JPH08171056A - 走査型顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】１つの走査間隔に固定化されることなく、その
時々のシステム構成に応じた最短の走査間隔を逐次設定
できハードウエア性能を十分に生かせること。 【構成】二次元走査により取得した画像信号を外部記録
媒体又は内部メモリへ保存した後、予め設定された時間
の経過後に再び同一走査範囲の走査を開始するように動
作設定された走査型顕微鏡を開示する。既知の走査条件
に基づいて前記二次元走査から画像信号の保存までの一
連の動作を実行して画像の試し取りを行い、その画像の
試し取りに要した時間を計測する。走査条件の変更があ
れば変更後の走査条件の下で画像の取り込みに要する時
間を計測した時間に基づいて予想する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、標本の時間経過に応じ
た変化を観察するため標本像を一定時間間隔で取り込ん
で記録媒体に保存する走査型顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】走査型顕微鏡の例としてレーザ走査型顕
微鏡のシステム構成例が図４に示されている。同図に示
す走査型顕微鏡は、コントローラ１が走査ユニット２及
びステージ３を制御することによりステージ３上に載置
された標本をレーザビームで二次元走査する。この走査
で取得された画像は画像メモリ４に記憶できると共に画
像モニタ５に表示できる。また、一定時間ごとに二次元
走査によって取得される画像は記録媒体６に保存する。

【０００３】図５は、標本像を一定時間間隔で取り込ん
で標本の時間経過に応じた変化を観察するためフローチ
ャートである。コントローラ１から走査ユニット２に１
画面の入力開始信号が出力されると、走査ユニット２が
標本を二次元走査し１画面の走査が終了したところで走
査終了信号を出力する。コントローラ１は走査終了信号
を受け取ると二次元走査で取得した画像データを記録媒
体６へ渡してデータ保存を行うと共に予め設定されてい
る待ち時間が経過するまで待機状態となる。

【０００４】待ち時間が経過すると、再びコントローラ
１から走査ユニット２に１画面の入力信号が出力され、
二次元走査によって取得された画像データが記録媒体６
へ保存される。以下同様に、設定された待ち時間が経過
する度に画像データの獲得動作を実行し、走査回数が設
定回数となったところで終了する。

【０００５】ところで、上述した走査型顕微鏡での１回
当りの走査時間は、１画面の走査に必要な時間と記録媒
体６への書き込み時間との２つの要件で決まる。記録媒
体６への書込時間はシステム構成（コントローラや記録
媒体の種類）により大きく変わるため、使用コンピュー
タはＡ社のＢモデル、記録媒体は内蔵のハードディスク
といった具合に使用環境を限定した上で最も長くかかる
処理時間を、ｎ回目の走査と（ｎ＋１）回目の走査との
間の最短の走査時間間隔として設定していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、ハードウエ
アの性能は年々進歩する為、コンピュータの処理速度を
向上させたり、記録媒体へのアクセス時間を短縮するこ
とができる。このことは走査型顕微鏡のシステム構成を
ハードウエアの進歩に伴いバージョンアップすることに
より最短の走査間隔が短縮されることを意味する。

【０００７】しかしながら、開発時点でのシステム構成
における最短の走査時間を固定値と設定しているため、
ハードウエアのバージョンアップにより最短の走査間隔
が短縮されたのもにも拘らず当初設定した走査時間間隔
を使用しなければならず、ハードウエアの持つ性能を十
分に生かすことができていなかった。また、ハードウエ
アの性能を十分に生かそうとすれば、ハードウエア構成
の変更に合わせてその都度固定値を見直す作業が必要と
なる。

【０００８】なお、記録媒体への保存時間を加味した走
査間隔よりも短じかい時間間隔で標本像の変化を観察し
たい場合は、走査ユニットでの二次元走査で取得した画
像を記録媒体へ記録せずに、メモリ上にデータを残した
まま記憶領域だけを変えて続けて同メモリに記憶する。
ただし、この方法ではシステムの有するメモリの大きさ
によって取り込み可能な画像枚数に制限を受けるため多
量の画像を取り込む用途には適用できない。

