JP4732727B2 - 半導体素子、及び半導体素子の製造方法 - Google Patents
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特許文献1に記載の発明は、半導体素子の素子構造が完成した電極形成の段階において、不純物拡散層に粒子線を照射しながら、もしくは粒子線を照射した後に熱処理を行い、不純物拡散層を変位させて半導体素子の電気的特性を調整している。
特許文献1に記載の発明は、粒子線の照射と熱処理との組み合わせにより半導体素子の特性を調整するため、調整の簡便さに欠ける。また、特性の調整を電極形成の段階で行う必要があり、配線工程完了後に調整を行うことは困難であると思われる。
本発明に係る半導体素子によれば、不純物拡散層上にシリコン窒化膜を備え、熱処理によりシリコン窒化膜中の正電荷の量を変動させて不純物拡散層の表面近傍の不純物濃度を制御する。これにより、配線工程完了後であっても、簡便に半導体素子の電気的特性を調整できるようになり、ウエハ検査で特性不良と判定された半導体装置の救済が可能となる。また、半導体装置の特性仕様に変更があった場合でも、新たに製造することなく短納期で早急に対応できるようになる。
〔構造〕
図1(a)は、本発明の第1実施形態に係る抵抗素子100の概略構造図である。なお、本実施形態では、抵抗素子100をN型の抵抗素子であるとして説明を進める。
抵抗素子100は、P型半導体基板101と、N型拡散層102と、絶縁膜103及び105と、シリコン窒化膜104と、電極配線106とを備えている。P型半導体基板101は、P型のシリコン基板である。N型拡散層102は、抵抗成分となる主領域であり、P型半導体基板101の表面近傍に形成される。絶縁膜103は、例えば、シリコン酸化膜であり、P型半導体基板101の表面上に膜厚50nm以下で形成される。なお、絶縁膜103はなくてもよい。シリコン窒化膜104は、後述するように、N型拡散層102の抵抗値を調整する機能を有する膜であり、絶縁膜103上もしくはN型拡散層102上に直接形成される。絶縁膜105は、例えば、シリコン酸化膜であり、N型拡散層102の上方以外の領域において、絶縁膜103上もしくはP型半導体基板101上に直接形成される。電極配線106は、抵抗素子100と外部素子とを接続する端子であり、N型拡散層102の表面と接するように形成される。なお、図1(a)に示す抵抗素子100は一例であり、N型拡散層102上に絶縁膜103及びシリコン窒化膜104を備えること以外は、必ずしもこの構造に限定されるものではない。
次に、抵抗素子100の製造方法及び抵抗値の調整方法を説明する。
抵抗素子100の製造は、基本的に公知の半導体製造プロセスが使用できる。以下、図1(a)を参照して簡単に流れを説明する。
まず、P型半導体基板101を準備する。次に、N型拡散層102を形成する領域を開口するレジストパターンを形成し、ドーズ量1×1012〜1×1013イオン/cm2でP(リン)イオンをP型半導体基板101に注入してN型拡散層102を形成する。次に、レジストを除去した後、熱酸化法により絶縁膜103となるシリコン酸化膜を、例えば、10〜50nmの膜厚でP型半導体基板101の表面に形成する。ここで、絶縁膜103は50nm以下の膜厚で形成するものとし、また、絶縁膜103を省略することも可能とする。次に、CVD法により絶縁膜103上にシリコン窒化膜104を、例えば、0.5〜1.5μmの膜厚で堆積した後、ホトリソエッチングによりN型拡散層102の上方以外の領域のシリコン窒化膜104を除去する。次に、CVD法により全面にシリコン酸化膜を堆積した後、エッチバックしてN型拡散層102の上方以外の領域に絶縁膜105を形成する。次に、N型拡散層102の表面の一部を露出する開口部を形成した後、スパッタ法などにより全面にAlを堆積し、ホトリソエッチングによりパターン加工して電極配線106を形成する。以上により図1(a)に示す抵抗素子100の構造が完成する。なお、上述したプロセスは一例であり、必ずしもこのプロセスに限定されるものではない。
第1実施形態に係る半導体素子によれば、熱処理によりシリコン窒化膜104中の正の電荷量を制御することで、N型拡散層102の表面近傍の負の電荷、すなわち、電子の量を制御することができる。これにより、N型拡散層102の抵抗値を簡便に低めの所望の値に調整することができる。また、P型の抵抗素子においては、熱処理によりP型拡散層の抵抗値を簡便に高めの所望の値に調整することができる。このように、熱処理のみで簡便に抵抗特性の調整ができるため、ウエハ検査で所望の特性から外れた半導体装置の救済が可能となり、製造歩留の低下を低減することができる。また、半導体装置の特性仕様に変更があった場合でも、新たに製造することなく短納期で早急に対応できるようになる。
