第1の実施形態
図1および図2は本発明の第1の実施形態の半導体発光装置1の構造を示す断面図である。また、図3は本発明の第1の実施形態の半導体発光装置1の構造を示す上面図である。図1は図3におけるA−A’間の断面図であり、図2は図3におけるB−B’間の断面図である。なお、図1ないし図3の半導体発光装置1は、半導体基板100に複数のLEDを一列に形成したLEDアレイであるが、半導体基板に1個のLEDを形成したものであっても良い。
半導体発光装置1は、半導体基板100と、層間絶縁膜105と、半導体基板100に形成されたZn拡散領域(p型拡散領域)106と、p側電極107と、n側電極108と、半導体基板100に形成されたエッチング領域110とを備えている。
半導体発光装置1は、n型半導体層を有する半導体基板100に、選択的にp型拡散領域106を形成した構造である。拡散領域形成前の半導体基板100は、n型GaAs基板101の上に、n型GaAsバッファー層102を設け、その上にn型のAlxGa1−xAs層(ただし1≧x≧0)103を設け、最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するためのn型のGaAs層104を設けた構造である。n型GaAsバッファー層102、AlxGa1−xAs層103、およびGaAs層104は、ここでは半導体エピタキシャル層である。
P型拡散領域106は、固相拡散法あるいは気相拡散法を用い、p型不純物であるZnを半導体基板100の表面(上面)から選択的に拡散させることにより、n型のGaAs層104内およびn型のAlxGa1−xAs層103内に形成される。このp型拡散領域106は、GaAs層104内のZn拡散領域であるGaAs−Zn拡散領域(p型GaAs領域)106aと、AlxGa1−xAs層103内のZn拡散領域であるAlxGa1−xAs−Zn拡散領域(p型AlxGa1−xAs領域)106bとにより構成される。また、p型拡散領域106を形成することにより、n型のGaAs層104には、p型GaAs領域106aと、これ以外の領域であるn型GaAs領域104aとが混在することになる。また、AlxGa1−xAs層103には、p型AlxGa1−xAs領域106bと、これ以外の領域であるn型AlxGa1−xAs領域103aとが混在するようになる。
P型拡散領域106の拡散フロント130は、半導体基板100の積層方向と略垂直な部分である深さ方向拡散フロント130aと、深さ方向拡散フロント103a以外の横方向拡散フロント130bからなる。深さ方向拡散フロント130aは、AlxGa1−xAs層103の内部にある。
なお、本発明において、拡散フロントは、半導体層と、不純物を拡散することにより上記の半導体層に形成された拡散領域との界面領域を表すものとする。従って、n型半導体層にp型拡散領域を形成した場合、およびp型半導体層にn型拡散領域を形成した場合には、拡散領域の拡散フロントは、半導体層と拡散領域とによるpn接合面を表すものとする。この場合、拡散領域の拡散フロントをエッチング除去するということは、pn接合面をエッチング除去することを意味する。ただし、半絶縁性半導体層にp型またはn型の拡散領域を形成した場合には、拡散領域の拡散フロントは、半絶縁性半導体層と拡散領域との界面領域を表すが、拡散フロントはpn接合面ではない。
半導体発光装置1は、半導体基板100の表面付近に形成された横方向拡散フロントをエッチング除去したことを特徴とする。p型拡散領域106の形成が済んだ半導体基板100の表面に、ドライエッチング法またはウエットエッチング法を用い、エッチング領域110を形成することにより、GaAs層104内、およびGaAs層104とAlxGa1−xAs層103の界面近傍に形成された横方向拡散フロント130bを除去する。エッチング領域110は、基板表面(GaAs層104の上面)からAlxGa1−xAs層103のGaAs層104との界面近傍の層領域までの横方向拡散フロント130bを含む基板領域に形成される。これにより、p型GaAs領域106aとn型GaAs領域104aとが、p型GaAs領域106aを取り囲むように形成されたエッチング領域110により空間的に分離され、拡散フロント130およびこの拡散フロント130によるpn接合109が、AlxGa1−xAs層103の内部だけに存在する構造となる。
エッチング領域110が形成された半導体基板100の表面上には、層間絶縁膜105が形成される。この層間絶縁膜105は、n型GaAs領域104aおよびエッチング領域110の全領域、ならびにp型GaAs拡散領域106aの周部領域を被覆している。層間絶縁膜105としては、例えば、SiN膜が形成されている。また、p型GaAs領域106a上には、このp型GaAs領域にオーミックコンタクトするp側電極107が形成されている。層間絶縁膜105は、p側電極107の配線がn型GaAs領域104aまたはn型AlxGa1−xAs領域103aに接触してp型半導体領域とn型半導体領域がショートしないように設けられたものである。また、半導体基板100の裏面(下面)であるn型GaAs基板101の表面には、このGaAs基板にオーミックコンタクトするn側電極108が形成されている。p側電極107としては、例えば、Alからなる電極が形成されている。p側電極107としては、Auを含む材料を用いることもできる。また、n側電極108としては、例えば、Au合金からなる電極が形成されている。
複数のLEDを半導体基板100に形成した半導体発光装置1において、n側電極108と、n型半導体領域(n型GaAs基板101、n型GaAsバッファー層102、およびn型AlxGa1−xAs領域103a)と、p型拡散領域106と、p側電極107とは、1個のLEDを構成している。n側電極108およびn型半導体領域は、上記複数のLEDに共通のものである。また、Zn拡散領域106およびp側電極107は、LEDごとに個別に設けられている。
次に、第1の実施形態の半導体発光装置1の動作を説明する。p側電極107とn側電極108の間に順方向電圧を印加すると、pn接合面109を介し、n型半導体領域からp型拡散領域106に少数キャリアとして電子が注入され、またp型拡散領域106からn型半導体領域に少数キャリアとして正孔が注入される。pn接合109は、最上層のGaAs層104内には存在せず、AlxGa1−xAs層103の内部だけに存在するので、順方向に電流を流した場合には、AlxGa1−xAs層103の内部だけで上記の少数キャリアの注入が起こる。従って、発光はAlxGa1−xAs層103内で起こり、発生する光は、AlxGa1−xAs層103のエネルギバンドギャップに相当するエネルギ(波長)の光である。また、AlxGa1−xAsのバンドギャップは主にAl組成比xによって決まる。従って、AlxGa1−xAs層103のAl組成比xによって発光波長を決めることができる。
AlxGa1−xAs層103で発生した光は、GaAs層104との界面あるいはエッチング領域110に到達する。最上層のGaAs層104のエネルギバンドギャップは、AlxGa1−xAs層103のエネルギバンドギャップよりも小さく、従ってAlxGa1−xAs層103で発生した光のエネルギ(発光波長)よりも小さいので、AlxGa1−xAs層103で発生した光は、GaAs層104内を通過するときに吸収される。しかし、GaAs層104の層厚は、例えば500[Å]程度に薄くすることができるので、GaAs層104での光吸収密度は小さい。また、p側電極107はp型GaAs領域106aを通過してきた光を反射してしまうが、層間絶縁膜105はGaAs層104を通過してきた光およびエッチング領域110に到達した光を透過させる。従って、p側電極107の形成領域を除く基板表面に到達した光が外部に放射される。
従来の半導体発光装置(図33および図34参照)では、基板表面付近にpn接合が形成されている。基板表面付近では、p型不純物の拡散に伴う結晶欠陥の密度が高いので、発光再結合効率が低い。これに対し、基板内部では発光再結合効率が高い。基板表面付近でのキャリア注入密度が高く、基板内部のpn接合でのキャリア注入密度が低いほど、発光再結合成分が減少し、非発光再結合成分が増加するので、LEDの発光効率が低下する。基板表面付近にpn接合が形成されている従来の半導体発光装置では、基板表面付近でキャリアの注入が起こり、注入されたキャリアは基板表面付近で再結合する。基板表面付近にpn接合が形成されていなければ、基板表面付近でキャリアの注入が起こらず、これにより基板表面付近での再結合成分が減少し、基板内部での再結合成分が増加するので、発光再結合成分が増加し、LEDの発光効率を高くすることができる。
また、n型の第1半導体層の上の最上層に、電極とオーミックコンタクトを形成するための、第1半導体層よりもバンドギャップが小さいn型の第2半導体層を設けた半導体基板に、p型拡散領域を形成した場合(半導体発光装置1において最上層のGaAs層104内にpn接合が形成されている場合)には、少数キャリアの注入は主に第2半導体層内のpn接合を介して起こり、注入された少数キャリアは主に第2半導体層内で再結合する(第2半導体層内の再結合成分が主になる)。最上層の第2半導体層では、p型不純物の拡散に伴う結晶欠陥の密度が高く、発光再結合効率が低いので、第2半導体層内の再結合成分が主になると、発光再結合成分が著しく減少する。従って、第1の半導体層よりもエネルギバンドギャップが小さい最上層の第2半導体層がn型である場合には、LEDの発光効率は著しく低くなる。また、発光波長は最上層の第2半導体層のエネルギバンドギャップに相当する波長になってしまう。
さらに、従来の半導体発光装置(図33および図34参照)では、基板表面付近に拡散フロントが形成されている。基板表面付近の拡散フロント、特に基板表面付近の半導体層の界面近傍の拡散フロントには、微視的形状が急激に変化する部分がある。拡散フロント形状が急激に変化する領域では、急激に変化していない領域よりも、電界が高くなり、キャリアの注入密度が高くなる。高電界領域が発生すると、高電界でない領域のキャリア注入密度が減少する。従って、上記の界面近傍の領域は、高電界領域となり、キャリアの注入密度が高くなる。半導体発光装置1において基板表面付近に拡散フロントが形成されている場合には、GaAs層104とAlxGa1−xAs層103の界面近傍は高電界領域となり、この高電界領域のpn接合を介して注入されたキャリアは、主にGaAs層104内で再結合する。GaAs層104のp型GaAs領域106aはZn拡散に伴う結晶欠陥の密度が高いので、GaAs領域104内での再結合は発光再結合効率が低い。上記の界面近傍に高電界領域が発生しなければ、AlxGa1−xAs層103内での再結合成分が増加し、これにより発光再結合成分が増加するので、LEDの発光効率をさらに高くすることができる。
