JP4279833B2 - 外観検査方法及び外観検査装置 - Google Patents
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図1を参照して、本実施形態に係る外観検査装置10の構成について説明する。図1は、(a)が外観検査装置の構成を概略的に示す斜視図であり、(b)が検査対象物の斜視図である。
ができる。カメラ12では、検査対象物22の撮像画像P1(図6参照)を取得すると、その撮像画像P1のデータを画像処理部14に出力する。なお、カメラ12は、少なくとも輝度情報が得られればよいので、CMOS(ComplementaryMetal Oxide Semiconductor)カメラ、赤外線カメラ、白黒カメラ、カラーカメラ等であってもよい。
次に、図2〜図12を参照して、以上の構成を有する外観検査装置10を用いた検査対象物22の外観検査処理方法について説明する。なお、ここでは特に、検査対象物22のうち曲面状となっている外周面22a又は内周面22bの外観検査を行う場合について説明する。
続くステップ3では、拡張マスタ画像生成処理が行われる。拡張マスタ画像生成処理が開始されると、図3に示されるステップ11に進んで、撮像画像P1において輝度値が0でない連続する画素の領域を求めた後、その画素の領域に外接する長方形を求めることで、撮像画像P1における検査対象物画像P1aの外形領域A1を決定する処理を行う。このとき、決定された外形領域A1の面積(画素数)及び外形領域A1の位置する座標を算出する処理も行われる。ステップ12に進むと、ステップ11において決定された外形領域A1の面積が所定の閾値以上であるか否かを判定する。すなわち、欠陥を検出する対象である検査対象物画像P1aの面積(画素数)は、各検査対象物22において略同一であるから、外形領域A1の面積(画素数)が閾値以上であれば撮像されたものが検査対象物22であると判定してステップ13に進むが、そうでなければ撮像されたものが検査対象物22ではない(例えば、検査対象物22の破片)と判定して図2に示されるステップ7に進んで、外観検査処理を終了するようにしている。
これらの平均輝度値X,Yを求めた後、図8(b),(c)においてそれぞれ破線で示される閾値と平均輝度値X,Yとを比較して、閾値と等しい平均輝度値X,Yを示すx座標及びy座標をそれぞれ求める。そして、このように求められた各座標を通り、各座標が存在する軸X又は軸Yに垂直な直線によって囲まれる領域を、処理領域A2として決定する。
ここで、式(3)におけるα,βは、それぞれ軸X,Y方向における平均輝度値の寄与率となっている。マスタ画像P2を生成する際、寄与率α,βのうち平均輝度値X´,Y´について優先させたい側の値を大きく設定することで、生成されるマスタ画像P2を調節することができる。なお、本実施形態では、軸X方向に沿う研磨筋の影響を考慮するため、βよりもαの値を大きくしている。なお、マスタ画像P2を生成するステップ14以降においては、後述する検査領域Sを検査対象物22の中央部22a及び周縁部22bとの境界に沿うように設定するため、図6に示されるように撮像画像P1を領域B1〜B3で3分割した各画像についてそれぞれ同じ処理を行っている。そのため、以降の説明では、領域B3において行われる処理について述べ、領域B1,B2についての説明は省略する。
図2に戻り、ステップ4に進むと、合成画像生成処理が行われる。合成画像生成処理が開始されると、図4に示されるステップ21に進んで、欠陥検査の対象となる検査領域Sを決定する処理が行われる。具体的には、まず、撮像画像P1の外形領域A1の右半分において同じ行に位置する各画素の輝度値が大きく変化する変化点d1〜d8を、所定の行毎にそれぞれ算出する(図9(a)参照)。すなわち、これらの各変化点d1〜d8は、検査対象物22の中央部22aと周縁部22bとの境界、又は検査対象物22の中央部22aと欠陥部Dとの境界を示すこととなる。続いて、算出された複数の変化点d1〜d8で構成される点列を最小二乗法により一次直線に回帰した近似直線L3を算出し、この近似直線L1との距離lが所定の閾値以上である変化点d4を除いた複数の変化点d1〜d3,d5〜d8で構成される点列を再び最小二乗法により一次直線に回帰した近似直線L4を算出する(図9(b)参照)。このように2回の近似を行うのは、検査対象物22の中央部22aと欠陥部Dとの境界を示す変化点d4を除いて、検査対象物22の中央部22aと周縁部22bとの境界を近似直線L4としてより正確に算出するためである。なお、撮像画像P1の外形領域A2の左半分についても同様に変化点を算出し、各変化点について2回の近似を行って、近似直線L5を算出する。
