JP2010182762A - 半導体素子及びこの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MOSFETでは、ON時に、ゲート電極20に正バイアス電圧が加えられると、N+型ソース領域14からゲート絶縁膜16下のP型ウェル層12中のチャネルを介し、P型ウェル層12−P型ウェル層12間の低濃度N型エピ層11を通って第2の主面側のドレイン電極22へドレイン電流が流れる。OFF時は、ゲート電極20及びソース電極21の0Vに対して、ドレイン電極22に数100V〜数KVが印加され、P型ウェル層12下の低濃度N型エピ層11の空乏層にその高電圧が加わり、ソース電極21及びドレイン電極22間が遮断される。低濃度N型エピ層11内に形成されるP型ウエル層12との界面近傍に窒素を追加で打ち込んで窒素注入領域13を形成しているので、N型不純物の濃度分布が均一化される。
【選択図】図1
Description
図11は、図10の縦型MOSFETにおいてP型ウェル層3/低濃度N型エピ層2によるPNダイオードのリーク特性を示す図である。
図1は、本発明の実施例1における高耐圧半導体素子(例えば、Nチャネル縦型MOSFET)の構造を示す概略の断面図である。
図2−1、図2−2は、図1のNチャネル縦型MOSFETにおける製造方法の一例を示す製造工程図である。
窒素(N2)を高濃度ドープした低抵抗N型3C−SiC基板(例えば、1E18cm−3、300μm)上に、耐圧スペックに合わせた所望の濃度と膜厚の低窒素濃度層の低濃度N型エピ層11が形成された3C−SiC基板(例えば、1E16cm−3、10μm)からなるN+型基板10を用意する。リソグラフィ技術等により、低濃度N型エピ層11上に、ホトレジストからなるPウェルパターン30を形成し、このパターン30をマスクにして、例えば、標準的な700KeV/4E13cm−2の条件で、Alイオンを打ち込んで注入し、所定間隔隔てた複数のP型ウェル層12を形成する。
図3は、P型ウェル層12に注入される窒素(N)の濃度プロファイルを示す図である。
レジスト除去剤等によってPウェルパターン30を除去し、新たに、ホトレジストからなるソース領域パターン31を形成し、このパターン31をマスクにして、標準的な200KeV、100KeV、70KeV、各5E14cm−2の条件下で、Pイオンを注入してN+型ソース領域14を形成する。
レジスト除去剤等によってソース領域パターン31を除去し、新たに、ホトレジストからなるコンタクト領域パターン32を形成し、このパターン32をマスクにして、標準的な150KeV、100KeV、70KeV、40KeV、各1E15cm−2の条件下で、P型ウェル層12内にAlイオンを打ち込んで注入し、P+型コンタクト領域15を形成する。
レジスト除去剤等によってコンタクト領域パターン32を除去し、標準的なアルゴン(Ar)雰囲気、1600℃、10分の条件下で、注入イオンの活性化及び結晶のダメージ回復のための加熱(アニール)を行う。次に、基板表面を犠牲酸化にて20nm程度酸化し、フッ酸洗浄にて除去することで、SiC基板表面を10nm程度除去する。その後、標準的な1150℃ウェット酸素(Wet O2)雰囲気の条件下で、再度熱酸化を行い、膜厚(例えば、60nm)のゲート酸化膜(熱酸化膜)からなる所望のゲート絶縁膜16を形成する。
ゲート絶縁膜16上に、リン(P)をドープしたポリシリコン(Poly−Si)からなるゲート層17を形成し、更に、この上層にWSi膜17aを形成する。その後、リソグラフィ技術等により、ゲート層17及びWSi膜17aを所望のゲート形状にパターンニングする。
化学的気相成長法(CVD法)等により、全面に、酸化膜等の層間絶縁膜18を形成する。
リソグラフィ技術等により、層間絶縁膜18におけるゲート領域及びソース領域個所にコンタクトホール19を開口する。
全面に金属(例えば、Al)配線膜を被着し、リソグラフィ技術等により、そのAl配線膜を選択的にエッチングしてゲート電極20及びソース電極21を形成する。又、N+型基板10における第2の主面の全面に、金属(例えば、Al)膜を被着してドレイン電極22を形成等すれば、図1に示すNチャネル縦型MOSFETの製造が終了する。