【０００９】また、画像を取り込むときの走査間隔に時
間的な余裕がある場合は、画質改善等のためフィルタ処
理、又は画像表示のためにルックアップテーブルによる
変換処理等を、走査と同時に行うことができる。しか
し、これら画像処理の処理速度もハードウエアの性能に
依存するため、設計段階で使用可能な画像処理機能が特
定されていた。

【００１０】本発明は、以上のような実情に鑑みてなさ
れたもので、開発時に定めた走査間隔に固定化されるこ
となく、その時々のシステム構成での最短の走査間隔を
逐次設定できてハードウエアの性能を十分に生かすこと
ができると共に、各々観察者の目的に応じた観察を簡単
に実現できる走査型顕微鏡システムを提供することを目
的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために以下のような手段を講じた。請求項１に対
応する本発明は、予め設定された走査範囲を二次元走査
すると共にその走査により取得した画像信号を外部記録
媒体又は内部メモリへ保存した後、予め設定された時間
の経過後に再び同一走査範囲の走査を開始するように動
作設定された走査型顕微鏡において、既知の走査条件に
基づいて前記二次元走査から画像信号の保存までの一連
の動作を実行して画像の試し取りを行う試し取り手段
と、前記試し取り手段によって実行された画像の試し取
りに要した時間を計測する取込時間計測手段と、前記走
査条件の変更があると変更後の走査条件の下で画像の取
り込みに要する時間を前記取込時間計測手段で計測した
時間に基づいて予想する時間予測手段とを具備して構成
される。

【００１２】請求項２に対応する本発明は、予め設定さ
れた走査範囲を二次元走査して当該走査範囲の画像信号
を内部メモリに記憶した後、予め設定された時間の経過
後に再び同一走査範囲の走査を開始するように動作設定
された走査型顕微鏡において、前記内部メモリに記憶さ
れた画像信号を各走査と走査の間に外部記憶媒体へ保存
する逐次保存モードと、前記内部メモリに記憶された画
像信号を全走査が終了してから一括して外部記憶媒体へ
保存する一括保存モードとの選択を行う保存モード選択
手段と、前記内部メモリに記憶された画像信号を前記保
存モード選択手段で選択された保存モードに基づいて前
記外部記憶媒体へ保存する保存処理手段と、既知の走査
条件と選択された保存モードとに基づいて前記二次元走
査から画像信号の取り込みまでの一連の動作を実行して
画像の試し取りを行う試し取り手段と、前記試し取り手
段によって実行された画像の試し取りに要した時間を計
測する取込時間計測手段と、走査条件または保存モード
の変更があると変更後の走査条件及び保存モードの下で
画像の取り込みに要する時間を前記取込時間計測手段で
計測した時間に基づいて予想する時間予測手段とを具備
して構成される。

【００１３】請求項３に対応する本発明は、予め設定さ
れた走査範囲を二次元走査して当該走査範囲の画像信号
を内部メモリに記憶した後、予め設定された時間の経過
後に再び同一走査範囲の走査を開始するように動作設定
された走査型顕微鏡において、前記内部メモリに記憶さ
れた画像信号に対して各走査と走査の間に行うべき画像
処理の内容を選択する画像処理選択手段と、前記内部メ
モリに記憶された画像信号に対して前記画像処理選択手
段で選択した画像処理を各走査と走査の間に実行する画
像処理手段と、既知の走査条件と選択された画像処理内
容とに基づいて前記二次元走査から画像処理まで含む一
連の動作を実行して画像の試し取りを行う試し取り手段
と、前記試し取り手段によって実行された画像の試し取
りに要した時間を計測する取込時間計測手段と、前記走
査条件または画像処理内容の変更があると変更後の走査
条件及び画像処理内容の下で画像の取り込みに要する時
間を前記取込時間計測手段で計測した時間に基づいて予
想する時間予測手段とを具備して構成される。