半導体発光装置1は、GaAs層104内およびGaAs層104とAlxGa1−xAs層103の界面近傍の横方向拡散フロント130bを除去し、AlxGa1−xAs層103の内部のみに拡散フロント130およびpn接合面109が存在する構造なので、またGaAs層104内でのキャリア注入が起こらず、また上記界面近傍に高電界領域が発生しない。これにより、AlxGa1−xAs層103内でのキャリアの注入密度を増加させ、発光再結合成分を増加させることができるので、LEDの発光効率を向上させることができる。また、AlxGa1−xAs層103のエネルギバンドギャップに相当する波長の光を発生させることができる。
このように第1の実施形態によれば、n型のAlxGa1−xAs層103の上の最上層にn型のGaAs層104を形成した半導体基板100を用い、GaAs層104内およびAlxGa1−xAs層103内に選択的にp型拡散領域106を形成し、GaAs層104内の横方向拡散フロント、およびGaAs層104とAlxGa1−xAs層103の界面近傍の横方向拡散フロントをエッチング除去した構造としたことにより、LEDの発光効率を向上させることができる。
なお、上記第1の実施形態では、エッチング領域110の底面が、AlxGa1−xAs層103のGaAs層104との界面近傍の層領域に位置する構造としたが、GaAs層104とAlxGa1−xAs層103の界面に底面が位置するようにエッチング領域を形成し、AlxGa1−xAs層103の上記層領域内の横方向拡散フロントを除去せずに、GaAs層104内の横方向拡散フロントのみを除去した構造としても良い。このような構造でも、GaAs層104内での再結合成分は極端に減少し、発光効率を向上させることができる。
第2の実施形態
図4は第2の実施形態の半導体発光装置2の構造を示す断面図である。この半導体発光装置2の上面図は上記第1の実施形態の図3と同じであり、図4は図3におけるA−A’間の断面図である。なお、図4において、図1と同じものには同じ符号を付してある。
半導体発光装置2は、最上層に半絶縁性のGaAs層204を設けた半導体基板200に、Zn拡散領域(p型拡散領域)106およびエッチング領域110を形成したものである。
なお、本発明において、半絶縁性とは、真性またはノンドープの意である。半導体材料によっては、ノンドープでエピタキシャル層等を作製した場合に、真性半導体にならずに、薄いn型あるいは薄いp型の半導体になることがある。しかし本発明では、このようなノンドープの半導体でも比抵抗が真性半導体と同等であると見なすことができる半導体も含んでいる。
P型拡散領域106は、半絶縁性のGaAs層204内およびn型のAlxGa1−xAs層(ただし1≧x≧0)103内に形成される。p型拡散領域106を形成することにより、半絶縁性のGaAs層204には、p型拡散領域106を構成するGaAs−Zn拡散領域(p型GaAs領域)106aと、これ以外の領域である半絶縁性GaAs領域204aとが混在することになる。
半導体発光装置2では、GaAs層204が半絶縁性なので、p型拡散領域106を形成しても、GaAs層204内にはpn接合が形成されない。しかし、p型拡散領域106を形成すると、基板表面付近に拡散フロントが形成される。
基板表面付近の拡散フロント、特にGaAs層204とAlxGa1−xAs層103の界面近傍の拡散フロントには、微視的形状が急激に変化する部分がある。拡散フロント形状が急激に変化する領域では、急激に変化していない領域よりも、電界が高くなり、キャリアの注入密度が高くなる。高電界領域が発生すると、高電界でない領域のキャリア注入密度が減少する。従って、上記の界面近傍の領域は、高電界領域となり、キャリアの注入密度が高くなる。上記界面近傍の高電界領域のpn接合(上記界面近傍のAlxGa1−xAs層103側に形成されたpn接合)からp型AlxGa1−xAs領域106bに注入されたキャリア(電子)は、GaAs層104のエネルギバンドギャップがAlxGa1−xAs層103よりも小さいので、p型GaAs領域106aに拡散し、p型GaAs領域106a内で再結合する。p型GaAs領域106aはZn拡散に伴う結晶欠陥の密度が高いので、p型GaAs領域106a内での再結合は発光再結合効率が低い。上記の界面近傍に高電界領域が発生しなければ、AlxGa1−xAs層103内での再結合成分が増加し、これにより発光再結合成分が増加するので、LEDの発光効率をさらに高くすることができる。
半導体発光装置2は、GaAs層204とAlxGa1−xAs層103の界面近傍に形成された横方向拡散フロントを、エッチング領域110を設けることにより除去し、AlxGa1−xAs層103の内部のみに拡散フロント130およびpn接合109が存在する構造なので、上記の界面近傍に高電界領域が発生しない。これにより、AlxGa1−xAs層103内での再結合成分を増加させ、発光再結合成分を増加させることができるので、発光効率を向上させることができる。
このように第2の実施形態によれば、n型のAlxGa1−xAs層103の上の最上層に半絶縁性のGaAs層204を設けた半導体基板200を用い、GaAs層204内およびAlxGa1−xAs層103内に選択的にp型拡散領域106を形成し、GaAs層204とAlxGa1−xAs層103の界面近傍に形成された横方向拡散フロントをエッチング除去した構造としたことにより、上記第1の実施形態と同様に、LEDの発光効率を向上させることができる。
また、層間絶縁膜105の下は半絶縁性GaAs領域204aなので、p型電極形成領域下の層間絶縁膜105にダメージ等があっても、ショートが発生せず、不良発生率を低減することができる。
第3の実施形態
図5および図6は本発明の第3の実施形態の半導体発光装置3の構造を示す断面図である。この半導体発光装置3の上面図は上記第1の実施形態の図3と同じであり、図5は図3におけるA−A’間の断面図であり、図6は図3におけるB−B’間の断面図である。なお、図5および図6において、図1および図2と同じものには同じ符号を付してある。
半導体発光装置3は、半導体基板300と、層間絶縁膜105と、半導体基板300に形成されたZn拡散領域(p型拡散領域)306と、p側電極107と、n側電極108と、半導体基板100に形成されたエッチング領域310とを備えている。
半導体発光装置3は、n型半導体層を有する半導体基板300に、選択的にp型拡散領域306を形成した構造である。拡散領域形成前の半導体基板300は、n型GaAs基板101の上に、n型GaAsバッファー層102を設け、その上にn型のAlxGa1−xAs層(ただし1≧x≧0)303を設けた構造である。つまり、図1および図2の半導体基板100において、AlxGa1−xAs層103をAlxGa1−xAs層303とし、GaAs層104を設けない構造である。AlxGa1−xAs層303は、電極とオーミックコンタクトを形成する半導体層であり、Alの酸化により上記のオーミックコンタクト形成に影響を及ぼすことがないように、Al組成比xを小さくしたものである。このAl組成比xは、例えばx=0.15である。
P型拡散領域306は、Znを半導体基板300の表面から選択的に拡散させることにより、n型のAlxGa1−xAs層303内に形成される。p型拡散領域306を形成することにより、n型のAlxGa1−xAs層303は、p型拡散領域306と、これ以外の領域であるn型AlxGa1−xAs領域303aになる。
半導体発光装置3は、横方向拡散フロント330bにより半導体基板300の表面付近に形成されたpn接合面をエッチング除去したことを特徴とする。p型拡散領域306の形成が済んだ半導体基板300の表面側にエッチング領域310を形成することにより、最上層のAlxGa1−xAs層303の表面付近に形成されたpn接合面を除去する。これにより、基板表面付近のp型拡散領域306とn型AlxGa1−xAs領域303aとがエッチング領域310により空間的に分離され、拡散フロント330によるpn接合面309が、AlxGa1−xAs層303の内部だけに形成された構造となる。
層間絶縁膜105は、エッチング領域310が形成されたAlxGa1−xAs層303上に形成される。また、p側電極107は、p型拡散領域306上および層間絶縁膜105上に形成され、p型拡散領域306にオーミックコンタクトしている。複数のLEDを半導体基板300に形成した半導体発光装置3において、n側電極108と、n型半導体領域(n型GaAs基板101、n型GaAsバッファー層102、およびn型AlxGa1−xAs領域303a)と、p型拡散領域306と、p側電極107とは、1個のLEDを構成している。
次に、第3の実施形態の半導体発光装置3の動作を説明する。p側電極107とn側電極108の間に順方向電圧を印加すると、上記第1の実施形態と同様に、pn接合面309を介し、p型拡散領域306およびn型AlxGa1−xAs領域303aにそれぞれ少数キャリアが注入され、AlxGa1−xAs層303において発光が起こる。発生する光は、AlxGa1−xAs層303のエネルギバンドギャップに相当する波長の光である。AlxGa1−xAs層303で発生した光は、AlxGa1−xAs層303の表面あるいはエッチング領域310の底面に到達し、直接あるいは層間絶縁膜105を透過して外部に放射される。
半導体発光装置3では、横方向拡散フロント303bは、基板表面付近(AlxGa1−xAs層303の上面付近)において、半導体層の積層界面と交差していないが、その形状が急激に変化する場合がある。この基板表面付近の拡散フロント形状の急激な変化は、半導体基板300と層間絶縁膜105(この層間絶縁膜105はZn拡散工程において拡散マスク膜として用いられる)の間の密着性や膜ストレス等により生じる。例えば、基板表面付近の拡散フロントが鋭く尖った形状を含むことがある。拡散フロント形状が急激に変化する領域では、急激に変化していない領域よりも、電界が高くなり、キャリアの注入密度が高くなる。また、AlxGa1−xAs層303の上面付近では、Zn拡散に伴う結晶欠陥の密度が高いので、AlxGa1−xAs層303の上面付近では、AlxGa1−xAs層303の内部よりも発光再結合効率が低くなる。