〔構造〕
図3(a)は、本発明の第2実施形態に係るMOSトランジスタ200の概略構造図である。なお、本実施形態では、MOSトランジスタ200をN型のMOSトランジスタあるとして説明を進める。
次に、MOSトランジスタ200の製造方法及びIdsの調整方法を説明する。
MOSトランジスタ200の製造は、基本的に公知の半導体製造プロセスが使用できる。以下、図3(a)を参照して簡単に流れを説明する。
まず、P型半導体基板201を準備する。次に、公知のLOCOS(Local Oxidation of Silicon)法などにより、フィールド酸化膜202を形成する。次に、P型半導体基板201の表面を熱酸化して、例えば、10〜100nmの膜厚でゲート酸化膜を形成した後、CVD法により全面に多結晶シリコンを堆積し、続いてホトリソエッチングによりパターニングして、例えば、ゲート長25μmのゲート203を形成する。次に、ゲート203をマスクにして、ドーズ量1×1012〜1×1013イオン/cm2でP(リン)イオンをP型半導体基板201に注入してドレイン領域及びソース領域となるN型拡散層204を形成する。次に、熱酸化法により絶縁膜205となるシリコン酸化膜を、例えば、10〜50nmの膜厚でP型半導体基板201の表面に形成する。ここで、絶縁膜205は50nm以下の膜厚で形成するものとし、また、絶縁膜205を省略することも可能とする。次に、CVD法により絶縁膜205上にシリコン窒化膜206を、例えば、0.5〜1.5μmの膜厚で堆積した後、ホトリソエッチングによりN型拡散層204の上方以外の領域のシリコン窒化膜206を除去する。次に、CVD法により全面にシリコン酸化膜を堆積して絶縁膜207を形成する。次に、N型拡散層204の表面の一部を露出する開口部を形成した後、スパッタ法などにより全面にAlを堆積し、ホトリソエッチングによりパターン加工して電極配線208を形成する。以上により図3(a)に示すMOSトランジスタ200の構造が完成する。なお、上述したプロセスは一例であり、必ずしもこのプロセスに限定されるものではない。
第2実施形態に係る半導体素子によれば、熱処理によりシリコン窒化膜206中の正の電荷量を制御することで、N型拡散層204の表面近傍の負の電荷、すなわち、電子の量を制御すことができる。これにより、N型拡散層204の抵抗、すなわち、ドレイン抵抗及びソース抵抗を小さくすることができ、Idsを簡便に高めの所望の値に調整することができる。また、P型のMOSトランジスタにおいては、熱処理によりIdsを簡便に低めの所望の値に調整することができる。このように、熱処理のみで簡便にIds特性の調整ができるため、ウエハ検査で所望の特性から外れた半導体装置の救済が可能となり、製造歩留の低下を低減することができる。また、半導体装置の特性仕様に変更があった場合でも、新たに製造することなく短納期で早急に対応できるようになる。
〔構造〕
図5(a)は、本発明の第3実施形態に係るPNダイオード300の概略構造図である。なお、本実施形態では、PNダイオード300をN型半導体基板上にP型拡散層を形成する構造のPNダイオードであるとして説明を進める。
次に、PNダイオード300の製造方法及び降伏電圧の調整方法を説明する。
PNダイオード300の製造は、基本的に公知の半導体製造プロセスが使用できる。以下、図5(a)を参照して簡単に流れを説明する。
まず、N型半導体基板301を準備する。次に、公知のLOCOS(Local Oxidation of Silicon)法などにより、フィールド酸化膜302を形成する。次に、ドーズ量1×1012〜1×1013イオン/cm2でB(ボロン)イオンをN型半導体基板301に注入してアノード領域であるP型拡散層303を形成する。次に、熱酸化法により絶縁膜304となるシリコン酸化膜を、例えば、10〜50nmの膜厚でN型半導体基板301の表面に形成する。ここで、絶縁膜304は50nm以下の膜厚で形成するものとし、また、絶縁膜304を省略することも可能とする。次に、CVD法により絶縁膜304上にシリコン窒化膜305を、例えば、0.5〜1.5μmの膜厚で堆積した後、ホトリソエッチングによりP型拡散層303の上方以外の領域のシリコン窒化膜305を除去する。次に、CVD法により全面にシリコン酸化膜を堆積して絶縁膜306を形成する。次に、P型拡散層303の表面の一部を露出する開口部を形成した後、スパッタ法などにより全面にAlを堆積し、ホトリソエッチングによりパターン加工して電極配線307を形成する。以上により図5(a)に示すPNダイオード300の構造が完成する。なお、上述したプロセスは一例であり、必ずしもこのプロセスに限定されるものではない。