図2に戻り、ステップ5に進むと、欠陥検出処理が行われる。欠陥検出処理が開始されると、図5に示されるステップ31に進んで、外形領域A1において拡張マスタ画像P3と合成画像P8とで対応する座標に位置する画素毎に、合成画像P8の各画素における輝度値から拡張マスタ画像P3の各画素における輝度値を減算する。これにより、第1補正画像P9が生成される(図12(a)参照)。
また、ソーベル処理画像P10を生成した後、ソーベル処理画像P10における所定の画素とその画素の周囲における隣接画素とで、下記の式(5)による演算をソーベル処理画像P10の全ての画素について行う。これにより、ソーベル処理画像P10における各画素の輝度値の平均Mが求められ、ソーベル処理画像P10に生じているランダムなノイズを除去する平滑化が行われる。
なお、本実施形態では、階調を256階調(8bit)としているため、変化量E1を求める際に、変化量E1が下限値である0を下回る場合には変化量E1を下限値である0に固定し、変化量E1が上限値である255を上回る場合には変化量E1を上限値である255に固定する処理を行っている。
次に、図14〜図17に基づいて、上述した実施形態に係る外観検査方法の変形例について説明する。図14は、変形例に係る外観検査処理の開始から終了までの手順を示すフローチャートである。図15は、変形例に係る第1補正画像生成処理の開始から終了までの手順を示すフローチャートである。図16は、変形例に係る欠陥検出処理の開始から終了までの手順を示すフローチャートである。図17は、(a)が変形例に係る第1補正画像を示す図であり、(b)が変形例に係る検査領域画像を示す図であり、(c)が変形例に係る検査対象外領域画像を示す図であり、(d)が変形例に係る合成画像を示す図である。変形例に係る外観検査方法では、合成画像P16を生成する前に第1補正画像P13を生成している点が、上述した外観検査方法と相違する。以下では、その相違点を中心に説明し、共通点については説明を省略又は簡略化する。
Claims (14)
- 検査対象物の外観検査を行うための外観検査方法であって、
前記検査対象物を撮像して検査対象物画像を含む撮像画像を取得する工程と、
前記検査対象物画像に外接する四角形を求めることで、前記撮像画像における前記検査対象物画像の外形領域を決定する工程と、
前記外形領域に基づいて、前記撮像画像において処理を行う対象となる処理領域を決定する工程と、
前記検査対象物画像に対して基準となる基準部分を前記処理領域において含んでいる基準画像を生成する工程と、
前記外形領域のうち前記処理領域よりも外側の領域である外側領域において同じ行に位置する各画素の輝度値を、前記基準部分における当該行の画素のうち最も前記外側領域に近い画素の輝度値によって置き換える処理を前記外側領域の各行について行うことで、前記基準画像が含んでいる前記基準部分を前記処理領域から前記外形領域にまで拡張した拡張基準画像を生成する工程と、
前記検査対象物画像における前記検査対象物の中央部とその周りに位置する周縁部とで輝度値が変化する変化点を複数算出し、該複数の変化点で構成される点列を線で近似することで求められた近似線により囲まれた領域を検査領域として決定する工程と、
前記撮像画像から前記検査領域に対応する領域の画素の輝度値が抽出された検査領域画像を生成する工程と、
前記検査領域の外部領域である検査対象外領域に対応する領域の画素の輝度値を前記拡張基準画像から抽出することにより、前記検査領域画像と合成したときに、前記検査対象外領域において輝度値の変化を抑制するように前記検査対象外領域の画素の輝度値が設定された検査対象外領域画像を生成する工程と、
前記検査領域画像と前記検査対象外領域画像とを合成することにより合成画像を生成する工程と、
前記基準画像と前記合成画像とに基づいて第1補正画像を生成する工程と、
前記第1補正画像における各画素の輝度値の変化量を算出して輝度変化量表示画像を生成する工程と、
前記第1補正画像と前記輝度変化量表示画像とから第2補正画像を生成する工程と、
前記第2補正画像を2値化して前記検査領域における連結領域を特定し、該連結領域の画素数と閾値とを対比する工程とを備えることを特徴とする外観検査方法。 - 検査対象物の外観検査を行うための外観検査方法であって、
