JP4747671B2 - 光学ローパスフィルタおよび撮像装置 - Google Patents

光学ローパスフィルタおよび撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4747671B2
JP4747671B2 JP2005150026A JP2005150026A JP4747671B2 JP 4747671 B2 JP4747671 B2 JP 4747671B2 JP 2005150026 A JP2005150026 A JP 2005150026A JP 2005150026 A JP2005150026 A JP 2005150026A JP 4747671 B2 JP4747671 B2 JP 4747671B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pass filter
light
optical low
generating means
wave generating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005150026A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006330102A (ja
JP2006330102A5 (ja
Inventor
正樹 塩澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2005150026A priority Critical patent/JP4747671B2/ja
Priority to PCT/JP2005/017050 priority patent/WO2006030863A1/ja
Priority to US11/660,388 priority patent/US7940309B2/en
Publication of JP2006330102A publication Critical patent/JP2006330102A/ja
Publication of JP2006330102A5 publication Critical patent/JP2006330102A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4747671B2 publication Critical patent/JP4747671B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Studio Devices (AREA)

Description

本発明は、光線分岐を行う音響光学素子や光学ローパスフィルタ、およびその光学ローパスフィルタを使用した撮像装置に関する。
ビデオカメラやデジタルカメラなど撮像素子を使用した撮像装置では、レンズによって結像された像は撮像素子によって電気信号に変換される。このとき、被写体像の中に撮像素子のサンプリング周波数と同程度以上の高周波数成分が含まれていると、撮像画像が劣化するという好ましくない現象が起こる。そのため、このような撮像装置では、結像された被写体像の高周波成分を減衰させる目的で光学ローパスフィルタが使用されている。
光学ローパスフィルタは、被写体光を複数に分岐することで、高周波成分の像を除去しようとするものであり、一般的には結晶材料の複屈折性を利用して光線を常光と異常光とに分岐する方法が用いられている。複屈折性を有する結晶材料としては、水晶やチリ硝石などが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2002−122813号公報
しかしながら、上述した結晶材料の複屈折性や周期構造の回折効果を利用する一般的な光学ローパスフィルタでは、光学ローパスフィルタの分離特性が固定されているため、撮影者の意図に応じた撮影が困難であった。
請求項1の発明による光学ローパスフィルタは、複数の受光画素が規則的に配置された撮像素子と撮影光学系との間の光軸上に配設され、前記光軸と交わる平面を有する多角形の光透過性平板と、前記光透過性平板の多角形の一辺に沿って配設され、前記光透過性平板に疎密波を発生させて前記平面内に周期的に変化する屈折率分布を形成する複数の疎密波発生手段と、前記複数の疎密波発生手段を各々独立して制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、複数の疎密波発生手段を各々独立して制御することにより、光透過性板材の屈折率分布に基づく光学特性を変更することができるとともに、光透過性板材の面内において屈折率分布の異なる複数の領域を形成することができる。
以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。図1は本発明による撮像装置の一実施の形態を示す図であり、一眼レフ式のデジタルスチルカメラの概略構成を示したものである。図1において、1は撮影光学系、3はクイックリターンミラー、4は光学ローパスフィルタ、5はフォーカルプレーンシャッタ、6は撮像素子、7はファインダー光学系、8は光学ローパスフィルタ4の駆動回路である。駆動回路8は制御部9に接続されている。10は操作ボタンや操作ダイヤル等を有する操作部であり、ユーザは操作部10を操作することにより、カメラに対して種々の操作指示をすることができる。また、図示していないが、カメラはLCDモニタ等の表示部を備えており、操作部10を操作してその表示部に操作設定画面を表示させ、後述する圧電体の条件設定等を行うことが可能な構成になっている。