半導体発光装置3は、AlxGa1−xAs層303の上面付近の横方向拡散フロント330bを除去し、AlxGa1−xAs層303の内部のみに拡散フロント330およびpn接合面309が存在する構造なので、基板表面付近に上記の高電界領域が発生しない。これにより、基板表面付近でのキャリアの注入密度を低減し、AlxGa1−xAs層303の内部でのキャリアの注入密度を増加させ、発光再結合成分を増加させることができるので、LEDの発光効率を向上させることができる。
このように第3の実施形態によれば、最上層にn型のAlxGa1−xAs(x=0.15)層303を設けた半導体基板300を用い、AlxGa1−xAs層303内に選択的にp型拡散領域306を形成し、基板表面付近(AlxGa1−xAs層303の上面付近)の横方向拡散フロントをエッチング除去した構造としたことにより、上記第1の実施形態と同様に、LEDの発光効率を向上させることができる。
第4の実施形態
図7および図8は本発明の第4の実施形態の半導体発光装置4の構造を示す断面図である。また、図9は本発明の第4の実施形態の半導体発光装置4の構造を示す上面図である。図7は図9におけるD−D’間の断面図であり、図8は図9におけるE−E’間の断面図である。なお、図7ないし図9において、図1ないし図3と同じものには同じ符号を付してある。また、図7ないし図9の半導体発光装置4は、半導体基板400に複数のLEDを一列に形成したLEDアレイであるが、半導体基板に1個のLEDを形成したものであっても良い。
半導体発光装置4は、半導体基板400と、層間絶縁膜105と、半導体基板400に形成されたZn拡散領域(p型拡散領域)106と、p側電極107と、n側電極408と、半導体基板400に形成されたエッチング領域110とを備えている。
半導体発光装置4は、上記第1の実施形態の半導体発光装置1と同様に、n型半導体層を有する半導体基板400に、選択的にp型拡散領域106を形成した構造である。拡散領域形成前の半導体基板400は、半絶縁性GaAs基板401の上に、半絶縁性GaAsバッファー層402を設け、その上にn型のAlxGa1−xAs層103を設け、最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するためのn型のGaAs層104を設けた構造である。つまり、図1および図2の半導体基板100において、n型GaAs基板101およびn型GaAsバッファー層102を、それぞれ半絶縁性GaAs基板401および半絶縁性GaAsバッファー層402にしたものである。
半導体発光装置4は、上記第1の実施形態の半導体発光装置1と同様に、半導体基板400の表面付近に形成された横方向拡散フロントおよびpn接合をエッチング除去した構造である。p型拡散領域106の形成が済んだ半導体基板400の表面にエッチング領域110を形成することにより、GaAs層104内、およびGaAs層104とAlxGa1−xAs層103の界面近傍に形成された横方向拡散フロント130bを除去する。これにより、p型GaAs領域106aとn型GaAs領域104aとが、p型GaAs領域106aを取り囲むように形成されたエッチング領域110により空間的に分離され、拡散フロント130およびこの拡散フロント130によるpn接合面109が、AlxGa1−xAs層103の内部だけに形成された構造となる。
また、半導体発光装置4の層間絶縁膜105には、p型GaAs領域106aを露出させる開口部105aの他にn型GaAs領域104aを露出させる開口部105bが設けられており、n側電極408は、p側電極107と同じ基板表面側に設けられており、開口部105bにおいてn型GaAs領域104aにオーミックコンタクトしている。n側電極408としては、例えば、Au合金からなる電極が形成されている。つまり、半導体発光装置4は、上記第1の実施形態の半導体発光装置1において、n側電極を、半導体基板の裏面ではなく、p側電極と同じ基板表面側に設けたものである。なお、半導体発光装置4の動作は、上記第1の実施形態の半導体発光装置1と同様であるので、その説明を省略する。
半導体発光装置4では、GaAs層104内およびGaAs層104とAlxGa1−xAs層103の界面近傍のpn接合面を除去し、AlxGa1−xAs層103の内部のみにpn接合面109が存在する構造なので、基板表面付近のキャリア注入密度が高くなることはなく、高発光効率の半導体発光装置を実現できる。
また、n側電極408を半導体基板400の表面側に設けたことにより、マトリクス駆動型のLEDアレイを作製することが可能となる。図10はマトリクス駆動型のLEDアレイの構造を示す上面図である。図10のLEDアレイは、n型半導体層分離領域2007により複数の半導体ブロック2008に電気的に分離されたn型半導体層を有する半導体基板に、p型拡散領域2001と、p側個別配線2002と、p側共通配線2003と、p側電極パッド2005と、n側電極パッド2006とを形成したものである。
P型拡散領域2001は、p型不純物を選択的に拡散させることにより半導体ブロック2008にそれぞれ複数個ずつ形成されている。p側個別配線2002は、p型拡散領域2001にそれぞれ個別にコンタクトしている。各半導体ブロック2008に形成された同順位のLEDから延びるp側個別配線2002は、p側共通配線2003に層間絶縁膜のコンタクトホール2004で接続している。p側電極パッド2005は、所定のp側共通配線2003に接続されている(図10では、所定のp側個別配線2002に一体形成されている)。n側電極パッド2006は、半導体ブロック2008のn型領域にコンタクトしている。なお、p側個別配線2002とp側共通配線2003の間には、図示しない層間絶縁膜が形成されており、コンタクトホール2004はこの層間絶縁膜に設けられている。
このようなマトリクス駆動型LEDアレイは、点灯するLEDに接続されているp側共通配線2003と結線したp側電極パッド2005と、点灯するLEDの半導体ブロック2008に接続されたn側電極パッド2006との間に順方向電圧を印加することにより、所望のLEDを発光させることができ、全てのLEDに共通のn側電極パッドを設け、LEDごとにp側電極パッドを設けた場合よりも、電極パッドの総数を少なくすることができる。
図10のマトリクス駆動型LEDアレイの半導体基板は、半導体発光装置4の半導体基板400に対応し、半導体ブロック2008は、半導体発光装置4のGaAs層104およびAlxGa1−xAs層103に対応する。また、p型拡散領域2001はZn拡散領域106に対応し、p側個別配線2002はp側電極107に対応し、n側電極パッド2006はn側電極408に対応する。従って、図10のLEDアレイに、半導体発光装置4のエッチング領域110に対応するエッチング領域を設け、半導体ブロック2008の表面近傍の横方向拡散フロントを除去すれば、高発光効率のマトリクス駆動型LEDアレイを実現できる。
このように第4の実施形態によれば、半絶縁性GaAs基板401および半絶縁性GaAsバッファー層402の上にn型のAlxGa1−xAs層103を形成し、その上の最上層にn型のGaAs層104を形成した半導体基板400を用い、GaAs層104内およびAlxGa1−xAs層103内に選択的にp型拡散領域106を形成し、GaAs層104内の横方向拡散フロント、およびGaAs層104とAlxGa1−xAs層103の界面近傍の横方向拡散フロントをエッチング除去した構造としたことにより、LEDの発光効率を向上させることができる。
また、n側電極408を半導体基板400の表面側に設けたことにより、高発光効率のマトリクス駆動型LEDアレイを作製することが可能となる。
なお、半導体発光装置4がマトリクス駆動型LEDアレイでない場合には、半絶縁性GaAs基板401および半絶縁性GaAsバッファー層402は、それぞれn型GaAs基板およびn型GaAsバッファー層であっても良い。
第5の実施形態
図11および図12は本発明の第5の実施形態の半導体発光装置5の構造を示す断面図である。この半導体発光装置5の上面図は上記第1の実施形態の図3と同じであり、図11は図3におけるA−A’間の断面図であり、図12は図3におけるB−B’間の断面図である。また、図13は半導体発光装置5におけるGaAs層104のエッチング除去領域を説明する上面図である(上記第1の実施形態の半導体発光装置1におけるGaAs層104のエッチング除去領域を説明する上面図も図13と同じである)。図13では、層間絶縁膜105およびp側電極107の図示を省略してある。なお、図11および図12において、図1および図2と同じものには同じ符号を付してある。
半導体発光装置5は、半導体基板500と、層間絶縁膜105と、半導体基板500に形成されたZn拡散領域(p型拡散領域)506と、p側電極107と、n側電極108と、半導体基板500に形成されたエッチング領域510とを備えている。
半導体発光装置5は、半導体基板500に選択的にp型拡散領域506を形成した構造である。拡散領域形成前の半導体基板500は、n型GaAs基板101の上に、n型GaAsバッファー層102を設け、その上にn型のAlxGa1−xAs層(ただし1≧x>0)513、n型のAlyGa1−yAs層(ただし1>y≧0)514、n型のAlzGa1−zAs層(ただし1≧z>0)515からなる積層構造のAlGaAs層503を設け、最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するためのn型のGaAs層104を設けた構造である。つまり、上記第1の実施形態の半導体発光装置1において、半導体基板100のAlxGa1−xAs層103を、AlxGa1−xAs層513とAlyGa1−yAs層514とAlzGa1−zAs層515の積層構造としたものである。AlyGa1−yAs層514は、深さ方向拡散フロントが形成され、所望波長の光を発生させる発光層となる半導体層であり、半導体発光装置1のAlxGa1−xAs層103に対応する。また、AlyGa1−yAs層514の上層および下層となるAlzGa1−zAs層515およびAlxGa1−xAs層513は、AlyGa1−yAs層514内のpn接合面を介して注入されたキャリアをAlyGa1−yAs層514内に閉じ込め、キャリアの再結合効率を向上させるためのクラッド層となる半導体層である。
AlxGa1−xAs層513、AlyGa1−yAs層514、AlzGa1−zAs層515の各Al組成比x,y,zは、x>y、z>yであるものとする。従って、AlxGa1−xAs層513、AlyGa1−yAs層514、AlzGa1−zAs層515のエネルギバンドギャップをそれぞれEg(513),Eg(514),Eg(515)とすると、Eg(513)>Eg(514)、Eg(515)>Eg(514)である。AlxGa1−xAs層513、AlyGa1−yAs層514、AlzGa1−zAs層515は、ここでは半導体エピタキシャル層である。
