JP4743230B2 - 外観検査方法及び外観検査装置 - Google Patents
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Description
ex≦TH1≦e1(領域A1)、
ex≦TH2≦e2(領域A2)、
である。ところで、検査領域を分けないでしきい値を一律にTHxとした場合、第1の検査領域A1に相当する部分が全て欠陥となってしまう。このように、検査領域を分けてそれぞれ別々の2値化しきい値を用いることで、端部領域や対象物内側の領域に欠陥が存在する場合でも、それぞれに適した検査条件による検査が可能となる。
4 検査対象物
A1 第1の検査領域
A2 第2の検査領域
P0,P01,P02 濃淡画像
P1 微分画像
P2 2値化画像
px 端部画素
S1 第1の境界線
S2 第2の境界線
TH1〜TH4 検査判定レベル(しきい値)
Claims (13)
- 輪郭に曲面を有する検査対象物を撮像し、その撮像画像に該対象物の端部から内部にかけて生じる濃淡分布を利用して検査対象物の外観を検査する外観検査方法において、
検査対象物を撮像して得た濃淡画像の各画素について微分処理して微分画像を生成し、微分画像上で所定の微分値以上となる画素を端部画素として抽出する過程と、
抽出した各端部画素により連結される領域を端部領域として抽出する過程と、
前記端部領域において、検査対象物の端側の第1の境界線を決定し、前記第1の境界線上の各画素において第1の境界線と直交する方向の前記端部領域の幅を求め、その幅をパラメータとして、第1の境界線を基準に該対象物の内側の第2の境界線を決定する境界線決定過程と、
前記各境界線に基づき第1の検査領域と第2の検査領域を決定する検査領域決定過程と、を有し、
前記第1の検査領域と第2の検査領域をそれぞれ異なる検査条件で検査することを特徴とする外観検査方法。 - 第1の検査領域の検査判定レベルを第1の境界線に近いほど緩く、又は厳しくするように傾斜的とすることを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。
- 抽出した端部領域が不連続になる場合、不連続部分の画素における濃度勾配方向に直交する方向値として定義される微分方向値に基づき不連続部分を連結して端部領域を再抽出することを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。
- 最初の端部画素を抽出した後、端部画素における濃度勾配方向に直交する方向値として定義される微分方向値に基づき、端部画素の近傍を検索して次に連続する端部画素を追跡、抽出し、抽出した画素の微分値が所定のしきい値を越える場合、当該画素を端部画素に含めて端部領域を決定することを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。
- 予め基準検査領域が設定されており、第1及び第2の検査領域を決定した後、第1及び第2の検査領域を前記基準検査領域に重ねて表示し、第1及び第2の検査領域と前記基準検査領域の位置のずれが所定量を超えたときアラーム出力する、又は基準検査領域への合わせ込みを指示する自動調整指示信号出力により、自動的に照明条件及び又は撮像条件を調節することを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。
- 検査対象物の端部領域に照明の正反射が発生する場合に、照明角度を切り替えた2種以上の画像を撮像し、複数画像間で対象物の同一部位の画素で最大輝度の画素の輝度値を除いて正反射除去画像を生成し、この正反射除去画像を用いて前記第1及び第2の検査領域を決定することを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。
- 前記正反射除去画像を用いて検査することを特徴とする請求項6記載の外観検査方法。
- 正反射部分の検査は正反射していない方の画像を用いて検査することを特徴とする請求項6記載の外観検査方法。
- 検査対象物を各端部に適した照明撮像条件にて複数の領域に分けて撮像し、各画像毎にそれぞれの端部部分に対応する第1及び第2検査領域を決定し、各画像毎にそれぞれの第1及び第2の検査領域で検査して、その後、その検査結果を統合して判定することを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。
- 撮像する複数領域について、各検査領域に重なりを持たせることを特徴とする請求項9記載の外観検査方法。
- 第1又は第2の各検査領域内のさらに小領域毎の各画素における濃度勾配方向に直交する方向値として定義される微分方向値の分布データに基づき、各小領域における欠陥候補部分の微分方向値別に欠陥判定しきい値を切り替えることを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。
- 前記微分方向値の分布データに基づき、多数を占める微分方向値を持つ画素の検出感度を他の画素より低く設定することを特徴とする請求項11記載の外観検査方法。
- 輪郭に曲面を有する検査対象物を撮像し、その撮像画像に該対象物の端部から内部にかけて生じる濃淡分布を利用して検査対象物の外観を検査する外観検査装置において、
検査対象物を撮像して得た濃淡画像の各画素について微分処理して微分画像を生成し、微分画像上で所定の微分値以上となる画素を端部画素として抽出する端部画素抽出手段と、
抽出した各端部画素により連結される領域を端部領域として抽出する端部領域抽出手段と、
前記端部領域において、検査対象物の端側の第1の境界線を決定し、前記第1の境界線上の各画素において第1の境界線と直交する方向の前記端部領域の幅を求め、その幅をパラメータとして、第1の境界線を基準に該対象物の内側の第2の境界線を決定する境界線決定手段と、
前記各境界線に基づき第1の検査領域と第2の検査領域を決定する検査領域決定手段と、
前記各検査領域をそれぞれ異なる検査条件で検査する検査・判定手段と、を有することを特徴とする外観検査装置。
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