光学ローパスフィルタ4,フォーカルプレーンシャッタ5および撮像素子6は、それぞれ撮影光学系1の光軸2上に配設されている。クイックリターンミラー3は、図1に示す光軸位置と不図示の光軸外位置との間を移動可能な構造となっている。クイックリターンミラー3が図1のように光軸位置に配設されると、撮影光学系1からの被写体光はクイックリターンミラー3によりファインダー光学系7へと反射される。ファインダー光学系7にはペンタプリズム71や接眼レンズ72が設けられており、接眼レンズ72を介して被写体像を観察することができる。
一方、被写体を撮影する場合には、クイックリターンミラー3は不図示の光軸外位置に移動されるとともにフォーカルプレーンシャッタ5の開閉動作が行われ、被写体光に対して撮像素子6が所定時間露光される。この露光の際には、駆動回路8により光学ローパスフィルタ4が駆動される。すなわち、撮像素子6に入射する被写体光は、光学ローパスフィルタ4により高周波成分が除去される。撮像素子6はCCDやCMOS等の固体撮像素子で構成され、複数の受光画素が2次元的に配列されている。
《光学ローパスフィルタ4の説明》
次に、光学ローパスフィルタ4について説明する。図2は光学ローパスフィルタ4を撮影光学系1側から見た平面図である。41は矩形平板状の光透過性部材であり、ここでは石英ガラスから成る矩形状の平行平板を用いているが、光透過性部材41に用いる材料としては、使用する光の透過性が良好なガラスや単結晶などが好ましい。
例えば、可視光を取り扱うカメラ等の場合には、少なくとも波長450nmから750nmの範囲の光を透過する材料を使用する。また、光透過性の程度としては、上記波長帯域の分光透過率が部材厚さ1mmあたり50%以上であることが望ましい。光透過性が良好な材料としては、ガラスの場合にはクラウンガラス,フリントガラス,石英ガラス等があり、結晶材料の場合にはモリブデン酸鉛、二酸化テルル等が好適である。もちろん、本発明における光透過性部材41は、これらのガラスや結晶材料に限定されるものではない。
光透過性部材41の下辺Aには、2つの矩形平板状の電歪素子である圧電体42a,42bが並設されている。なお、図2に示す例は、光学ローパスフィルタ4により光線を一方向(図示上下方向)に分離する場合を示したものであり、一方向に分離する場合、圧電体42a,42bの固設位置は下辺Aに限らず、4辺A,B,C,Dのいずれか一つに設ければ良い。圧電体42a,42bを辺AまたはCに設ければ光線は上下に分離され、辺BまたはDに設けた場合には光線は左右に分離される。分離動作の原理はいずれの場合も同じなので、ここでは代表して辺Aに固設した場合で説明する。
駆動回路8から圧電体42a,42bに高周波電圧が印加されると、圧電体42は図示上下方向に振動する。光学ローパスフィルタとして機能させる場合には、1MHz〜100MHz程度の周波数を有する高周波電圧が圧電体42a,42bに印加される。この周波数域は音として人間の耳に聞こえない超音波の周波数帯域であり、このような周波数帯域の振動を発生させる圧電体42a,42bとしてはジルコン酸チタン酸鉛(PZT)やチタン酸バリウム等のセラミックスが好適であるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
なお、駆動回路8は圧電体42a,42bに対してそれぞれ独立して高周波電圧を印加することができる。すなわち、印加電圧の周波数や電圧の大きさを圧電体42aと圧電体42bとの間で同じにすることもできるし、異ならせることもできる。例えば、左右の圧電体42a,42bの間に個体差がある場合でも、印加する電力の大きさや周波数を調整することにより、光透過性部材41の全域にほぼ均一なローパスフィルタ特性を与えることができる。
圧電体42a,42bを振動させると、矢印43で示すように光透過性部材41の下辺Aから上辺Cへと進行する疎密波が発生し、その周波数は圧電体42a,42bに印加された電力の周波数に等しくなる。図2に示した例は、圧電体42a,42bに同一電圧・同一周波数の高周波電圧を印加した場合を示したものであり、同一周波数の疎密波が矢印43で示すように下辺Aから上辺C方向へと進行する。
その結果、光透過性部材41の内部に周期的な密度分布が形成され、光透過性部材41の面内で周期的に変化する屈折率分布が形成される。44は疎密波の波面を示したものであり、波面44は進行方向43に垂直となる。例えば、波面44の位置を分布が密な部分とすれば、それらの中間に分布が疎となる部分が発生する。密部分同士の間隔は疎密波の波長Λになっている。すなわち、屈折率分布の空間的な周期はΛとなっている。
図2に示すような周期的な屈折率分布が形成された光透過性部材41に光が入射すると、音響効果によるラマン・ナス(Raman-Nath)回折と呼ばれる回折現象が生じる。本実施の形態の光学ローパスフィルタ4は、この回折現象を利用して光線分岐を行うものである。図3はラマン・ナス回折による光線分岐を説明する図であり、図1と同様の方向から見た図である。
光透過性部材41には周期的な屈折率分布が形成されており、このような光透過性部材41に光が入射した場合には、屈折率が高い部分を通過した光は位相が遅れ、屈折率が低い部分を通過した光は位相が進む。その結果、回折現象が発現することになる。光透過性部材41に入射した光線の一部は0次回折光として入射光と同一方向に出射され、一部は高次回折光として進行方向を特定の角度だけ変えられて出射される。一般に、ラマン・ナス回折では、回折光は0次光、±1次光、±2次光、…のように複数現れる。