P型拡散領域506は、Znを半導体基板500の表面から選択的に拡散させることにより、GaAs層104内、AlzGa1−zAs層515内、およびAlyGa1−yAs層514内に形成される。このp型拡散領域506は、GaAs層104内のZn拡散領域であるGaAs−Zn拡散領域(p型GaAs領域)506aと、AlzGa1−zAs層515内のZn拡散領域であるAlzGa1−zAs−Zn拡散領域(p型AlzGa1−zAs領域)506bと、AlyGa1−yAs層514内のZn拡散領域であるAlyGa1−yAs−Zn拡散領域(p型AlyGa1−yAs領域)506cとにより構成される。また、p型拡散領域506を形成することにより、GaAs層104には、p型GaAs領域506aと、n型GaAs領域とが混在するようになる。また、AlzGa1−zAs層515には、p型AlzGa1−zAs領域506bと、n型AlzGa1−zAs領域とが混在するようになる。また、AlyGa1−yAs層514には、p型AlyGa1−yAs領域506cと、n型AlyGa1−yAs領域とが混在するようになる。p型拡散領域506の深さ方向拡散フロント506aは、AlyGa1−yAs層514内にある。
半導体発光装置5は、半導体基板500の表面付近に形成された横方向拡散フロントおよびpn接合をエッチング除去したことを特徴とする。p型拡散領域506の形成が済んだ半導体基板500の表面にエッチング領域510を形成することにより、最上層のGaAs層104に形成されたpn接合、およびGaAs層104とAlzGa1−zAs層515の界面近傍に形成されたpn接合を除去する。これにより、p型GaAs領域506aとn型GaAs領域とが、p型GaAs領域506aを取り囲むように形成されたエッチング領域510により空間的に分離され、拡散フロント530によるpn接合面509が積層構造のAlGaAs層503の内部だけに形成された構造となる。
複数のLEDを半導体基板500に形成した半導体発光装置5において、n側電極108と、n型半導体領域(n型GaAs基板101、n型GaAsバッファー層102、およびAlGaAs層503のn型AlGaAs領域)と、p型拡散領域506と、p側電極107とは、1個のLEDを構成している。
次に、第5の実施形態の半導体発光装置5の動作を説明する。p側電極107とn側電極108の間に順方向電圧を印加すると、pn接合を介してp型拡散領域506とn型半導体領域に、少数キャリアとしてそれぞれ電子と正孔が注入される。
Pn接合面509は、p側電極107とオーミックコンタクトをとるために設けられた最上層のGaAs層104内には存在せず、AlzGa1−zAs層515内およびAlyGa1−yAs層514内に存在する。また、AlzGa1−zAs層515のエネルギバンドギャップは、AlyGa1−yAs層514のエネルギバンドギャップよりも大きい。従って、順方向に電流を流した場合には、AlyGa1−yAs層514内のpn接合面を介して少数キャリアが注入される。
さらに、p型AlyGa1−yAs領域506cに注入された電子は、AlzGa1−zAs層515とAlyGa1−yAs層514との間のエネルギ障壁によりp型AlzGa1−zAs領域506bには拡散できない。従って、p型AlyGa1−yAs領域506cに注入された電子は、全てAlyGa1−yAs層514内で正孔と再結合する。また、AlxGa1−xAs層513のエネルギバンドギャップは、AlyGa1−yAs層514のエネルギバンドギャップよりも大きいので、n型AlyGa1−yAs領域に注入された正孔は、AlxGa1−xAs層513とAlyGa1−yAs層514との間のエネルギ障壁によりn型AlxGa1−xAs領域には拡散できない。従って、n型AlyGa1−yAs領域に注入された正孔は、全てAlyGa1−yAs層514内で電子と再結合する。
このように、順方向電流を流した場合に、AlyGa1−yAs層514内のpn接合面を介して少数キャリアが注入され、注入されたキャリアはAlyGa1−yAs層514内に閉じ込められ、全てAlyGa1−yAs層514内で再結合するので、AlyGa1−yAs層514内で光が発生する。従って、発生した光はAlyGa1−yAs層514のエネルギバンドギャップに相当するエネルギの光である。また、少数キャリアをAlyGa1−yAs層514内に閉じ込めることができるので、キャリアの再結合効率が向上し、これにより発光効率が向上する。
AlyGa1−yAs層514で発生した光のエネルギは上層のAlzGa1−zAs層515のエネルギバンドギャップより小さいので、上記の光はAlzGa1−zAs層515で吸収されず、このAlzGa1−zAs層515を透過し、GaAs層104あるいはエッチング領域510に到達する。最上層のGaAs層104のエネルギバンドギャップは、AlyGa1−yAs層514のエネルギバンドギャップよりも小さく、従ってAlyGa1−yAs層514で発生した光のエネルギよりも小さいので、上記の光はGaAs層104内を通過するときに吸収される。しかし、GaAs層104の層厚は、例えば500[Å]程度に薄くすることができるので、GaAs層104での光吸収密度は小さい。従って、p側電極107の形成領域を除く基板表面に到達した光が外部に放射される。
基板表面付近の拡散フロントが除去されていない場合には、最上層のGaAs層104内にもpn接合が形成され、少数キャリアの注入は主にGaAs層104内に形成されているpn接合を介して起こり、注入された少数キャリアは主にGaAs層104内で再結合する。また、基板表面付近の拡散フロント、特にGaAs層104とAlGaAs層503の界面近傍の拡散フロントには、高電界領域が形成され、この領域のキャリアの注入密度が高くなる。最上層のGaAs層104内では発光再結合効率が低いので、基板表面付近に拡散フロントがある場合には、非発光再結合成分が増加し、LEDの発光効率は低下する。
半導体発光装置5は、GaAs層104内およびGaAs層104とAlGaAs層503の界面近傍の横方向拡散フロント530bを除去し、AlGaAs層503の内部のみに拡散フロント530およびpn接合面509が存在する構造なので、上記の高電界領域が発生せず、またGaAs層104内でのキャリア注入が起こらない。これにより、AlGaAs層503(AlyGa1−yAs層514)内でのキャリアの注入密度を増加させ、発光再結合成分を増加させることができるので、LEDの発光効率を向上させることができる。
このように第5の実施形態によれば、発光層の上下にクラッド層を設けた積層構造のn型AlGaAs層503の上の最上層にn型GaAs層104を形成した半導体基板500を用い、GaAs層104内およびAlGaAs層503内に選択的にp型拡散領域506を形成し、GaAs層104内の横方向拡散フロント、およびGaAs層104とAlGaAs層503の界面近傍の横方向拡散フロントをエッチング除去した構造としたことにより、LEDの発光効率を向上させることができる。
なお、上記第5の実施形態では、エッチング領域510の底面が、AlzGa1−zAs層515のGaAs層104との界面近傍の層領域に位置する構造としたが、図14の半導体発光装置6のように、GaAs層104とAlzGa1−zAs層515の界面に底面が位置するエッチング領域610を形成することにより、AlzGa1−zAs層515の上記層領域内のpn接合を除去せずに、GaAs層104内のpn接合のみを除去した構造としても良い。半導体発光装置6のような構造でも、GaAs層104内での再結合成分は極端に減少し、発光効率を向上させることができる。
また、上記第5の実施形態では、電極とオーミックコンタクトを形成するために最上層にGaAs層104を設けたが、このGaAs層104は、電極とオーミックコンタクトを形成することができるようにAl組成比を0.2以下に小さくしたAlGaAs層であっても良い。
また、上記第5の実施形態では、電極とオーミックコンタクトを形成するための最上層のGaAs層104がn型であるが、最上層のGaAs層は半絶縁性のGaAs層でも良い。
第6の実施形態
図15および図16は第6の実施形態の半導体発光装置7の構造を示す断面図である。この半導体発光装置7の上面図は上記第1の実施形態の図3と同じであり、図15は図3におけるA−A’間の断面図であり、図16は図3におけるB−B’間の断面図である。なお、図15および図16において、図4、図11、および図12と同じものには同じ符号を付してある。
半導体発光装置7は、最上層に半絶縁性のGaAs層204を設けた半導体基板700に、Zn拡散領域(p型拡散領域)506およびエッチング領域510を形成したものである。
P型拡散領域506は、半絶縁性のGaAs層204内、n型のAlzGa1−zAs層(ただし1≧z>0)515内、およびn型のAlyGa1−yAs層(ただし1>y≧0)514内に形成される。p型拡散領域506を形成することにより、半絶縁性のGaAs層204には、p型拡散領域506を構成するGaAs−Zn拡散領域(p型GaAs領域)506aと、これ以外の半絶縁性GaAs領域とが混在するようになる。
半導体発光装置7では、GaAs層204が半絶縁性なのでp型拡散領域506を形成しても、GaAs層204内にはpn接合が形成されない。しかし、p型拡散領域506を形成すると、GaAs層204とAlGaAs層503の界面近傍に拡散フロントが形成される。上記の界面近傍の拡散フロント形状は微視的には急激に変化するので、上記の界面近傍は高電界領域となり、キャリアの注入密度が高くなる。この界面近傍のpn接合(上記界面のAlGaAs層503側に形成されpn接合)からp型AlGaAs領域(p型AlzGa1−zAs506b)に注入されたキャリア(電子)は、p型GaAs領域506aに拡散し、p型GaAs領域506a内で再結合する。p型GaAs領域106a内では発光再結合効率が低いので、上記の界面近傍でのキャリア注入成分が増加すると、発光効率が低下する。
半導体発光装置7は、GaAs層204とAlGaAs層503の界面の界面近傍に形成された横方向拡散フロントを、エッチング領域510を設けることにより除去し、AlGaAs層530の内部のみに拡散フロント530およびpn接合509が存在する構造なので、上記の高電界領域が発生しない。これにより、AlGaAs層503(AlyGa1−yAs層514)内でのキャリア注入成分を増加させ、AlGaAs層503(AlyGa1−yAs層514)内での発光再結合効率の高い再結合密度を増加させることができるので、発光効率を向上させることができる。