第3実施形態に係る半導体素子によれば、熱処理によりシリコン窒化膜305中の正の電荷量を制御することで、P型拡散層303の表面近傍の負の電荷、すなわち、電子の量を制御すことができる。これにより、P型拡散層303の表面近傍、特に、N型半導体基板301との接合境界であるP型拡散層303端部の不純物濃度を低くすることができ、降伏電圧を簡便に高めの所望の値に調整することができる。また、P型半導体基板上にN型拡散層を形成する構造のPNダイオードにおいては、熱処理により降伏電圧を簡便に低めの所望の値に調整することができる。このように、熱処理のみで簡便に降伏電圧特性の調整ができるため、ウエハ検査で所望の特性から外れた半導体装置の救済が可能となり、製造歩留の低下を低減することができる。また、半導体装置の特性仕様に変更があった場合でも、新たに製造することなく短納期で早急に対応できるようになる。
200・・・MOSトランジスタ
300・・・PNダイオード
101、201・・・P型半導体基板
102、204・・・N型拡散層
103、105、205、207、304、306・・・絶縁膜
104、206、305・・・シリコン窒化膜
106、208、307・・・電極配線
202、302・・・フィールド酸化膜
203・・・ゲート
301・・・N型半導体基板
303・・・P型拡散層
Claims (30)
- 半導体基板上に形成される半導体素子であって、
前記半導体基板と、
前記半導体基板の一主面に形成される不純物拡散層と、
前記不純物拡散層上に形成される絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成され所定の熱処理により正電荷の量が変動して前記不純物拡散層の表面近傍の不純物濃度を制御するシリコン窒化膜と、
を備えることを特徴とする半導体素子。 - 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、前記不純物拡散層と前記シリコン窒化膜との間に50nm以下の膜厚で形成されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子。
- 前記熱処理は、450℃乃至550℃の温度範囲で行われることを特徴とする、請求項2に記載の半導体素子。
- 前記半導体素子は、前記不純物拡散層を抵抗領域とする抵抗素子であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子。
- 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、前記不純物拡散層と前記シリコン窒化膜との間に50nm以下の膜厚で形成されることを特徴とする、請求項4に記載の半導体素子。
- 前記熱処理は、450℃乃至550℃の温度範囲で行われることを特徴とする、請求項5に記載の半導体素子。
- 前記抵抗素子は、前記不純物拡散層がN型である場合には前記熱処理によって抵抗値が減少し、前記不純物拡散層がP型である場合には前記熱処理によって抵抗値が増大することを特徴とする、請求項6に記載の半導体素子。
- 前記半導体素子は、前記不純物拡散層をドレイン領域及びソース領域とするMOSトランジスタ素子であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子。
- 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、前記不純物拡散層と前記シリコン窒化膜との間に50nm以下の膜厚で形成されることを特徴とする、請求項8に記載の半導体素子。
- 前記熱処理は、450℃乃至550℃の温度範囲で行われることを特徴とする、請求項9に記載の半導体素子。
- 前記MOSトランジスタ素子は、前記不純物拡散層がN型である場合には前記熱処理によってドレイン−ソース間電流Idsが増大し、前記不純物拡散層がP型である場合には前記熱処理によってドレイン−ソース間電流Idsが減少することを特徴とする、請求項10に記載の半導体素子。
- 前記半導体素子は、前記不純物拡散層をアノード領域もしくはカソード領域とするダイオード素子であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子。
- 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、前記不純物拡散層と前記シリコン窒化膜との間に50nm以下の膜厚で形成されることを特徴とする、請求項12に記載の半導体素子。