このとき、回折次数をm、光の波長をλとすると、m次回折光の分岐角度θは次式(1)で表される。また、周期的な屈折率分布の周期(幅)Λは、圧電体42に印加する高周波電圧の周波数をf、光透過性部材41内における音速をvとすると、次式(2)のように表される。
sinθ=mλ/Λ …(1)
Λ=v/f …(2)
光透過性部材41から撮像素子6の撮像面までの距離をLとし、撮像面での分離幅をdとすると、次式(3)が成り立つ。分岐角度θは小さいのでtanθ=sinθとみなすことができ、周波数fは次式(4)のように表される。
tanθ=d/L …(3)
f=dv/(λL) …(4)
例えば、光の波長をλ=600nm、距離L=5mmとし、光透過性部材41に石英ガラスを用いた場合を考える。石英ガラス中の音速vはv=6km/sであるので、分離幅dをd=5μmとするためには、印加電圧の周波数をf=10MHzとすれば良いことがわかる。このように、高周波電圧の周波数fを変更することにより、分離幅dすなわち光学ローパスフィルタ4のカットオフ周波数を調整することができる。その結果、同一光学ローパスフィルタ4で、画素ピッチの異なる種々の撮像素子6や被写体像の空間周波数の違いに対応することができる。
また、印加する電力の大きさを変えると、0次光の強度と高次光の強度との比率が変化するので、それによりローパス効果を調整することで撮影者の意図に応じた撮影に容易に対応することができる。すなわち、圧電体42a,42bに印加する電力の大きさを変化させて光透過性部材41の疎密波の強度を変えると、光透過性部材41中に形成される周期的な屈折率分布の振幅が変化する。
例えば、印加電力を大きくすると疎密波が強くなり、周期的な屈折率分布の振幅が大きくなる。その結果、0次光の強度が小さくなり、±1次光や±2次光などの高次回折光の強度が大きくなる。逆に、印加電力を小さくすると疎密波が弱くなって周期的な屈折率分布の振幅が小さくなり、その結果、0次光の強度が大きくなり、±1次光や±2次光などの高次回折光の強度が小さくなる。
図4は、圧電体42a,42bに印加される電力と回折光強度との関係を示す図である。この図は、光透過性部材41に可視域の波長の光を入射したときに計測された、ラマン・ナス回折による0次光、±1次光、±2次光の強度を示したものである。図4において、曲線L(0)は0次光の強度を表し、1次光に関する曲線L(±1)は+1次光の強度と−1次光の強度との合計を表し、2次光に関する曲線L(±2)は+2次光の強度と−2次光の強度との合計を表したものである。
印加電力=0の場合にはラマン・ナス回折は生じないので、0次光のみが現れる。光透過性部材41による表面反射や内部吸収を無視すれば、0次光の強度は入射光の強度と実質的に等しい。図4では、電力を印加しないときの0次光の強度を100%とする。印加電力をゼロから大きくして行くと、ラマン・ナス回折によって生じる±1次光の強度が徐々に大きくなり、それにつれて0次光の強度が徐々に小さくなる。
さらに電力を増加させて図4のP1よりも大きくすると、±2次光が現れて電力増加とともにもその強度が増加する。一方、0次光については減少し、±1次光については増加する。さらに電力を増加すると、増加していた±1次光の強度が減少し始め、P2となったときに0次光の強度はゼロとなり、光透過性部材41からは±1次光と±2次光とが出射される。
このように、印加電力の増加とともに0次光、±1次光、±2次光の強度が図4のように変化するので、印加電力の大きさを変更することで光学ローパスフィルタ4のフィルタ効果を容易に変えることができ、ユーザの様々な要求性能に容易に対応することができる。例えば、モアレの影響が少ない状況においてシャープな画像を撮影したい場合には、電力をゼロ、あるいは図4のP1のように小さく設定する。逆に、モアレの影響が大きくそれを低減したい場合には、例えば電力P2のように大きく設定する。
《圧電体の動作形態について》
上述したフィルタ機能の説明では、圧電体42a,42bに同一周波数、同一電圧の印加電圧を与えて、光透過性部材41の全領域に同一の疎密波を発生させたが、圧電体42a,42bを独立に制御しても良い。以下では、代表的な動作形態について数種類説明する。
(動作形態1)
動作形態1では、通常の撮影の際には図2に示すように光透過性部材41の全領域に同一の疎密波を発生させ、光透過性部材41の全領域においてローパスフィルタ効果を発生させる。そして、モアレの影響が少ない状況や風景撮影のような状況においてシャープな画像を撮影したい場合には、操作部10を操作して圧電体42a,42bの印加電圧をオフする。この場合、光透過性部材41はローパスフィルタとして機能しないため、シャープな画像を得ることができる。
この場合、前述した表示部に圧電体42a,42bの設定画面を表示させて設定するようにしても良い。また、圧電体42a,42bを個別に設定する代わりに、例えば、操作部10を「シャープな撮影モード」や「風景撮影モード」などの撮影モードを選択できるセレクタダイヤルとし、これらの撮影モードが選択されると圧電体42a,42bの印加電圧がゼロに設定されるようにしても良い。
(動作形態2)