図17は第6の実施形態の半導体発光装置7のLEDにおける電流−発光強度特性を示す図である。なお、図17には図33のGaAsP層にpn接合を形成した従来の半導体発光装置のLEDにおける電流−発光強度特性も示してある。図17から、半導体発光装置7では、再結合効率が従来の半導体発光装置よりもはるかに向上していることが判る。
このように第6の実施形態によれば、発光層の上下にクラッド層を設けた積層構造のn型AlGaAs層503の上の最上層に半絶縁性のGaAs層204を設けた半導体基板700を用い、GaAs層204内およびAlGaAs層503内に選択的にp型拡散領域506を形成し、GaAs層204とAlGaAs層503の界面近傍に形成された横方向拡散フロントをエッチング除去した構造としたことにより、上記第5の実施形態と同様に、LEDの発光効率を向上させることができる。
また、層間絶縁膜105の下は半絶縁性GaAs領域なので、p側電極形成領域下の層間絶縁膜105にダメージ等があっても、ショートが発生せず、不良発生率を低減することができる。
第7の実施形態
図18および図19は本発明の第7の実施形態の半導体発光装置8の構造を示す断面図である。この半導体発光装置8の上面図は上記第4の実施形態の図9と同じであり、図18は図9におけるD−D’間の断面図であり、図19は図9におけるE−E’間の断面図である。なお、図18および図19において、図7、図8、図11、および図12と同じものには同じ符号を付してある。また、n側電極は、図10に示したようにLEDの配列に対してp側電極と同一側に設けても良い。
半導体発光装置8は、半導体基板800と、層間絶縁膜105と、半導体基板800に形成されたZn拡散領域(p型拡散領域)506と、p側電極107と、n側電極408と、半導体基板800に形成されたエッチング領域510とを備えている。
半導体発光装置8は、上記第5の実施形態の半導体発光装置5と同様に、n型半導体層を有する半導体基板800に、選択的にp型拡散領域506を形成した構造である。拡散領域形成前の半導体基板800は、半絶縁性GaAs基板401の上に、半絶縁性GaAsバッファー層402を設け、その上にn型のAlxGa1−xAs層(ただし1≧x>0)513、n型のAlyGa1−yAs層(ただし1>y≧0)514、n型のAlzGa1−zAs層(ただし1≧z>0)515からなる積層構造のAlGaAs層503を設け、最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するためのn型のGaAs層104を設けた構造である。つまり、半導体基板800は、上記第4の実施形態の半導体発光装置4において、半導体基板400のAlxGa1−xAs層103を、AlxGa1−xAs層513とAlyGa1−yAs層514とAlzGa1−zAs層515の積層構造としたものであり、また上記第5の実施形態の半導体発光装置5において、半導体基板500のn型GaAs基板101およびn型GaAsバッファー層102を、それぞれ半絶縁性GaAs基板401および半絶縁性GaAsバッファー層402にしたものである。
また、半導体発光装置8は、上記第5の実施形態の半導体発光装置5と同様に、半導体基板800の表面付近に形成された横方向拡散フロントおよびpn接合をエッチング除去した構造である。p型拡散領域506の形成が済んだ半導体基板800の表面にエッチング領域510を形成することにより、最上層のGaAs層104に形成されたpn接合、およびGaAs層104とAlzGa1−zAs層515の界面近傍に形成されたpn接合を除去する。これにより、p型GaAs領域506aとn型GaAs領域104aとが、p型GaAs領域506aを取り囲むように形成されたエッチング領域510により空間的に分離され、拡散フロント530によるpn接合面509が積層構造のAlGaAs層503の内部だけに存在する構造となる。
また、半導体発光装置8の層間絶縁膜105には、p型拡散領域506を露出させる開口部105aの他にn型GaAs領域104aを露出させる開口部105bが設けられており、n側電極408は、上記第4の実施形態の半導体発光装置4と同様に、p側電極107と同じ基板表面側に設けられており、開口部105bにおいてn型GaAs領域104aにオーミックコンタクトしている。つまり、半導体発光装置8は、上記第5の実施形態の半導体発光装置5において、n側電極を、半導体基板の裏面ではなく、p側電極と同じ基板表面側に設けたものである。なお、半導体発光装置8の動作は、上記第5の実施形態の半導体発光装置5と同様であるので、その説明を省略する。
半導体発光装置8では、GaAs層104内およびGaAs層104とAlGaAs層503(AlzGa1−zAs層515)の界面近傍のpn接合面を除去し、AlGaAs層503内のみにpn接合面509を形成した構造なので、基板表面付近のキャリア注入密度が高くなることはなく、高発光効率の半導体発光装置を実現できる。
このように第7の実施形態によれば、発光層の上下にクラッド層を設けた積層構造のn型AlGaAs層503の上の最上層にn型GaAs層104を形成した半導体基板500を用い、GaAs層104内およびAlGaAs層503内に選択的にp型拡散領域506を形成し、GaAs層104内の横方向拡散フロント、およびGaAs層104とAlGaAs層503の界面近傍の横方向拡散フロントをエッチング除去した構造としたことにより、上記第5の実施形態と同様に、LEDの発光効率を向上させることができる。
また、n側電極408を半導体基板800の表面側に設けたことにより、上記第4の実施形態と同様に、図10に示すようなマトリクス駆動型のLEDアレイを作製することが可能となる。
なお、半導体発光装置8がマトリクス型LEDアレイでない場合には、半絶縁性GaAs基板401および半絶縁性GaAsバッファー層402は、それぞれn型GaAs基板およびn型GaAsバッファー層であっても良い。
また、上記第5の実施形態では、電極とオーミックコンタクトを形成するために最上層にGaAs層104を設けたが、このGaAs層104は、電極とオーミックコンタクトを形成することができるようにAl組成比を0.2以下に小さくしたAlGaAs層であっても良い。
第8の実施形態
図20および図21は本発明の第8の実施形態の半導体発光装置9の構造を示す断面図である。この半導体発光装置9の上面図は上記第1の実施形態の図3と同じであり、図20は図3におけるB−B’間の断面図であり、図21は図3におけるA−A’間の断面図である。また、図22は半導体発光装置9におけるGaAs層104のエッチング除去領域を説明する上面図である。図22では、層間絶縁膜105およびp側電極107の図示を省略してある。なお、図20および図21において、図1、図2、図11、および図12と同じものには同じ符号を付してある。
半導体発光装置9は、半導体基板500と、層間絶縁膜105と、半導体基板500に形成されたZn拡散領域(p型拡散領域)506と、p側電極107と、n側電極108と、半導体基板500に形成されたエッチング領域910とを備えている。半導体発光装置9は、上記第5の実施形態の半導体発光装置5と同じ半導体基板500に、選択的にp型拡散領域506を形成した構造である。
また、半導体発光装置9は、半導体基板500の表面付近に形成された横方向拡散フロントおよびpn接合をエッチング除去した構造である。p型拡散領域506の形成が済んだ半導体基板500の表面にエッチング領域910を形成することにより、最上層のGaAs層104に形成されたpn接合、およびGaAs層104とAlzGa1−zAs層(ただし1≧z>0)515の界面近傍に形成されたpn接合を除去するとともに、GaAs層104のn型GaAs領域および上記界面近傍のn型AlzGa1−zAs領域を全面的に除去する。つまり、エッチング領域910は、p型GaAs領域506aを除く基板表面領域に形成され、GaAs層104は、p型GaAs領域506aを除いて全面的に除去される。これにより、GaAs層104は、p型GaAs領域506aだけが残り、拡散フロント530によるpn接合面509が積層構造のAlGaAs層503の内部だけに存在する構造となる。
エッチング領域910が形成された半導体基板500の表面上には、層間絶縁膜105が形成される。この層間絶縁膜105は、エッチング領域910の全領域、ならびにp型GaAs拡散領域506aの周部領域を被覆しており、AlyGa1−yAs層514で発生した光を透過させる絶縁膜である。
つまり、半導体発光装置9は、上記第5の実施形態の半導体発光装置5において、p側電極107とオーミックコンタクトするためのp型GaAs拡散領域506aだけを残し、GaAs層104のn型GaAs領域およびpn接合を全面的に除去したものである。
次に、第8の実施形態の半導体発光装置9の動作を説明する。p側電極107とn側電極108の間に順方向電圧を印加すると、上記第5の実施形態の半導体発光装置5と同様に、AlyGa1−yAs層(ただし1>y≧0)514内のpn接合面を介して少数キャリアが注入され、この少数キャリアはAlyGa1−yAs層514内に閉じ込められ、少数キャリアの再結合によりAlyGa1−yAs層514内で光が発生する。
AlyGa1−yAs層514で発生した光は、上記第5の実施形態の半導体発光装置5と同様に、上層のAlzGa1−zAs層515を透過し、p型GaAs領域506aを通過し、基板表面(p型GaAs領域506a上面あるいはエッチング領域910)に到達し、p側電極107の形成領域を除く基板表面に到達した光は、p型GaAs領域506aの表面から外部に、あるいはエッチング領域910上の層間絶縁膜105を透過して外部に放射される。
図22において、光取り出し領域911は、基板表面から光が放射される領域である。AlyGa1−yAs層514で発生した光は、基板表面に垂直な方向だけでなく、基板表面に対し斜め方向にも進むので、光取り出し領域911は、上面図において横方向拡散フロント530b(p型AlzGa1−zAs領域506b)よりも広い領域となる。また、GaAs層104のエネルギのエネルギバンドギャップは、AlyGa1−yAs層514で発生した光のエネルギよりも小さいので、上記の光はGaAs層104内を通過するときに吸収を受ける。従って、上記第5の実施形態の半導体発光装置5のように、n型GaAs領域104aを残した構造において、光取り出し領域とn型GaAs領域104aとがオーバーラップしている場合には、このオーバーラップ領域では、AlyGa1−yAs層514で発生した光はn型GaAs領域104aを通過するときに吸収を受ける。しかし、半導体発光装置9では、n型GaAs領域104aを全面的に除去した構造なので、AlyGa1−yAs層514で発生した光は、p側電極107とオーミックコンタクトするためのp型GaAs領域506a以外では吸収を受けない。従って、p型GaAs領域506aを通過しない光を、全く吸収を受けずに外部に取り出すことができるので、光の外部取り出し効率を向上させることができ、これにより発光効率を向上させることができる。
