JP4745741B2 - 中継基板、及びマイクロチップ搭載装置 - Google Patents
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Description
"MEMSの現状と将来展望 MEMS技術を用いるマイクロフロー型バイオセンサの開発"(「表面技術」 VOL.54 No.10(660-664頁)(2003.)) "研究概要"、[online]、北陸先端科学技術大学院大学 材料科学研究科 機能科学専攻 生体機能材料講座 民谷・高村研究室、[平成17年5月31日検索]、インターネット<URL:http://www.jaist.ac.jp/ms/labs/tamiya/research/chip/chip_tech2.html>
前記中継基板は、前記チップ側導体及び前記基体側導体と電気的に接続可能な中継基板側導体を備えることが好ましい。中継基板側導体を備えると、中継基板が比較的厚い場合でもその中継基板側導体を介してチップ側導体と基体側導体とを確実に接続することができるからである。この中継基板側導体は、例えば、導電性の樹脂ペーストを用いて形成してもよいし、金属材料からなる柱状の導体で形成してもよい。
12,91,92…マイクロチップ
13…中継基板としてのインターポーザ
14…マイクロチップ搭載用基体としてのセラミック基板
21…チップ側導体を構成する接続端子
22…中継基板側導体
23…チップ側内部流路
24…センサ部としてのセンサ電極
25…チップ側開口部
27…処理回路部
35…基体側導体を構成する金属配線層
36,38…基体側導体を構成する接続パッド
37…基体側導体を構成するビアホール導体
44…チップ接合領域
45…中継基板側内部流路
46…中継基体側第1開口部
47…中継基体側第2開口部
49…管としてのパイプ
72,87…基体側内部流路
76,88…基体側開口部
83,93…流体溜め部
Claims (6)
- 基体側導体を有するマイクロチップ搭載用基体と、チップ側内部流路及びチップ側導体を有するマイクロチップとの間に介在した状態で使用される中継基板であって、
中継基板側開口部が形成され、前記チップ側内部流路と流路的に接続可能な中継基板側内部流路を備え、
前記チップ側導体と前記基体側導体との間に介することで、前記チップ側導体及び前記基体側導体と電気的に接続可能な中継基板側導体を備え、
前記マイクロチップを接合すべき領域として設定され、その中に前記中継基板側導体が配置されたチップ接合領域を有し、
前記中継基板側内部流路の有する中継基板側第1開口部が前記チップ接合領域内に配置され、前記中継基板側内部流路の有する中継基板側第2開口部が前記チップ接合領域外に配置され、
前記中継基板側第1開口部及び前記中継基板側第2開口部が、前記チップ接合領域のある面側に配置されている
ことを特徴とする中継基板。 - 前記中継基板側内部流路は、その途上で分岐していることを特徴とする請求項1に記載の中継基板。
- 前記中継基板側内部流路における分岐部には流体溜め部が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の中継基板。
- 基体側導体を有するマイクロチップ搭載用基体と、
中継基板側開口部を有する中継基板側内部流路を有する中継基板と、
チップ側内部流路及びチップ側導体を有し、前記中継基板を介して前記マイクロチップ搭載用基体上に搭載されたマイクロチップと
を備え、
前記マイクロチップは、前記チップ側内部流路内に配置されたセンサ部と、前記センサ部から出力された信号を電気的に処理する処理回路部とを有する半導体センサマイクロチップであり、
前記チップ側内部流路と前記中継基板側内部流路とが流路的に接続され、前記チップ側導体と前記基体側導体とが電気的に接続され、前記中継基板側内部流路を経由してチップ側内部流路に流体を導くことが可能なことを特徴とするマイクロチップ搭載装置。 - 前記中継基板は、樹脂材料を主体として構成され、前記マイクロチップ搭載用基体及び前記マイクロチップに対して接着または融着されていることを特徴とする請求項4に記載のマイクロチップ搭載装置。
- 前記マイクロチップ搭載用基体は、管が装着可能な基体側開口部が形成され、前記中継基板側内部流路に対して流路的に接続された基体側内部流路を備え、前記基体側内部流路及び前記中継基板側内部流路を経由して前記チップ側内部流路に流体を導くことが可能なことを特徴とする請求項4または5に記載のマイクロチップ搭載装置。
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