動作形態2では、光透過性部材41の一部の領域に疎密波を発生させて、その領域だけにローパスフィルタ効果を発生させる。例えば、図5に示すように圧電体42aは印加電圧をオフし、圧電体42bの印加電圧をオンする。このように動作させた場合、周波数が超音波域の疎密波は直進性が高いため、圧電体42bが設けられた右側の領域41bだけに疎密波が発生する。
その結果、光透過性部材41の領域41bにだけローパスフィルタ効果が発生する。例えば、領域41aの被写体をシャープに撮影したい場合には、図5のように設定する。逆に、通常は圧電体42a,42bをオフにしておき、領域41bにモアレの影響が見られる場合には、圧電体42bの印加電圧をオンにする。
(動作形態3)
動作形態2では、圧電体42a,42bの印加電圧のオン・オフ状態を個別に制御したが、動作形態3では周波数(波長)や印加電力の大きさを個別に制御することにより、領域41a,41bのフィルタ特性を異なる状態とする。その結果、画像の領域別に撮影者の意図を反映した画質を実現することができる。図6は、圧電体42a,42bに異なる周波数の電圧を印加した場合を示す。圧電体42a,42bの周波数が異なるため、光透過性部材41の領域41aでは屈折率分布の空間的周期はΛ1となっており、領域41bではΛ2となっている。
上述した実施の形態で矩形状の光透過性部材41の一辺Aに複数の圧電体42a,42bを配設したが、図7に示すように辺Aに直交する辺Bにも複数の圧電体42c,42dを配設するようにしてもよい。各圧電体42a〜42dは、駆動回路8(不図示)によって個別に駆動される。圧電体42c,42dは図示左右方向に進行する疎密波を発生させ、光透過性部材41の左右方向に周期的な屈折率分布を形成する。その結果、光透過性部材41には面内の異なる2方向に周期的な屈折率分布を形成され、光透過性部材41に入射した光線は、図示上下方向および左右方向に2次元的に分岐される。
各圧電体42a〜42dに異なる周波数や異なる電力の高周波電圧を印加することにより、各圧電体42a〜42dから光透過性部材41に導入される疎密波の波長と強度を個別に制御することができる。その結果、それぞれの疎密波が作用する光透過性部材41の各領域41a〜41dにおいて、光線の分岐角や分岐光の強度を個別に設定することができる。
図7に示した例では、圧電体42a,42cの印加電圧をオンし、圧電体42b,42dの印加電圧をオフ状態とした。領域41aに入射した光線は上下左右2方向に分岐され、領域41bに入射した光線は左右方向に分岐され、領域41cに入射した光線は上下方向に分岐される。また、領域41dには疎密波が形成されないので、ローパスフィルタ作用がオフ状態となっている。すなわち、領域41dの画像はシャープに撮影される。
なお、上述した実施の形態では、光透過性部材41の一辺上に2つの圧電体を配設したが、辺に沿って3以上の圧電体を配設するようにしても良い。圧電体の数が多いほど、フィルタ効果の制御領域の範囲をより細かく設定することができる。また、光透過性部材41の形状も矩形に限らず多角形でも良い。
上述の説明からわかる通り、印加電圧を制御してフィルタ機能を制御する場合、方式としては次の3通りがある。
(a)周波数を変えることにより分岐された光線の分離幅を制御することができる。
(b)電力の大きさを変えることにより分岐された光線の強度を制御することができる。
(c)これらを組み合わせることによって、領域毎にフィルタ機能を微妙にコントロールすることができる。
上述したような、印加電圧のオンオフおよび電力や周波数の変更は、図1に示した操作部10を操作することにより任意に行うことができる。また、カメラ側で撮影された画像を解析して最適設定条件を求め、その最適設定条件を撮影者に提示したり、自動的に最適設定条件に設定するようなことも可能である。例えば、周波数を自動設定する場合、同一被写体に対して周波数条件の異なる複数の画像を撮影し、その中で最もモアレの影響が少ない画像の周波数を最適条件に設定する。
例えば、上述した撮影モードとして、光透過性部材によるローパス特性を変更しつつ複数回撮影する「光分岐ブラケティング撮影モード」を備え、撮影モード選択用セレクタダイヤルとして構成された操作部10を操作して、「光分岐ブラケティング撮影モード」を選択できるような構成とすれば良い。
上述した実施の形態では、一眼レフ式のデジタルカメラの光学ローパスフィルタに適用した場合について説明したが、レンズ一体型のデジタルカメラにも同様に適用することができる。さらに、デジタルスチルカメラに限らず、ビデオカメラなどのように撮像素子を備えた撮像装置の光学ローパスフィルタにも適用できる。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。例えば、屈折率分布形成手段として圧電体を用いたが、光透過性部材41内に疎密波(超音波)を発生させることができるならば、上述した電歪素子(圧電体42b,42d)に限らない。
本発明による撮像装置の一実施の形態を示す図であり、一眼レフ式のデジタルスチルカメラの概略構成を示したものである。 光学ローパスフィルタ4を撮影光学系1側から見た平面図である。 ラマン・ナス回折による光線分岐を説明する図である。 圧電体に印加される電力と回折光強度との関係を示す図である。 動作形態2を説明する図である。 圧電体42a,42bに異なる周波数の電圧を印加した場合を示す図である。 辺A,Bに圧電体42a〜42dを配設した場合を示す図である。
符号の説明
1:撮影光学系 2:光軸
4:光学ローパスフィルタ 6:撮像素子
8:駆動回路 9:制御部
10:操作部 41:光透過性部材
42a〜42d:圧電体
A,B,C,D 辺

