-27 |
CN101171547A (zh) | 2008-04-30 |
KR101213950B1 (ko) | 2012-12-18 |
CN102033436B (zh) | 2015-01-07 |
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|
A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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