- 前記熱処理は、450℃乃至550℃の温度範囲で行われることを特徴とする、請求項13に記載の半導体素子。
- 前記ダイオード素子は、前記不純物拡散層がP型のアノード領域である場合には前記熱処理によって降伏電圧が高くなり、前記不純物拡散層がN型のカソード領域である場合には前記熱処理によって降伏電圧が小さくなることを特徴とする、請求項14に記載の半導体素子。
- 半導体基板上に形成される半導体素子を製造する方法であって、
前記半導体基板を準備するステップと、
前記半導体基板の一主面に不純物拡散層を形成するステップと、
前記不純物拡散層上に絶縁膜を形成するステップと、
前記絶縁膜上にシリコン窒化膜を形成するステップと、
所定の熱処理により前記シリコン窒化膜中の正電荷の量を変動させて前記不純物拡散層の表面近傍の不純物濃度を制御するステップと、
を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、前記不純物拡散層と前記シリコン窒化膜との間に50nm以下の膜厚で形成されることを特徴とする、請求項16に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記熱処理は、450℃乃至550℃の温度範囲で行われることを特徴とする、請求項17に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記半導体素子は、前記不純物拡散層を抵抗領域とする抵抗素子であることを特徴とする、請求項16に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、前記不純物拡散層と前記シリコン窒化膜との間に50nm以下の膜厚で形成されることを特徴とする、請求項19に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記熱処理は、450℃乃至550℃の温度範囲で行われることを特徴とする、請求項20に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記抵抗素子は、前記不純物拡散層がN型である場合には前記熱処理によって抵抗値が減少し、前記不純物拡散層がP型である場合には前記熱処理によって抵抗値が増大することを特徴とする、請求項21に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記半導体素子は、前記不純物拡散層をドレイン領域及びソース領域とするMOSトランジスタ素子であることを特徴とする、請求項16に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、前記不純物拡散層と前記シリコン窒化膜との間に50nm以下の膜厚で形成されることを特徴とする、請求項23に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記熱処理は、450℃乃至550℃の温度範囲で行われることを特徴とする、請求項24に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記MOSトランジスタ素子は、前記不純物拡散層がN型である場合には前記熱処理によってドレイン−ソース間電流Idsが増大し、前記不純物拡散層がP型である場合には前記熱処理によってドレイン−ソース間電流Idsが減少することを特徴とする、請求項24に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記半導体素子は、前記不純物拡散層をアノード領域もしくはカソード領域とするダイオード素子であることを特徴とする、請求項16に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、前記不純物拡散層と前記シリコン窒化膜との間に50nm以下の膜厚で形成されることを特徴とする、請求項27に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記熱処理は、450℃乃至550℃の温度範囲で行われることを特徴とする、請求項28に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ダイオード素子は、前記不純物拡散層がP型のアノード領域である場合には前記熱処理によって降伏電圧が高くなり、前記不純物拡散層がN型のカソード領域である場合には前記熱処理によって降伏電圧が小さくなることを特徴とする、請求項29に記載の半導体素子の製造方法。
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