Claims (8)

  1. 複数の受光画素が規則的に配置された撮像素子と撮影光学系との間の光軸上に配設され、前記光軸と交わる平面を有する多角形の光透過性平板と、
    前記光透過性平板の多角形の一辺に沿って配設され、前記光透過性平板に疎密波を発生させて前記平面内に周期的に変化する屈折率分布を形成する複数の疎密波発生手段と、
    前記複数の疎密波発生手段を各々独立して制御する制御手段とを備えたことを特徴とする光学ローパスフィルタ。
  2. 請求項1に記載の光学ローパスフィルタにおいて、
    前記光透過性平板の前記一辺とは異なった他の辺に沿って配設され、前記光透過性平板に疎密波を発生させて前記平面内に周期的に変化する屈折率分布を形成する第2の複数の疎密波発生手段を、更に備え、
    前記第2の複数の疎密波発生手段が発生する疎密波と前記複数の疎密波発生手段が発生する疎密波とは、互いに交差し、
    前記制御手段は、前記複数の疎密波発生手段と前記第2の複数の疎密波発生手段とを各々独立して制御することを特徴とする光学ローパスフィルタ。
  3. 請求項1または2に記載の光学ローパスフィルタにおいて、
    前記疎密波発生手段は圧電体であり、
    前記疎密波の周波数と前記圧電体に供給される電力の周波数とが等しいことを特徴とする光学ローパスフィルタ。
  4. 請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学ローパスフィルタにおいて、
    前記制御手段は、前記疎密波発生手段による疎密波発生のオン・オフ状態を個別に制御することを特徴とする光学ローパスフィルタ。
  5. 請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学ローパスフィルタにおいて、
    前記制御手段は、前記疎密波発生手段を個別に制御して前記疎密波の強度を設定することを特徴とする光学ローパスフィルタ。
  6. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学ローパスフィルタにおいて、
    前記光透過性平板は、450nmから750nmの波長帯域の分光透過率が厚さ1mmあたり50%以上であることを特徴とする光学ローパスフィルタ。
  7. 複数の受光画素が規則的に配置された撮像素子と、
    前記撮像素子に被写体光束を投影する撮影光学系と前記撮像素子との間の光軸上に配設される請求項1〜6のいずれか一項に記載の光学ローパスフィルタとを備えたことを特徴とする撮像装置。
  8. 請求項7に記載の撮像装置において、
    複数の異なる撮影モードからいずれか一つを選択して設定するモード設定手段を備え、
    前記制御手段は、前記モード設定手段で設定された撮影モードに応じて前記複数の疎密波発生手段を制御することを特徴とする撮像装置
JP2005150026A 2004-09-17 2005-05-23 光学ローパスフィルタおよび撮像装置 Expired - Fee Related JP4747671B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005150026A JP4747671B2 (ja) 2005-05-23 2005-05-23 光学ローパスフィルタおよび撮像装置
PCT/JP2005/017050 WO2006030863A1 (ja) 2004-09-17 2005-09-15 光学ローパスフィルタおよび撮像装置
US11/660,388 US7940309B2 (en) 2004-09-17 2005-09-15 Optical low pass filter and image-capturing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005150026A JP4747671B2 (ja) 2005-05-23 2005-05-23 光学ローパスフィルタおよび撮像装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2006330102A JP2006330102A (ja) 2006-12-07
JP2006330102A5 JP2006330102A5 (ja) 2008-05-01
JP4747671B2 true JP4747671B2 (ja) 2011-08-17