図1に示すNチャネル縦型MOSFETでは、従来と同様に、例えば、ON時に、ゲート電極20に正バイアス電圧が加えられると、N+型ソース領域14からゲート絶縁膜16下のP型ウェル層12中のチャネルを介し、P型ウェル層12−P型ウェル層12間の低濃度N型エピ層11を通って第2の主面側のドレイン電極22へドレイン電流が流れる。一方、OFF時は、ゲート電極20及びソース電極21の0Vに対して、ドレイン電極22に数100V〜数KVが印加され、P型ウェル層12下の低濃度N型エピ層11の空乏層にその高電圧が加わり、ソース電極21及びドレイン電極22間が遮断される。
本実施例1によれば、低濃度N型エピ層11内に形成されるP型ウエル層12との界面近傍に窒素を追加で打ち込んで窒素注入領域13を形成しているので、N型不純物の濃度分布が均一化される。これにより、MOSFETにおけるOFF時のリーク電流のばらつきを抑え、ショートに近いリーク電流を抑制できるので、歩留まりを大幅に向上できる。
図5は、本発明の実施例2における高耐圧半導体素子(例えば、Nチャネル縦型MOSFET)の構造を示す概略の断面図であり、実施例1を示す図1中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。
図6−1、図6−2は、図5のNチャネル縦型MOSFETにおける製造方法の一例を示す製造工程図であり、実施例1を示す図2−1、図2−2中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。
実施例1の図2−1(a)の工程と同様に、低濃度N型エピ層11が形成された3C−SiC基板からなるN+型基板10を用い、Pウェルパターン30をマスクにして、低濃度N型エピ層11内に、Alイオンを打ち込んで注入し、所定間隔隔てた複数のP型ウェル層12を形成する。
実施例1の図2−1(b)の工程と同様に、Pウェルパターン30をマスクにして、標準的な700KeV、1E12cm−2の条件で、Nイオンを打ち込んで注入し、各P型ウェル層12の底面付近の空乏層に窒素注入領域43aを形成する。
図7は、P型ウェル層12に注入されるアルミニュウム(Al)及び窒素(N)の濃度プロファイルを示す図である。
実施例1の図2−1(c)の工程と同様に、レジスト除去剤等によってレジストパターン41を除去し、新たに、ホトレジストからなるソース領域パターン31を形成し、このパターン31をマスクにして、標準的な200KeV、100KeV、70KeV、各5E14cm−2の条件下で、Pイオンを注入してN+型ソース領域14を形成する。
実施例1の図2−1(d)の工程と同様に、レジスト除去剤等によってソース領域パターン31を除去し、新たに、ホトレジストからなるコンタクト領域パターン32を形成し、このパターン32をマスクにして、標準的な150KeV、100KeV、70KeV、40KeV、各1E15cm−2の条件下で、P型ウェル層12内にAlイオンを打ち込んで注入し、P+型コンタクト領域15を形成する。
実施例1の図2−1(e)、(f)、図2−2(g)〜図2−2(i)の工程と同様の図6−1(f)、図6−1(g)〜図6−2(g)〜図6−2(j)の工程が実施され、図5に示すNチャネル縦型MOSFETの製造が終了する。
図5に示すNチャネル縦型MOSFETでは、実施例1と同様に、ON/OFF動作する。この際、本実施例2では、Pウェル層12の底面に窒素注入領域43aが形成されると共に、Pウェル層12の側面にも窒素注入領域43bが形成されているので、P型ウェル層12の周辺に積層欠陥が存在した場合のリーク電流が低減される。
本実施例2によれば、実施例1の効果以上に、MOSFETにおけるリーク電流のばらつきを抑え、歩留まりを向上できる。
図8は、本発明の実施例3における高耐圧半導体素子(例えば、Nチャネル縦型MOSFET)の構造を示す概略の断面図であり、実施例1を示す図1中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。
図9−1、図9−2は、図8のNチャネル縦型MOSFETにおける製造方法の一例を示す製造工程図であり、実施例1を示す図2−1、図2−2中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。
実施例1の図2−1(a)の工程と同様に、低濃度N型エピ層11が形成された3C−SiC基板からなるN+型基板10を用い、Pウェルパターン30をマスクにして、低濃度N型エピ層11内に、Alイオンを打ち込んで注入し、所定間隔隔てた複数のP型ウェル層12を形成する。
