JP4733404B2 - 弾性波センサ - Google Patents
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Description
まず、本発明の第1の実施形態について、図1を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る弾性波センサにおける基板表面の構成を示す図である。
ところで、上記第1の実施形態の弾性波センサ10では、図1のように、搬送用弾性波による搬送経路16が1つしか存在しないが、第2の実施形態として、水晶基板上に圧電薄膜を設け、この圧電薄膜上に励振させた弾性波により被測定物質を搬送するように構成することで、複数の搬送経路を水晶基板上に設けることができる。以下、図2を参照して説明する。ここで、第2の実施形態では、図2のように主搬送経路26に2つの副搬送経路29a,29bが合流する構成の弾性波センサ20を一例として説明するが、主搬送経路に合流する副搬送経路の数は、これに限定されるものではない。
また、第3の実施形態として、上記の第1及び第2の実施形態に係る弾性波センサにおいて、搬送電極の他に、被測定物質を攪拌するための攪拌用弾性波を励振する攪拌電極を配置しても良い。この第3の実施形態では、例えば図3のように、主搬送経路36上を伝搬する搬送用弾性波に対向して攪拌用弾性波が伝搬するよう、攪拌電極40が配置されている。そして、副搬送電極35a及び主搬送電極35からの搬送用弾性波の伝搬により、塗布エリア37に塗布された被測定物質がセンシング領域34まで搬送された後、この被測定物質に対し、攪拌電極40から攪拌用弾性波を伝搬させる。こうして、主搬送電極35からの搬送用弾性波と攪拌電極40からの攪拌用弾性波とが互いに対向して被測定物質に当たることにより、被測定物質が攪拌される。
Claims (6)
- 基板表面に、被測定物質をセンシングするためのセンシング用弾性波を励振する励振電極と、基板表面及び表面近傍を伝搬するセンシング用弾性波を受信する受信電極と、が配置され、励振電極と受信電極との間に存在する被測定物質によって生じるセンシング用弾性波の伝搬特性の変化を利用して、被測定物質のセンシングを行う弾性波センサにおいて、
励振電極及び受信電極と同一の基板表面上に配置され、被測定物質を搬送するための搬送用弾性波を励振する搬送電極を備え、
励振電極は、基板表面に平行な方向に基板表面を変位させる横波弾性波をセンシング用弾性波として励振し、
搬送電極は、伝搬方向に対する変位方向がセンシング用弾性波のそれと異なる弾性波を搬送用弾性波として励振し、
励振電極、受信電極及び搬送電極は、センシング用弾性波と搬送用弾性波とが互いに異なる方向に伝搬するよう配置され、
基板は回転Yカット水晶基板であり、
センシング用弾性波が水晶基板のx方向と異なる方向に伝搬するよう、励振電極と受信電極とが配置され、
搬送電極によって励振される搬送用弾性波が水晶基板のx方向に伝搬するよう、搬送電極が配置される、
ことを特徴とする弾性波センサ。 - 請求項1に記載の弾性波センサにおいて、
基板上に設けられた圧電薄膜と、
圧電薄膜上に設けられ、圧電薄膜に搬送用弾性波を励振する副搬送電極と、を備え、
副搬送電極によって励振される搬送用弾性波は、搬送電極に基づく搬送経路に接続される副搬送経路を形成する、
ことを特徴とする弾性波センサ。 - 請求項1に記載の弾性波センサにおいて、
基板上に設けられた圧電薄膜と、
圧電薄膜上に設けられ、圧電薄膜に搬送用弾性波を励振する副搬送電極と、を備え、
副搬送電極によって励振される搬送用弾性波は、搬送電極に基づく搬送経路に接続される副搬送経路を形成し、
副搬送電極によって励振され圧電薄膜上を伝搬する搬送用弾性波が水晶基板のx方向とは異なる方向に伝搬するよう、副搬送電極が配置される、
ことを特徴とする弾性波センサ。 - 請求項1に記載の弾性波センサにおいて、
搬送用弾性波を伝搬させるための圧電薄膜が基板上に設けられ、
圧電薄膜に搬送用弾性波を伝搬させる副搬送電極が圧電薄膜上に設けられることを特徴とする弾性波センサ。 - 請求項1から4の何れか一つに記載の弾性波センサにおいて、
被測定物質を攪拌するための攪拌用弾性波を励振する一対の攪拌電極が、各攪拌電極からの攪拌用弾性波が互いに対向して伝搬するように配置されることを特徴とする弾性波センサ。 - 請求項5に記載の弾性波センサにおいて、
一対の攪拌電極の内の少なくとも一方は、搬送電極であることを特徴とする弾性波センサ。
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