【００１４】

【作用】本発明は、以上のような手段を講じたことによ
り次のような作用を奏する。請求項１に対応する本発明
によれば、最短の走査間隔を設定するために、先ず試し
取り手段により既知の走査条件に基づいて二次元走査か
ら画像信号の保存までの一連の動作が実行され、その試
し取りに要した時間が取込時間計測手段で計測される。
この結果、現状のシステム構成において任意の走査条件
を設定したときの走査時間が求められる。この走査時間
にマージンを加えた時間が、要求される走査間隔と一致
していなければ、例えば走査範囲，走査速度，走査方式
などの走査条件を変更して両者が一致するようにする。
走査条件の変更があると変更後の走査条件の下で画像の
取り込みに要する時間が取込時間計測手段で計測した時
間に基づいて時間予測手段にて予想される。この予想時
間と要求される走査間隔とが一致すれば、現在のシステ
ム構成において最短で最適な走査間隔が設定されたこと
になる。

【００１５】請求項２に対応する本発明によれば、内部
メモリに記憶された画像信号を各走査と走査の間に外部
記憶媒体へ保存する逐次保存モードと、内部メモリに記
憶された画像信号を全走査が終了してから一括して外部
記憶媒体へ保存する一括保存モードとの選択が保存モー
ド選択手段によって行われる。そして、試し取り手段に
よって既知の走査条件と選択された保存モードとに基づ
いて二次元走査から画像信号の取り込みまでの一連の動
作が実行されると共に、その試し取りに要した時間が取
込時間計測手段で計測される。この結果、現状のシステ
ム構成において外部記録媒体へ画像信号を保存するか否
かまで考慮した上での走査時間が求められる。要求され
る走査間隔との関係で、走査条件または保存モードに変
更があれば変更後の走査条件及び保存モードの下で画像
の取り込みに要する時間が時間予測手段で予測される。

【００１６】請求項３に対応する本発明によれば、内部
メモリに記憶された画像信号に対して各走査と走査の間
に行うべき画像処理の内容が画像処理選択手段において
選択される。試し取り手段が起動されると、既知の走査
条件と選択された画像処理内容とに基づいて二次元走査
から画像処理まで含む一連の動作が実行されると共に、
その試し取りに要した時間が取込時間計測手段で測定さ
れる。この結果、現状のシステム構成において任意の画
像処理を走査の間に実行した場合まで考慮した上での走
査時間が求められる。要求される走査間隔との関係で、
走査条件または画像処理内容の変更があれば、変更後の
走査条件及び画像処理内容の下で画像の取り込みに要す
る時間が時間予測手段で予測される。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。本
発明の一実施例に係る走査型レーザ顕微鏡は、図４に示
す基本システム構成を有し、図１に示す機能ブロックを
コントローラ１で実現している。本実施例は走査ユニッ
ト２での走査範囲，走査速度，走査回数等の各種走査条
件が走査条件設定部１１に設定され、使用すべき画像処
理機能の選択や保存方法の選択が選択部１２で選択され
る。走査条件設定部１１の走査条件と選択部１２の選択
内容とを取り込み画像取込みのためのシーケンスプログ
ラムを実行する部分がシーケンス処理部１３である。こ
のシーケンス処理部１３から発生するタイミング信号で
起動を掛けた保存処理部１４が画像データの記録媒体６
への保存処理を実行する。また、選択部１２で選択され
た画像処理機能に対応する画像処理部１５に対してシー
ケンス処理部１３から発生するタイミング信号で起動が
掛けられる。

【００１８】一方、後述する“試し取り”に要する時間
を画像取込み時間計測部１６が計測する。走査条件変更
部１８から走査条件設定部１１の内容を変更できるよう
になっており走査条件の変更があった場合には予想時間
算出部１７が条件変更後の走査時間を予測演算する。

【００１９】また、走査の度に記録媒体６へ画像データ
を保存する逐次保存モードと画像メモリ上に連続して複
数枚の画像を記憶して後から一括して記録媒体に保存す
る一括保存モードを選択部１２で選択する。一括保存モ
ードを選択したときはメモリサイズ調査部１９が起動を
掛けられるようになっている。メモリサイズ調査部１９
はシステムに搭載されているメモリサイズを監視する機
能を有しており走査条件として設定された走査範囲と走
査回数等から必要なメモリサイズを算出する。