また、図22において、複数のp型GaAs領域506aはピッチPで一列に配列されており、半導体発光装置9はLEDをピッチPで一列に配列したLEDアレイである。LEDの集積密度が高くなると、p型GaAs領域506aのピッチPは小さくなり、p型GaAs領域506aの間隔Spも狭くなる。例えば、電子写真プリンタの光源となるLEDアレイの場合には、1200[dpi]以上の超高密度な配列が必要である。LEDの集積密度が1200[dpi]であるLEDアレイを作製する場合には、ピッチPは約21.2[μm]となり、p型GaAs領域幅を約11[μm]とした場合には、p型GaAs領域506aの間隔Spは約10[μm]と微小になる。
LEDの集積密度が1200[dpi]のように高密度であり、上記第5の実施形態の半導体発光装置5のように、p型GaAs領域506aの間にn型GaAs領域104aが存在する構造(図13参照)では、p型GaAs領域506aの間のn型GaAs領域104aの幅Ln(図13参照)が小さくなるために、フォトリソグラフィ条件等によりn型GaAs領域104aの幅Lnのばらつきが大きくなる可能性がある。n型GaAs領域104aの幅Lnのばらつきは、光取り出し領域と光の吸収層として働くn型GaAs領域104aのオーバーラップ領域のばらつきとなるので、各LEDの発光効率のばらつき要因となる。しかし、半導体発光装置9では、p型GaAs領域506aの間のn型GaAs領域は全て除去されており、p型GaAs領域506aの間は全てエッチング領域910になっているので、LED間の発光効率の均一性を高くすることができる。
このように第8の実施形態によれば、発光層の上下にクラッド層を設けた積層構造のn型AlGaAs層503の上の最上層にn型GaAs層104を形成した半導体基板500を用い、GaAs層104内およびAlGaAs層503内に選択的にp型拡散領域506を形成し、GaAs層104内の横方向拡散フロントおよびGaAs層104とAlGaAs層503の界面近傍の横方向拡散フロントをエッチング除去するとともに、GaAs層104のn型GaAs領域を全面的に除去した構造としたことにより、LEDの発光効率を向上させることができる。
また、GaAs層104のn型GaAs領域を全面的に除去し、複数のp型GaAs領域506aの間にn型GaAs領域が存在しない構造としたことにより、LED間の発光特性のばらつきを小さくすることができる。
なお、上記第8の実施形態の半導体発光装置9は、上記第5の実施形態の半導体発光装置5に対し、n型GaAs領域を全面的に除去した構造を適用したものであったが、図23の半導体発光装置10のように、上記第1の実施形態の半導体発光装置1に対し、n型GaAs領域を全面的に除去した構造を適用したものであっても良い。また、n型GaAs領域を全面的に除去した構造を、上記第4の実施形態または上記第7の実施形態に適用しても良い。ただし、上記第4の実施形態または上記第7の実施形態に適用する場合には、n側電極形成予定領域のn型GaAs領域を残す。さらに、半絶縁性GaAs領域を全面的に除去した構造を、上記第2の実施形態または上記第6の実施形態に適用しても良い。
また、上記第8の実施形態では、n型GaAs領域を全面的に除去したが、光取り出し領域内のn型GaAs領域が除去されていれば、n型GaAs領域を全面的に除去しなくても良い。また、この光取り出し領域内のn型GaAs領域を除去した構造を、上記第4の実施形態または上記第7の実施形態に適用しても良い。さらに、光取り出し領域内の半絶縁性GaAs領域を除去した構造を、上記第2の実施形態または上記第6の実施形態に適用しても良い。
図24は第8の実施形態の他の半導体発光装置11におけるGaAs層104のエッチング除去領域を説明する上面図である。半導体発光装置11は、半導体発光装置9において、n型GaAs領域を全面的に除去せずに、光取り出し領域内のn型GaAs領域を除去したものである。半導体発光装置11では、エッチング領域1110は、LEDのピッチ方向に延びる帯状の領域であり、GaAs−Zn拡散領域506aは、帯状のエッチング領域1110内に、島状に配置されている。また、ピッチ方向に延びるエッチング領域1110の両側には、n型GaAs領域104aが残されている。
また、上記第8の実施形態では、電極とオーミックコンタクトを形成するために最上層にGaAs層104を設けたが、このGaAs層104は、電極とオーミックコンタクトを形成することができるようにAl組成比を0.2以下に小さくしたAlGaAs層であっても良い。
また、上記第5ないし第8の実施形態において、発光層の下のクラッド層または発光層の上のクラッド層を省略することも可能である。
また、上記第1ないし第8の実施形態では、半導体基板のn型半導体層に選択的にp型不純物を拡散させたが、半導体基板のp型半導体層に選択的にn型不純物を拡散させても良い。
第9の実施形態
図25は第9の実施形態の半導体発光装置12の構造を示す断面図である。また、図26は本発明の第9の実施形態の半導体発光装置12の構造を示す上面図である。図25は図26におけるA−A’間の断面図である。なお、図25において、図1、図2、および図4と同じものには同じ符号を付してある。また、図25および図26の半導体発光装置12は、3個のLEDを一列に配列したものでるが、LEDは一列に配列されていなくても良く、またLEDの個数は3個に限定されるものではない。
半導体発光装置12は、異なる波長で発光する3個のLEDを半導体基板に形成した半導体発光装置であり、半導体基板1200と、半導体基板1200に形成されたp型拡散領域(Zn拡散領域)1206A,1206B,1206Cと、半導体基板1200に形成されたエッチング領域1210と、層間絶縁膜105と、p側電極107A,107B,107Cと、n側電極108とを備えている。
半導体発光装置12は、半導体基板1200に選択的にp型拡散領域1206を形成した構造である。拡散領域形成前の半導体基板1200は、n型GaAs基板101の上に、n型GaAsバッファー層102を設け、その上に、n型AlsGa1−sAs層(ただし1≧s>0)(第1の半導体層)1223、n型のAlxGa1−xAs層(ただし1>x≧0)(第2の半導体層)1224、n型のAlyGa1−yAs層(ただし1>y>0)(第3の半導体層)1225、n型のAlzGa1−zAs層(ただし1>z>0)(第4の半導体層)1226、n型のAltGa1−tAs層(ただし1≧t>0)(第5の半導体層)1227をこの順に積層したAlGaAs層1203を設け、最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための半絶縁性のGaAs層204を設けた構造である。つまり、半導体基板1200は、上記第1の実施形態の半導体基板100において、AlxGa1−xAs層103を、Al組成比の異なるAlGaAs層を積層したAlGaAs層1203としたものである。AlxGa1−xAs層1224、AlyGa1−yAs層1225、およびAlzGa1−zAs層1226は、発光層群となる半導体層であり、エネルギバンドギャップの異なる半導体層をエネルギバンドギャップの小さい順に下から上に(半導体基板1200の裏面側から表面側に)積層した構造である。また、AlsGa1−sAs層1223およびAltGa1−tAs層1227は、クラッド層となる半導体層であり、AlsGa1−sAs層1223はAlxGa1−xAs層1224よりもエネルギバンドギャップが大きく、AltGa1−tAs層1227はAlzGa1−zAs層1226よりもエネルギバンドギャップが大きい。従って、AlsGa1−sAs層1223、AlxGa1−xAs層1224、AlyGa1−yAs層1225、AlzGa1−zAs層1226、AltGa1−tAs層1227、のエネルギバンドギャップをそれぞれEg(s),Eg(x),Eg(y),Eg(z),Eg(t)とすると、Eg(x)<Eg(y)<Eg(z)<Eg(t)Eg(x)<Eg(s)である。AlGaAsは、Al組成比が大きいほどエネルギバンドギャップが大きくなるので、Al組成比s,x,y,z,tが、(0≦)x<y<z<t(≦1)(0≦)x<s(≦1)になるようにすれば良い。例えば、s=t=0.6、x=0.1、y=0.25、z=0.4とすることができる。
P型拡散領域1206は、Znを半導体基板1200の表面から選択的に拡散させることにより、GaAs層204内およびAlGaAs層1203内に形成される。p型拡散領域1206を形成することにより、GaAs層204には、GaAs−Zn拡散領域(p型GaAs領域)1206Aa,1206Ba,1206Caと、半絶縁性GaAs領域とが混在するようになる。また、AlGaAs層1203には、AlGaAs−Zn拡散領域(p型AlGaAs領域)1206Ab,1206Bb,1206Cbと、n型AlGaAs領域とが混在するようになる。固相拡散工程または気相拡散工程において、基板表面に膜厚の異なる拡散制御膜を形成し、この拡散制御膜を介して基板中にZnを拡散させることにより、深さの異なるp型拡散領域1206A,1206B,1206Cを形成することができる。
第1のp型拡散領域1206Aは、GaAs層204内の第1のp型GaAs領域1206Aaと、AlGaAs層1203内の第1のp型AlGaAs領域1206Abとにより構成される。第2のp型拡散領域1206Bは、第2のp型GaAs領域1206Baと、第2のp型AlGaAs領域1206Bbとにより構成される。第3のp型拡散領域1206Cは、第3のp型GaAs領域1206Caと、第3のp型AlGaAs領域1206Cbとにより構成される。
第1のp型拡散領域1206Aの深さ方向拡散フロント(第1の拡散フロント1230Aにおける半導体基板1200の積層方向と略垂直な部分)は、AlzGa1−zAs層1226の内部に形成されている。第2のp型拡散領域1206Bの深さ方向拡散フロント(第2の拡散フロント1230Bにおける半導体基板1200の積層方向と略垂直な部分)は、AlyGa1−yAs層1225の内部に形成されている。第3のp型拡散領域1206Cの深さ方向拡散フロント(第3の拡散フロント1230Cにおける半導体基板1200の積層方向と略垂直な部分)は、AlxGa1−xAs層1224の内部に形成されている。