実施例1の図2−1(b)の工程とは異なり、エッチング除去剤等でPウェルパターン30を除去し、標準的な700KeV、1E12cm−2の条件で、全面にNイオンを打ち込んで注入し、各P型ウェル層12の底面付近の空乏層と、各P型ウェル層12間の低濃度N型エピ層11とに、同時に窒素注入領域53を形成する。
ホトレジストからなるソース領域パターン31を形成し、このパターン31をマスクにして、標準的な200KeV、100KeV、70KeV、各5E14cm−2の条件下で、Pイオンを注入してN+型ソース領域14を形成する。
実施例1の図2−1(d)〜(f)、図2−2(g)〜(i)の工程と同様の工程により、ゲート絶縁膜16、ゲート電極20、層間絶縁膜18、ソース電極21、及びドレイン電極22を形成すれば、図8に示すNチャネル縦型MOSFETの製造が終了する。
図8に示すNチャネル縦型MOSFETでは、実施例1と同様に、ON/OFF動作する。この際、本実施例3では、Pウェル層12の底面に窒素注入領域53が形成されているので、実施例1と同様に、逆方向のリーク電流が低減される。更に、各P型ウェル層12間の低濃度N型エピ層11に、同時に窒素注入領域53が形成されているので、DMOSがONした際のON抵抗が低減される。
本実施例3によれば、実施例1の効果であるMOSFETのリーク電流のばらつきが抑えられることに加え、DMOSのON時の抵抗を低くすることが可能であり、MOSFETの必要面積を縮小することが可能となる。その結果、コストが下げられ、歩留も向上する。
本発明は、上記実施例1〜3に限定されず、種々の利用形態や変形が可能である。この利用形態や変形例としては、例えば、次の(i)〜(iv)のようなものがある。
11 低濃度N型エピ層
12 P型ウェル層
13,43a,43b,53 窒素注入領域
14 N+型ソース領域
16 ゲート絶縁膜
17 ゲート層
20 ゲート電極
21 ソース電極
22 ドレイン電極
Claims (5)
- 第1と第2の主面を有する3C−SiC基板と、
前記3C−SiC基板の前記第1の主面側に形成された低濃度N型エピタキシャル層と、
前記エピタキシャル層内に、所定間隔隔てて形成された複数のP型ウェル層と、
前記ウェル層と前記エピタキシャル層との界面近傍に、N型不純物の濃度分布を均一化するために窒素が注入された窒素注入領域と、
前記各ウェル層内に形成されたN型ソース領域と、
前記各ウェル層間上に、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記ソース領域上に層間絶縁膜を介して配置され、且つ前記ソース領域に接続されたソース電極と、
前記3C−SiC基板の前記第2の主面側に形成されたドレイン電極と、
を有することを特徴とする半導体素子。 - 第1と第2の主面を有する3C−SiC基板における前記第1の主面側に、低濃度N型エピタキシャル層を形成する工程と、
前記エピタキシャル層内に、所定間隔隔ててP型不純物を注入して複数のP型ウェル層を形成する工程と、
前記ウェル層と前記エピタキシャル層との界面近傍に、窒素を注入して窒素注入領域を形成する窒素注入領域形成工程と、
前記各ウェル層内に、N型不純物を注入してN型ソース領域を形成する工程と、
前記各ウェル層間上に、ゲート絶縁膜介してゲート電極を形成する工程と、
前記ソース領域上に層間絶縁膜を介して配置され、且つ前記ソース領域に接続されたソース電極を形成すると共に、前記3C−SiC基板の前記第2の主面側にドレイン電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記窒素注入領域形成工程では、
前記ウェル層と前記エピタキシャル層との前記界面近傍、及び/又は、前記ウェル層の空乏層内にも、前記窒素を注入することを特徴とする請求項2記載の半導体素子の製造方法。 - 前記窒素注入領域形成工程では、
前記ウェル層の下面の空乏層、及び/又は前記ウェル層の側面の空乏層にも、前記窒素を注入することを特徴とする請求項2又は3記載の半導体素子の製造方法。 - 前記窒素の注入濃度は、前記P型ウェル層に注入された前記P型不純物の濃度に対して1桁以上低いことを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の半導体素子の製造方法。
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