前記検査対象物を撮像して検査対象物画像を含む撮像画像を取得する工程と、
前記検査対象物画像に外接する四角形を求めることで、前記撮像画像における前記検査対象物画像の外形領域を決定する工程と、
前記外形領域に基づいて、前記撮像画像において処理を行う対象となる処理領域を決定する工程と、
前記検査対象物画像に対して基準となる基準部分を前記処理領域において含んでいる基準画像を生成する工程と、
前記外形領域のうち前記処理領域よりも外側の領域である外側領域において同じ行に位置する各画素の輝度値を、前記基準部分における当該行の各画素の輝度値の平均値によって置き換える処理を前記外側領域の各行について行うことで、前記基準画像が含んでいる前記基準部分を前記処理領域から前記外形領域にまで拡張した拡張基準画像を生成する工程と、
前記検査対象物画像における前記検査対象物の中央部とその周りに位置する周縁部とで輝度値が変化する変化点を複数算出し、該複数の変化点で構成される点列を線で近似することで求められた近似線により囲まれた領域を検査領域として決定する工程と、
前記撮像画像から前記検査領域に対応する領域の画素の輝度値が抽出された検査領域画像を生成する工程と、
前記検査領域の外部領域である検査対象外領域に対応する領域の画素の輝度値を前記拡張基準画像から抽出することにより、前記検査領域画像と合成したときに、前記検査対象外領域において輝度値の変化を抑制するように前記検査対象外領域の画素の輝度値が設定された検査対象外領域画像を生成する工程と、
前記検査領域画像と前記検査対象外領域画像とを合成することにより合成画像を生成する工程と、
前記基準画像と前記合成画像とに基づいて第1補正画像を生成する工程と、
前記第1補正画像における各画素の輝度値の変化量を算出して輝度変化量表示画像を生成する工程と、
前記第1補正画像と前記輝度変化量表示画像とから第2補正画像を生成する工程と、
前記第2補正画像を2値化して前記検査領域における連結領域を特定し、該連結領域の画素数と閾値とを対比する工程とを備えることを特徴とする外観検査方法。 - 前記検査領域を決定する前記工程では、前記複数の変化点から前記近似線との距離が閾値より大きな変化点を除いた変化点で構成される点列を線で近似することで求められた新たな近似線により前記検査領域を決定することを特徴とする請求項1又は2に記載された外観検査方法。
- 検査対象物の外観検査を行うための外観検査方法であって、
前記検査対象物を撮像して検査対象物画像を含む撮像画像を取得する工程と、
前記検査対象物画像に対して基準となる基準画像を生成する工程と、
前記撮像画像と前記基準画像とから第1補正画像を生成する工程と、
前記検査対象物画像における前記検査対象物の中央部とその周りに位置する周縁部とで輝度値が変化する変化点を複数算出し、該複数の変化点で構成される点列を線で近似することで求められた近似線により囲まれた領域を検査領域として決定する工程と、
前記第1補正画像から前記検査領域に対応する領域の画素の輝度値が抽出された検査領域画像を生成する工程と、
前記検査領域の内側における前記検査領域画像の全画素について輝度値の平均値を算出し、前記検査領域の外側における各画素の輝度値を当該平均値とすると共に、前記検査領域の内側における各画素の輝度値を0とすることにより、前記検査領域画像と合成したときに、前記検査領域の外部領域である検査対象外領域において輝度値の変化を抑制するように前記検査対象外領域の画素の輝度値が設定された検査対象外領域画像を生成する工程と、
前記検査領域画像と前記検査対象外領域画像とを合成することにより合成画像を生成する工程と、
前記合成画像における各画素の輝度値の変化量を算出して輝度変化量表示画像を生成する工程と、
前記合成画像と前記輝度変化量表示画像とから第2補正画像を生成する工程と、
前記第2補正画像を2値化して前記検査領域における連結領域を特定し、該連結領域の画素数と閾値とを対比する工程とを備え、
前記検査対象外領域画像を生成する前記工程では、前記第1補正画像の前記検査領域に対応する領域の画素の輝度値に基づいて前記検査対象外領域に対応する領域の画素の輝度値を抽出することにより前記検査対象外領域画像を生成し、