【００２０】次に、以上のように構成された本実施例の
動作について、図２及び図３に示すフローチャートを参
照しながら説明する。観察者は観察する試料に合わせて
走査範囲，走査速度，走査回数等の各種走査条件を操作
パネル７から入力する。操作パネル７から入力される各
種走査条件は走査条件設定部１１に設定される。

【００２１】ここで、上記条件設定では、選択部１２に
より各走査間で行う画像処理の実行の有無と記録媒体６
への保存モードの設定を行う。画像処理部１５で実行可
能な画像処理には、フィルタ処理、ルックアップテーブ
ル変換などがある。フィルタ処理は、得られた画像に含
まれているノイズを除去する時などに使用される。ルッ
クアップテーブル変換は得られた画像に疑似カラーを付
けて強調表示させたい場合などに使用される。

【００２２】次に、画像の試し取りが実行される。試料
をステージ３にセットしない状態で操作パネル７からコ
ントローラ１に対して走査開始トリガを与えて画像取込
みのためのシーケンス処理部１３を実行する。シーケン
ス処理部１３は、走査開始トリガを受信すると、走査条
件設定部１１に設定されている各種走査条件のうち走査
範囲，走査速度の走査条件を満足するように走査ユニッ
ト２及びステージ３を制御する。走査ユニット２から走
査終了信号がシーケンス処理部１３に入力すると、シー
ケンス処理部１３が保存処理部１４へトリガを与えて起
動し、１回の二次元走査で取得された１枚の二次元画像
を記録媒体６又はメモリへ格納する。ここで、選択部１
２で逐次保存モードが選択されている場合には記録媒体
６への保存処理が実行される。また、選択部１２で画像
処理が選択されている場合には画像処理も実行され画像
モニタ５に表示される。

【００２３】以上の試し取りの期間において、シーケン
ス処理部１３から走査開始信号（又は走査開始トリガ）
が出力されてからメモリへの格納又は記録媒体６又はメ
モリへの保存処理が終了するまでの時間、若しくは画像
処理を実行して画像モニタ５へ表示するまでの時間を画
像取込み時間計測部１６が計測している。計測結果であ
る取り込みに要した時間は観察者が認識できるように表
示される。

【００２４】観察者は、上記試し取りにより得られた時
間Ｔをもとに走査の時間間隔を決定して走査条件設定部
１１に設定する。その後に試料をステージ３にセットし
たことを確認してから再び走査開始トリガを与えて実際
の観察を行う。

【００２５】ここで、上記試し取りの結果、現在の走査
条件では要求されている走査時間間隔を越えてしまう場
合がある。このような場合は走査条件設定部１１に設定
されている走査条件を変更する。例えば、走査範囲を狭
くする、又は間引き走査等により走査速度を速める。走
査条件変更部１８はこれら走査条件の変更データが入力
すると走査条件設定部１１の該当する走査条件を変更す
る。

【００２６】また、画像処理機能の選択によって走査期
間を調整する。現在、選択部１２で選択されている各画
像処理機能をその各処理時間と共にも個別表示させる。
走査時間を短縮する場合は、フィルタ処理を削除した
り、ルックアップテーブル変換処理を削除する。

【００２７】走査条件設定部１１の走査条件及び選択部
１２の選択内容が変更されると、予想時間算出部１７が
試し取りに要した走査時間、変更後の走査範囲及び走査
速度及び追加／削除後の画像処理機能に基づいて、変更
後の走査条件で画像の取り込みに要する時間を予想す
る。試し取りに要した総時間（Ｔ）は、実際の走査に要
した時間（Ｔｓ）と、画像書込みに要した時間（Ｔｗ）
と、画像処理の時間（Ｔｏ）の３つで決まる。実際の走
査に要した時間（Ｔｓ）は走査速度及び走査範囲に比例
し、画像書込みに要した時間（Ｔｗ）は走査範囲（画像
の大きさ）に比例している。従って、走査範囲を１／２
に変更すれば走査期間も試し取りの時の１／２になるこ
とが予想できる。