半導体発光装置12は、GaAs層204とAlGaAs層1203の界面付近に形成された横方向拡散フロントをエッチング除去したことを特徴とする。p型拡散領域1206の形成が済んだ半導体基板1200の表面にAltGa1−tAs層1227を露出させるエッチング領域1210を形成することにより、GaAs層204内に形成された横方向拡散フロント、およびGaAs層204とAltGa1−tAs層1227の界面近傍に形成された横方向拡散フロントを除去する。これにより、拡散フロント1230A,1230B,1230Cおよびこれらの拡散フロントによるpn接合が、積層構造のAlGaAs層1203の内部だけに形成された構造となる。
第1の拡散フロント(pn接合)1230Aは、AltGa1−tAs層1227内およびAlzGa1−zAs層1226内に形成されている。第2の拡散フロント(pn接合)1230Bは、AltGa1−tAs層1227内、AlzGa1−zAs層1226内、およびAlyGa1−yAs層1225内に形成されている。第3の拡散フロント(pn接合)1230Cは、AltGa1−tAs層1227内、AlzGa1−zAs層1226内、AlyGa1−yAs層1225内、およびAlxGa1−xAs層1224内に形成されている。
層間絶縁膜105は、エッチング領域1210が形成された半導体基板1200の表面上に形成されている。この層間絶縁膜105は、n型GaAs領域およびエッチング領域1210の全領域を被覆している。また、第1のp側電極107Aは、第1のp型GaAs領域1206Aa上および層間絶縁膜105上に形成され、このp型GaAs領域にオーミックコンタクトしている。第2のp側電極107Bは、第2のp型GaAs領域1206Ba上および層間絶縁膜105上に形成され、このp型GaAs拡散領域にオーミックコンタクトしている。第3のp側電極107Cは、第1のp型GaAs領域1206Ca上および層間絶縁膜105上に形成され、このp型GaAs領域にオーミックコンタクトしている。
第1のp側電極107Aと、第1のp型拡散領域1206Aと、半導体基板1200のn型半導体領域(n型GaAs基板101、n型GaAsバッファー層102、およびn型AlGaAs領域)と、n側電極108とは、第1のLEDを構成している。第2のp側電極107Bと、第2のp型拡散領域1206Bと、半導体基板1200のn型半導体領域と、n側電極108とは、第2のLEDを構成している。第3のp側電極107Cと、第3のp型拡散領域1206Cと、半導体基板1200のn型半導体領域と、n側電極108とは、第3のLEDを構成している。
半導体発光装置12では、n型AlGaAs層1203に、選択的にp型不純物であるZnを拡散させてLEDのpn接合を形成するので、LEDの集積密度は、p型拡散領域(Zn拡散領域)1206の横方向の寸法により決まる。また、n型GaAsバッファー層102の層厚を約0.1[μm]とし、AlsGa1−sAs層1223、AlxGa1−xAs層1224、AlyGa1−yAs層1225、AlzGa1−zAs層1226、AltGa1−tAs層1227の層厚をそれぞれ約0.5[μm]、GaAs層204の層厚を約0.05[μm]とし、基板上面からAlxGa1−xAs層1224までの合計の層厚を約2.65[μm]と薄くすることが可能である。上記の合計の層厚を薄くできることにより、p型拡散領域1206の拡散深さを浅くすることができ、これによりp型拡散領域1206の横方向拡散距離を小さくできるので、p型拡散領域1206を高密度に集積することが可能である。従って、半導体発光装置12では、LEDを高密度に集積することが可能である。
次に、第9の半導体発光装置12の動作を説明する。図27は半導体発光装置12における第1のLED(LED1)、第2のLED(LED2)、第3のLED(LED3)の電流−電圧特性を示す図である。LED1は、閾値電圧V1以上の電圧を第1のp側電極107Aとn側電極108の間に印加すると電流が立ち上がり、波長λ1で発光する。LED2は、閾値電圧V2以上の電圧を第2のp側電極107Bとn側電極108の間に印加すると波長λ2で発光する。LED3は、閾値電圧V3以上の電圧を第3のp側電極107Cとn側電極108に印加すると波長λ3で発光する。ここで、V3<V2<V1である。また、λ1<λ2<λ3である。Al組成比x,y,zが、x=0.1、y=0.25、z=0.4であるときには、V1は約1.9[V]、V2は約1.7[V]、V3は約1.6[V]となり、λ1は約650[nm]、λ2は約730[nm]、λ3は約780[nm]となる。
半導体発光装置12のそれぞれのLEDにおいては、p型拡散領域1206の深さ方向拡散フロントが形成されている半導体層が発光層となり、LEDの発光波長は上記の発光層のエネルギバンドギャップに相当する波長となる。つまり、半導体発光装置12のAlGaAs層1203は、上記の発光層のエネルギバンドギャップが、この発光層よりも上層(基板表面側)に位置する半導体層のエネルギバンドギャップよりも小さい。従って、上記の発光層よりも上層にある半導体層に形成されたpn接合面を通してキャリアが注入されることはなく、ほぼ全ての電流が上記の発光層内のpn接合面を通して流れ、上記の発光層内のpn接合近傍でほぼ全ての光が発生する。
さらに、発光層よりもエネルギバンドギャップの大きい上層においては、発光層で発生した光の吸収がないので、発光効率を高くすることができる。また、発光層に注入された電子は上層の半導体層のエネルギ障壁により閉じ込められ、発光層に注入された正孔は下層の半導体層のエネルギ障壁により閉じ込められるので、この注入キャリアの閉じ込め効果によっても発光効率を高くすることができる。
第1のLEDでは、第4の半導体層1226に深さ方向拡散フロントが形成されているので、第4の半導体層1226が発光層となり、第1のLEDの発光波長は、第4の半導体層1226のエネルギバンドギャップに相当する波長となる。第1のLEDにおいては、n側電極108から第4の半導体層1226のZn拡散領域に注入された電子、および第1のp側電極107Aから第4の半導体層1226のn型半導体領域に注入された正孔は、第5の半導体層1227と第4の半導体層1226の界面に形成されたエネルギ障壁、および第3の半導体層1225と第4の半導体層1226の界面に形成されたエネルギ障壁により、それぞれ第4の半導体層1226内に閉じ込められ、第4の半導体層1226内のpn接合近傍で再結合し、光を発生する。第4の半導体層1226で発生した光は、第5の半導体層1227を全く吸収を受けずに透過し、またその一部は薄いGaAs層204を多少の吸収を受けながら通過し、基板表面から外部に出射する。
また、第2のLEDでは、第3の半導体層1225に深さ方向拡散フロントが形成されているので、第3の半導体層1225が発光層となり、第2のLEDの発光波長は、第3の半導体層1225のエネルギバンドギャップに相当する波長となる。第2のLEDにおいては、注入されたキャリアは、第3の半導体層1225内に閉じ込められ、第2の半導体層1225内のpn接合近傍で再結合し、光を発生する。この光は、第4の半導体層1226および第5の半導体層1227を全く吸収を受けずに透過し、またその一部はGaAs層204を通過し、基板表面から外部に出射する。
同様に、第3のLEDでは、第2の半導体層1224に深さ方向拡散フロントが形成されているので、第2の半導体層1224が発光層となり、第3のLEDの発光波長は、第2の半導体層1224のエネルギバンドギャップに相当する波長となる。第3のLEDにおいては、注入されたキャリアは、第2の半導体層1224内に閉じ込められ、第2の半導体層1224内のpn接合近傍で再結合し、光を発生する。この光は、第3の半導体層1224〜第5の半導体層1227を全く吸収を受けずに透過し、またその一部はGaAs層204を通過し、基板表面から外部に出射する。
基板表面付近の拡散フロント、特にGaAs層204とAlGaAs層1203の界面近傍の拡散フロントが除去されていない場合には、この領域の拡散フロント形状が急激に変化しているために、この基板表面付近の領域は高電界領域となる。高電界領域ではキャリアの注入密度が増加する。このように基板表面付近の領域にキャリア注入領域がある場合には、順方向電流の一部が非発光再結合に消費されるので、発光効率低下の要因となる。また、基板表面近傍の拡散フロントが除去されていない場合には、基板表面で順方向電流の縁面リークが起こり、発光効率低下の要因となる。
半導体発光装置12は、GaAs層204内およびGaAs層204とAlGaAs層1203の界面近傍の横方向拡散フロントを除去した構造なので、非発光再結合成分および表面の縁面リーク電流成分を低減し、LEDの発光効率を向上させることがきる。
このように第9の実施形態によれば、互いに異なるエネルギバンドギャップの複数の発光層をエネルギバンドギャップの小さい順に下から上に積層した発光層群の上下にクラッド層を設けた積層構造のn型AlGaAs層1203を形成し、このn型AlGaAs層1203の上の最上層に半絶縁性GaAs層204を形成した半導体基板1200を用い、GaAs層204内およびAlGaAs層1203内に選択的に、異なる発光層内に深さ方向拡散フロントを有する複数のp型拡散領域を形成し、GaAs層204内の横方向拡散フロント、およびGaAs層204とAlGaAs層1203の界面近傍の横方向拡散フロントをエッチング除去した構造としたことにより、異なる波長で発光する複数のLEDの発光効率を向上させることができる。
なお、上記第9の実施形態では、p側電極とオーミックコンタクトするための最上層の半導体層として半絶縁性のGaAs層204を設けたが、最上層の半導体層は、n型のGaAs層、あるいは電極とオーミックコンタクトを形成することができるようにAl組成比を0.2以下に小さくしたAlGaAs層であっても良い。
また、上記第9の実施形態では、半導体基板のn型半導体層に選択的にp型不純物を拡散させたが、半導体基板のp型半導体層に選択的にn型不純物を拡散させても良い。
図28は第9の実施形態の他の半導体発光装置13の構造を示す断面図である。この半導体発光装置13は、p型AlGaAs層1303を有する半導体基板1300に、n型不純物であるSnまたはSiを選択的に拡散させ、n型拡散領域1306A,1306B,1406Cを形成した構造である。