前記検査領域を決定する前記工程では、前記複数の変化点から前記近似線との距離が閾値より大きな変化点を除いた変化点で構成される点列を線で近似することで求められた新たな近似線により前記検査領域を決定することを特徴とする外観検査方法。 - 前記検査領域を決定する前記工程では、前記検査領域と前記検査対象物画像の各隅において予め設定された領域である面取り領域とが重なったときに、前記検査領域から前記面取り領域を除いた領域を新たな検査領域として決定することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載された外観検査方法。
- 前記輝度変化量表示画像を生成する前記工程では、ソーベルフィルタにより輝度値の変化量を算出することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載された外観検出方法。
- 前記輝度変化量表示画像を生成する前記工程では、微分フィルタにより輝度値の変化量を算出することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載された外観検査方法。
- 検査対象物の外観検査を行うための外観検査装置であって、
前記検査対象物を照明する照明手段と、
前記照明手段によって照明された前記検査対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された撮像画像に含まれる検査対象物画像に外接する四角形を求めることで、前記撮像画像における前記検査対象物画像の外形領域を決定する手段と、
前記外形領域に基づいて、前記撮像画像において処理を行う対象となる処理領域を決定する手段と、
前記検査対象物画像に対して基準となる基準部分を前記処理領域において含んでいる基準画像を生成する手段と、
前記外形領域のうち前記処理領域よりも外側の領域である外側領域において同じ行に位置する各画素の輝度値を、前記基準部分における当該行の画素のうち最も前記外側領域に近い画素の輝度値によって置き換える処理を前記外側領域の各行について行うことで、前記基準画像が含んでいる前記基準部分を前記処理領域から前記外形領域にまで拡張した拡張基準画像を生成する手段と、
前記検査対象物画像における前記検査対象物の中央部とその周りに位置する周縁部とで輝度値が変化する変化点を複数算出し、該複数の変化点で構成される点列を線で近似することで求められた近似線により囲まれた領域を検査領域として決定する手段と、
前記撮像画像から前記検査領域に対応する領域の画素の輝度値が抽出された検査領域画像を生成する手段と、
前記検査領域の外部領域である検査対象外領域に対応する領域の画素の輝度値を前記拡張基準画像から抽出することにより、前記検査領域画像と合成したときに、前記検査対象外領域において輝度値の変化を抑制するように前記検査対象外領域の画素の輝度値が設定された検査対象外領域画像を生成する手段と、
前記検査領域画像と前記検査対象外領域画像とを合成することにより合成画像を生成する手段と、
前記基準画像と前記合成画像とに基づいて第1補正画像を生成する手段と、
前記第1補正画像における各画素の輝度値の変化量を算出して輝度変化量表示画像を生成する手段と、
前記第1補正画像と前記輝度変化量表示画像とから第2補正画像を生成する手段と、
前記第2補正画像を2値化して前記検査領域における連結領域を特定し、該連結領域の画素数と閾値とを対比する手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。 - 検査対象物の外観検査を行うための外観検査装置であって、
前記検査対象物を照明する照明手段と、
前記照明手段によって照明された前記検査対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された撮像画像に含まれる検査対象物画像に外接する四角形を求めることで、前記撮像画像における前記検査対象物画像の外形領域を決定する手段と、
前記外形領域に基づいて、前記撮像画像において処理を行う対象となる処理領域を決定する手段と、
前記検査対象物画像に対して基準となる基準部分を前記処理領域において含んでいる基準画像を生成する手段と、
前記外形領域のうち前記処理領域よりも外側の領域である外側領域において同じ行に位置する各画素の輝度値を、前記基準部分における当該行の各画素の輝度値の平均値によって置き換える処理を前記外側領域の各行について行うことで、前記基準画像が含んでいる前記基準部分を前記処理領域から前記外形領域にまで拡張した拡張基準画像を生成する手段と、
前記検査対象物画像における前記検査対象物の中央部とその周りに位置する周縁部とで輝度値が変化する変化点を複数算出し、該複数の変化点で構成される点列を線で近似することで求められた近似線により囲まれた領域を検査領域として決定する手段と、