【００２８】走査速度を変更した場合、予想時間
（Ｔ）′は、Ｔ′＝α×Ｔｓ＋Ｔｗ＋Ｔｏ、と予想す
る。なお、αは変更後の走査速度を試し取りでの走査速
度で除算した値である。また、走査範囲を変更した場
合、予想時間（Ｔ）′は、Ｔ′＝β（Ｔｓ＋Ｔｗ＋Ｔ
ｏ）、と予想する。なお、βは新しい走査範囲を試し取
りでの走査範囲で除算した値である。

【００２９】ただし、実際にはハードウエアの制約条件
等（コンピュータのアクセス速度，記録装置のアクセス
方法等）から走査範囲を１／２に変更しても走査期間が
単純に１／２になるとは限らない。そのため、変更後の
走査条件に基づいてもう一度画像の取り込みを行い、画
像取込み時間計測部１６で計時される走査期間を確認
し、要求する走査期間を満足するまで走査条件の変更と
画像の取り込みを繰り返す。

【００３０】また、走査中は一時的にメモリ上にデータ
をおいておき、全走査終了後にまとめて記録媒体６に書
き込む一括保存モードが選択部１２で選択されている場
合、メモリサイズ調査部１９が、走査条件として設定さ
れている走査範囲及び走査回数で決まる必要なメモリサ
イズを求めると共に、システムに搭載されているメモリ
サイズを調べる。このような調査の結果、観察に必要な
メモリサイズをシステムでまかなえる場合は、選択部１
２に一括保存モードを許可する。逆にシステムに搭載さ
れているメモリサイズが足りない場合は、その旨を観察
者に知らせる。観察者はメモリサイズが足りないことを
知ったときは走査回数，走査範囲を変更する。

【００３１】試し取りにより現状のシステム構成におけ
る最短の走査期間が求められたならば、図３に示すフロ
ーチャートに基づいて実際の観測を実行する。実際に観
測を行う場合は、試し取りの場合と同様に走査パネル７
からコントローラ１に対して走査開始トリガが与えられ
シーケンス処理部１３が起動される。シーケンス処理部
１３は、上記した試し取りによって決定された走査範
囲，走査速度を含む各種走査条件を走査条件設定部１１
から読み込むと共に選択部１２で選択されている処理内
容を認識する。

【００３２】次に、走査条件設定部１１から読み込んだ
各種走査条件に基づいて走査ユニット２，ステージ３を
制御して試料をレーザ光で二次元走査すると共に、その
二次元走査によって取得した画像をメモリに記憶する。

【００３３】メモリへの記憶が終了したところで、選択
部１２で逐次保存モードか一括保存モードのいずれが選
択されているか判断し、逐次保存モードが選択されてい
る場合には保存処理部１４により画像を記録媒体６へ保
存する。また、一括保存モードが選択されていれば記録
媒体６への保存を実行することなく、引き続き選択部１
２でどの画像処理が選択されているか否かの判断を行
う。選択部１２で選択されている画像処理に対応する画
像処理部１５を実行して選択していた画像処理、例えば
フィルター処理、ルックアップテーブル変換等を実行す
る。そして、画像処理後の画像を画像モニタ５へ表示す
る。又は、画像処理が選択されていなければそのままの
画像を画像モニタ５へ表示する。画像モニタへの表示が
終了したら走査条件設定部１１に設定した走査回数Ｍと
既に実行した走査回数Ｐとを比較してＭ＞Ｐならば、走
査開始時からの経過時間が予め最短の走査期間として設
定した時間が経過するまで待機する。そして、予め最短
の走査期間として設定した時間が経過したならば再び走
査を開始する。

【００３４】一方、Ｍ＝Ｐが成立すれば、選択部１２で
選択されたモードを判断し、一括保存モードが選択され
ていればメモリに記憶されていた全画像を記録媒体６へ
保存する。又は、逐次保存モードが選択されていれば既
に保存処理が行われているのでそのまま処理を終了す
る。

