JP4349960B2 - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
本発明によるその他の特徴及び利点は、以下図面を用いた実施形態の説明により明らかになるだろう。
まず、撮像カメラ4から画像入力部7を介して順次送られてくるフレーム画像をメモリ8に取り込む(#01)。取り込まれた入力画像は、輝度調整部61によって輝度(濃度値)調整される(#02)。その際入力画像の特徴量が必要となるが、その特徴量は入力画像を所定の区画数で区画し、各区画毎に演算された濃度平均値の最大値を特徴量とすることが好ましい。この特徴量は次の2値化閾値の決定は撮像カメラ4のレンズ開口度の調整にも利用できる。2値化閾値決定部62aで2値化閾値が決定されるとともに(#03)、画像特徴抽出部62bで画像の平滑化及びエッジ強調を行った後(#04)、この入力画像は2値化処理されて2値化画像となる(#05)。
4:撮像カメラ
5:コントローラ
6:欠陥評価手段
30:発光素子(LED素子)
31:暗面
60A:前処理部
60B:欠陥決定部
61:輝度調整部
62:2値化処理部
63:欠陥候補(孤立点)抽出部
64:欠陥候補選別部
65:画像マスク生成部
66:ラベル設定部
67:面積演算部
68:欠陥判定部
Claims (3)
- 内側に所定形状の暗面を残すように発光素子を連続的に配置させたレイアウトパターンを複数組み合わせて構成された照明部と、前記照明部による照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラの出力信号を評価して前記被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段とから構成され、
前記欠陥評価手段が、前記出力信号から生成された前記被検査面の明暗画像における孤立した突出輝度領域を欠陥候補と判定する孤立点抽出部と、
前記明暗画像における連続する発光像画素を辿っていきながらその途切れ端の延長線領域に位置する暗領域を抽出し、前記連続配置された発光素子の発光像を示す領域を抽出し、その発光素子の発光像を示す領域に含まれる前記孤立した突出輝度領域を欠陥候補から除外する欠陥候補選別部
を備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 前記出力信号から前記明暗画像を生成する際に基準となる正常な被検査面から得られる前記連続配置された発光素子の発光像の輝度レベルに、実際の検査時の連続する発光像領域の輝度レベルが一致するように画像処理を行う前処理部が備えられていることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 欠陥候補から除外された前記突出輝度領域を含むその周辺領域及び背景などの不要画像領域が統合されて欠陥判定対象外領域としてマスク処理されることを特徴とする請求項2に記載の表面欠陥検査装置。
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