前記撮像画像から前記検査領域に対応する領域の画素の輝度値が抽出された検査領域画像を生成する手段と、
前記検査領域の外部領域である検査対象外領域に対応する領域の画素の輝度値を前記拡張基準画像から抽出することにより、前記検査領域画像と合成したときに、前記検査対象外領域において輝度値の変化を抑制するように前記検査対象外領域の画素の輝度値が設定された検査対象外領域画像を生成する手段と、
前記検査領域画像と前記検査対象外領域画像とを合成することにより合成画像を生成する手段と、
前記基準画像と前記合成画像とに基づいて第1補正画像を生成する手段と、
前記第1補正画像における各画素の輝度値の変化量を算出して輝度変化量表示画像を生成する手段と、
前記第1補正画像と前記輝度変化量表示画像とから第2補正画像を生成する手段と、
前記第2補正画像を2値化して前記検査領域における連結領域を特定し、該連結領域の画素数と閾値とを対比する手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。 - 前記検査領域を決定する前記手段は、前記複数の変化点から前記近似線との距離が閾値より大きな変化点を除いた変化点で構成される点列を線で近似することで求められた新たな近似線により前記検査領域を決定することを特徴とする請求項8又は9に記載された外観検査装置。
- 検査対象物の外観検査を行うための外観検査装置であって、
前記検査対象物を照明する照明手段と、
前記照明手段によって照明された前記検査対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された撮像画像に含まれる検査対象物画像に対して基準となる基準画像を生成する手段と、
前記撮像画像と前記基準画像とから第1補正画像を生成する手段と、
前記検査対象物画像における前記検査対象物の中央部とその周りに位置する周縁部とで輝度値が変化する変化点を複数算出し、該複数の変化点で構成される点列を線で近似することで求められた近似線により囲まれた領域を検査領域として決定する手段と、
前記第1補正画像から前記検査領域に対応する領域の画素の輝度値が抽出された検査領域画像を生成する手段と、
前記検査領域の内側における前記検査領域画像の全画素について輝度値の平均値を算出し、前記検査領域の外側における各画素の輝度値を当該平均値とすると共に、前記検査領域の内側における各画素の輝度値を0とすることにより、前記検査領域画像と合成したときに、前記検査領域の外部領域である検査対象外領域において輝度値の変化を抑制するように前記検査対象外領域の画素の輝度値が設定された検査対象外領域画像を生成する手段と、
前記検査領域画像と前記検査対象外領域画像とを合成することにより合成画像を生成する手段と、
前記合成画像における各画素の輝度値の変化量を算出して輝度変化量表示画像を生成する手段と、
前記合成画像と前記輝度変化量表示画像とから第2補正画像を生成する手段と、
前記第2補正画像を2値化して前記検査領域における連結領域を特定し、該連結領域の画素数と閾値とを対比する手段とを備え、
前記検査対象外領域画像を生成する前記手段は、前記第1補正画像の前記検査領域に対応する領域の画素の輝度値に基づいて前記検査対象外領域に対応する領域の画素の輝度値を抽出することにより前記検査対象外領域画像を生成し、
前記検査領域を決定する前記手段は、前記複数の変化点から前記近似線との距離が閾値より大きな変化点を除いた変化点で構成される点列を線で近似することで求められた新たな近似線により前記検査領域を決定することを特徴とする外観検査装置。 - 前記検査領域を決定する前記手段は、前記検査領域と前記検査対象物画像の各隅において予め設定された領域である面取り領域とが重なったときに、前記検査領域から前記面取り領域を除いた領域を新たな検査領域として決定することを特徴とする請求項8〜11のいずれか1項に記載された外観検査装置。
- 前記輝度変化量表示画像を生成する前記手段は、ソーベルフィルタにより輝度値の変化量を算出することを特徴とする請求項8〜12のいずれか1項に記載された外観検査装置。
- 前記輝度変化量表示画像を生成する前記手段は、微分フィルタにより輝度値の変化量を算出することを特徴とする請求項8〜12のいずれか1項に記載された外観検査装置。
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