半導体基板1300は、n型拡散領域1306の形成前においては、p型GaAs基板1301の上に、p型GaAsバッファー層1302を設け、その上にp型AlsGa1−sAs層(ただし1≧s>0)1323、p型のAlxGa1−xAs層(ただし1>x≧0)1324、p型のAlyGa1−yAs層(ただし1>y>0)1325、p型のAlzGa1−zAs層(ただし1>z>0)1326、p型のAltGa1−tAs層(ただし1≧t>0)1327をこの順に積層したAlGaAs層1303を設け、最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための半絶縁性のGaAs層204を設けた構造である。AlsGa1−sAs層1323、AlxGa1−xAs層1324、AlyGa1−yAs層1325、AlzGa1−zAs層1326、AltGa1−tAs層1327のエネルギバンドギャップおよびAl組成比は、上記第9の実施形態の半導体発光装置12の対応する半導体層と同じである。
半導体基板1300の表面側には、n型拡散領域1306とともに、GaAs層204とAlGaAs層1303の界面付近の横方向拡散フロントを除去するためのエッチング領域1210が形成されている。pn接合面1330A,1330B,1330Cは、AlGaAs層1303の内部のみに形成されている。また、n側電極1307A,1307B,1307Cは、基板表面側に設けられており、GaAs層204のn型拡散領域1306A,1306B,1306Cにそれぞれオーミックコンタクトしている。また、p側電極1308は、基板裏面側に設けられており、p型GaAs基板1301にオーミックコンタクトしている。
第10の実施形態
図29および図30は第10の実施形態の半導体発光装置14の構造を示す断面図である。また、図31は本発明の第10の実施形態の半導体発光装置14の構造を示す上面図である。図29は図31におけるA−A’間の断面図であり、図30は図31におけるB−B’間の断面図である。なお、図29ないし図31において、図4、図25ないし図27と同じものには同じ符号を付してある。また、図29ないし図31の半導体発光装置14は、3個のLEDを一列に配列したものでるが、LEDは一列に配列されていなくても良く、またLEDの個数は3個に限定されるものではない。
半導体発光装置14は、異なる波長で発光する3個のLEDを半導体基板に形成した半導体発光装置であり、半導体基板1400と、半導体基板1400に形成されたp型拡散領域(Zn拡散領域)1206A,1206B,1206Cと、半導体基板1400に形成されたエッチング領域1210と、層間絶縁膜105と、p側電極107A,107B,107Cと、n側電極408とを備えている。
拡散領域形成前の半導体基板1400は、半絶縁性GaAs基板401の上に、半絶縁性GaAsバッファー層402を設け、その上に、n型のAlxGa1−xAs層(ただし1>x≧0)(第2の半導体層)1224、n型のAlyGa1−yAs層(ただし1>y>0)(第3の半導体層)1225、n型のAlzGa1−zAs層(ただし1>z>0)(第4の半導体層)1226、n型のAltGa1−tAs層(ただし1≧t>0)(第5の半導体層)1227をこの順に積層したAlGaAs層1403を設け、最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するためのn型のGaAs層104を設けた構造である。つまり、AlGaAs層1403は、上記第9の実施形態のAlGaAs層1203において、クラッド層となるAlsGa1−sAs層(ただし1≧s>0)1223を設けない構造である。また、半導体基板1400は、上記第9の実施形態の半導体基板1200において、AlGaAs層1203をAlGaAs層1403とし、GaAs基板およびGaAsバッファーを半絶縁性とし、最上層のGaAs層をn型としたものである。
半導体発光装置14は、上記第9の実施形態の半導体発光装置12と同様に、エッチング領域1210を形成することにより、基板表面付近に形成された横方向拡散フロントを除去した構造である。ただし、半導体発光装置14では、拡散フロントによるpn接合は、AltGa1−tAs層1227内だけでなく、GaAs層104内にも形成されるので、GaAs層104内に形成されたpn接合、およびAltGa1−tAs層1227とGaAs層104の界面近傍に形成されたpn接合を除去することになる。
また、半導体発光装置14の層間絶縁膜105には、p型拡散領域1206を露出させる開口部105aの他にn型GaAs領域104aを露出させる開口部105bが設けられており、n側電極408は、p側電極107と同じ基板表面側に設けられており、開口部105bにおいてn型GaAs領域104aにオーミックコンタクトしている。
つまり、半導体発光装置14は、上記第9の実施形態の半導体発光装置12において、クラッド層となるAlsGa1−sAs層1223を設けず、またn側電極を、半導体基板の裏面ではなく、p側電極と同じ基板表面側に設けたものである。
第1のp側電極107Aと、第1のp型拡散領域1206Aと、半導体基板1400のn型AlGaAs領域と、n側電極408とは、第1のLEDを構成している。第2のp側電極107Bと、第2のp型拡散領域1206Bと、半導体基板1400のn型AlGaAs領域と、n側電極408とは、第2のLEDを構成している。第3のp側電極107Cと、第3のp型拡散領域1206Cと、半導体基板1400のn型AlGaAs領域と、n側電極408とは、第3のLEDを構成している。なお、半導体発光装置14の動作は、上記第9の実施形態の半導体発光装置12と同様であるので、その説明を省略する。
半導体発光装置14では、発光層群の下のクラッド層を省略しているが、AlxGa1−xAs層1224のp型AlxGa1−xAs領域に注入された電子は、AlxGa1−xAs層1224とAlyGa1−yAs層1225との界面のエネルギ障壁によりAlxGa1−xAs層1224内に閉じ込められるので、上記第9の実施形態の半導体発光装置12と同様に、高発光動作が可能である。
このように第10の実施形態によれば、互いに異なるエネルギバンドギャップの複数の発光層をエネルギバンドギャップの小さい順に下から上に積層した発光層群の上にクラッド層を設けた積層構造のn型AlGaAs層1403を形成し、このn型AlGaAs層1403の上の最上層にn型GaAs層104を形成した半導体基板1400を用い、GaAs層104内およびAlGaAs層1403内に選択的に、異なる発光層内に深さ方向拡散フロントを有する複数のp型拡散領域を形成し、GaAs層104内の横方向拡散フロント、およびGaAs層104とAlGaAs層1403の界面近傍の横方向拡散フロントをエッチング除去した構造としたことにより、異なる波長で発光する複数のLEDの発光効率を向上させることができる。
また、AlsGa1−sAs層1223を設けないようにしたことにより、半導体エピタキシャル層の厚さを削減でき、半導体基板の低価格化を図ることができる。
なお、上記第10の実施形態では、発光層群の下のクラッド層を省略したが、発光層群の上のクラッド層であるAltGa1−tAs層1227を省略することも可能である。
また、上記第10の実施形態では、p側電極とオーミックコンタクトするための最上層の半導体層としてn型のGaAs層104を設けたが、最上層の半導体層は、電極とオーミックコンタクトを形成することができるようにAl組成比を0.2以下に小さくしたn型のAlGaAs層であっても良い。
また、上記第10の実施形態では、半導体基板のn型半導体層に選択的にp型不純物を拡散させたが、半導体基板のp型半導体層に選択的にn型不純物を拡散させても良い。
また、n側電極をLEDの配列に対してp側電極と同じ側に設けても良い。
また、上記第10の実施形態では、n側電極とオーミックコンタクトするための最上層の半導体層としてn型のGaAs層104を設けたが、最上層の半導体層として半絶縁性のGaAs層を設け、この半絶縁性のGaAs層にn型GaAs領域を形成し、このn型GaAs領域にn側電極をコンタクトさせる構造としても良い。
図32は第10の実施形態の他の半導体発光装置15の構造を示す断面図である。この半導体発光装置15の半導体基板1500は、拡散領域形成前においては、半絶縁性GaAs基板401の上に、半絶縁性GaAsバッファー層402を設け、その上に、n型AlsGa1−sAs層(ただし1≧s>0)1223、n型のAlxGa1−xAs層(ただし1>x≧0)1224、n型のAlyGa1−yAs層(ただし1>y>0)1225、n型のAlzGa1−zAs層(ただし1>z>0)1226、n型のAltGa1−tAs層(ただし1≧t>0)1227をこの順に積層したAlGaAs層1203を設け、最上層に電極とオーミックコンタクトを形成するための半絶縁性のGaAs層204を設けた構造である。
半導体基板1500には、GaAs層204にn型不純物であるSnまたはSiを選択的に拡散することにより、n型AltGa1−tAs領域に達するn型拡散領域1520が形成されている。n側電極408は、n型拡散領域1520にオーミックコンタクトしている。
なお、上記第1ないし第10の実施形態では、n型半導体層としてAlGaAs層を用いたが、n型半導体層は、AlGaAsP層、InGaAs層、InGaP層等の他の材料でも良い。
1〜15 半導体発光装置、 100,200,300,400,500,700,800,1200,1300,1400,1500 半導体基板、 103,303,513,1224 n型AlxGa1−xAs層、 104 n型GaAs層、 106,306,506,1206 P型拡散領域、 107,1307 P側電極、 108,408,1308 n側電極、 110,310,510,610,910,1110,1210 エッチング除去領域、 130,330,530,1230,1330 拡散フロント、 130b,330b,530b 横方向拡散フロント、 204 半絶縁性GaAs層、 402 半絶縁性GaAsバッファー層、 503,1203,1303、1403 AlGaAs層、 514,1225 n型AlyGa1−yAs層、 515,1226 n型AlzGa1−zAs層、 911 光取り出し領域、 1223 n型AlsGa1−sAs層、 1127 n型AltGa1−tAs層、 1306 n型拡散領域、 1323 P型AlsGa1−sAs層、 1324 P型AlxGa1−xAs層、 1325 P型AlyGa1−yAs層、 1326 p型AlzGa1−zAs層、 1327 P型AltGa1−tAs層。