Family

ID=37551881

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005150026A Expired - Fee Related JP4747671B2 (ja) 2004-09-17 2005-05-23 光学ローパスフィルタおよび撮像装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4747671B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6296730B2 (ja) * 2013-09-06 2018-03-20 株式会社Screenホールディングス 光変調器および露光ヘッド

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63307428A (ja) * 1987-06-10 1988-12-15 Nec Corp 超音波光変調器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006330102A (ja) 2006-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1564987B1 (en) Camera with optical low pass filter comprising a vibrating plane parallel plate
JP2011159967A (ja) 固体撮像装置、撮像装置、及び分光素子
US8199231B2 (en) Image pickup element unit with an image pickup element on a substrate for picking up an image and an optical low pass filter spaced from the image pickup element
US7940309B2 (en) Optical low pass filter and image-capturing device
JP4005423B2 (ja) 電子撮像装置
JP4687525B2 (ja) カメラ
JP5499634B2 (ja) 撮像装置
JP4747671B2 (ja) 光学ローパスフィルタおよび撮像装置
CN101771821B (zh) 振动装置及使用该振动装置的图像设备
US10270951B2 (en) Image sensing unit and image capturing apparatus
JP5385650B2 (ja) 撮像装置、その制御方法及びプログラム
JP2008085416A (ja) カメラ
JP4696584B2 (ja) 光学ローパスフィルタ
JP2006191203A (ja) 塵埃除去装置、撮像装置
JPH0338978A (ja) 撮像装置
JP2006227155A (ja) 光学ローパスフィルタ、撮像装置および音響光学素子
JP4269386B2 (ja) 撮像光学系
JP2006126727A (ja) 光学フィルタ及びそれを有する撮像装置
JP2007142952A (ja) 光学機器
JP4926471B2 (ja) 光学素子およびそれを有する撮像装置
JP3195950B2 (ja) 光学的ローパスフィルタ
JP2006085001A (ja) 光学ローパスフィルタ、光学ローパスフィルタ装置および撮像装置
JP2004094131A (ja) 撮像装置
JP2011077627A (ja) 撮像ユニットおよび撮像装置
JP2012037602A (ja) 光学ユニット、撮像装置および色むら調整方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080201

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080317

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101109

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20101221

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110107

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20110107

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110201

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110404

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110419

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110502

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4747671

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140527

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140527

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees