JP4727499B2 - 走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法 - Google Patents
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Description
本発明のように、リミット値が設定され、走査基準位置を自動変更していく時の軌跡(凹凸プロファイル)は図4(B)に示すごとくとなる。リミット値が設定されていることで、スキャナの高さ方向(+Z軸方向)での動作範囲が限定される。
なお、本発明は、前述した走査型プローブ顕微鏡、超高真空走査型プローブ顕微鏡、超高真空極低温走査型プローブ顕微鏡、走査型原子間力顕微鏡等に適用することができる。
2 探針
3 スキャナ
An 走査ライン
S1 試料表面
Claims (8)
- 探針を試料表面に対して相対的に走査し、これにより試料表面の凹凸を測定する走査型プローブ顕微鏡において、
それまでに走査した走査ラインにおける試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新するとともに、走査基準位置に対する高さ方向での探針の相対移動の制限値を設定し、当該更新後に次の走査ラインの走査を順次実行することにより試料表面の凹凸プロファイルを求めることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記試料表面の凹凸プロファイルを求めるに際し、直前の走査ラインの走査における試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新することを特徴とする請求項1記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記制限値を外部から設定可能であることを特徴とする請求項1若しくは2記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 試料の表面像中において指定された指定点における高さ情報に基づいて、前記走査基準位置が設定可能であることを特徴とする請求項1乃至3何れか記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記更新後に行われる走査は、取得される試料の表面像を形成する画素ラインにおける所定の画素ラインをスキップして順次行うことを特徴とする請求項1乃至4何れか記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 探針を試料表面に対して相対的に走査し、これにより試料表面の凹凸を測定する走査型プローブ顕微鏡の動作方法において、
それまでに走査した走査ラインにおける試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新するとともに、走査基準位置に対する高さ方向での探針の相対移動の制限値を設定し、当該更新後に次の走査ラインの走査を順次実行することにより試料表面の凹凸プロファイルを求めることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の動作方法。 - 前記試料表面の凹凸プロファイルを求めるに際し、直前の走査ラインの走査における試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新することを特徴とする請求項6記載の走査型プローブ顕微鏡の動作方法。
- 前記更新後に行われる走査は、取得される試料の表面像を形成する画素ラインにおける所定の画素ラインをスキップして順次行うことを特徴とする請求項6若しくは7記載の走査型プローブ顕微鏡の動作方法。
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