【００３５】このように本実施例によれば、現状のシス
テム構成において任意の走査条件の下で画像の試し取り
を行って画像の取り込みに要する時間を実測し、要求さ
れる走査期間となるように走査条件等を変更すると共に
変更後の走査条件等での時間Ｔ′を予想演算するように
したので、ハードウエアの性能を意識することなく、且
つソフトウエアを変更することなく、現状のシステム構
成で最短の走査間隔を容易に設定でき、最適な走査間隔
でシステムの性能を十分活かした時間経過観察を可能に
する。

【００３６】本実施例によれば、走査中に実行する画像
処理等の機能を、要求される走査間隔と照らし合わせて
任意に組み合わせることができ、実現可能な最短の走査
間隔で観察したり、或いは走査間隔に余裕を持たせて画
像処理も同時に行う等、観察者が何を優先するかに応じ
たきめ細かい対応が可能になる。

【００３７】なお、以上の説明は走査条件が変更された
場合、選択される画像処理機能が変更になった場合、さ
らには保存モードが変更された場合について述べたが、
システム構成をバージョンアップしてコンピュータの処
理速度を高速化した場合であっても上記試し取りによる
最短の走査間隔の設定作業により簡単に最適な走査間隔
を設定できる。

【００３８】本発明は、レーザ走査顕微鏡以外にも、例
えば走査型超音波顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡等、走
査型の顕微鏡であれば適用可能である。本発明は上記実
施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲内で種々変形実施可能である。

【００３９】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、開
発時に定めた走査間隔に固定化されることなく、その時
々のシステム構成での最短の走査間隔を逐次設定できて
ハードウエアの性能を十分に生かすことができると共
に、各々観察者の目的に応じた観察を簡単に実現できる
走査型顕微鏡システムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るレーザ走査型顕微鏡に
備えたコントローラの機能ブロック図である。

【図２】図１に示すレーザ走査型顕微鏡における画像の
試し取りのためのフローチャートである。

【図３】図１に示すレーザ走査型顕微鏡における実際の
画像取り込みのためのフローチャートである。

【図４】従来のレーザ走査型顕微鏡のハードウエア構成
図である。

【図５】図４に示すレーザ走査型顕微鏡における実際の
画像取り込みのためのフローチャートである。

【符号の説明】

１…コントローラ、２…走査ユニット、３…ステージ、
４…画像メモリ、５…画像モニタ、６…記録媒体、１１
…走査条件設定部、１２…選択部、１３…シーケンス処
理部、１４…保存処理部、１５…画像処理部、１６…画
像取込み時間計測部、１７…予想時間算出部、１８…走
査条件変更部、１９…メモリサイズ調査部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予め設定された走査範囲を二次元走査す
   ると共にその走査により取得した画像信号を外部記録媒
   体又は内部メモリへ保存した後、予め設定された時間の
   経過後に再び同一走査範囲の走査を開始するように動作
   設定された走査型顕微鏡において、 既知の走査条件に基づいて前記二次元走査から画像信号
   の保存までの一連の動作を実行して画像の試し取りを行
   う試し取り手段と、 前記試し取り手段によって実行された画像の試し取りに
   要した時間を計測する取込時間計測手段と、 前記走査条件の変更があると変更後の走査条件の下で画
   像の取り込みに要する時間を前記取込時間計測手段で計
   測した時間に基づいて予想する時間予測手段とを具備し
   たことを特徴とする走査型顕微鏡。
2. 【請求項２】 予め設定された走査範囲を二次元走査し
   て当該走査範囲の画像信号を内部メモリに記憶した後、
   予め設定された時間の経過後に再び同一走査範囲の走査
   を開始するように動作設定された走査型顕微鏡におい
   て、 前記内部メモリに記憶された画像信号を各走査と走査の
   間に外部記憶媒体へ保存する逐次保存モードと、前記内
   部メモリに記憶された画像信号を全走査が終了してから
   一括して外部記憶媒体へ保存する一括保存モードとの選
   択を行う保存モード選択手段と、 前記内部メモリに記憶された画像信号を前記保存モード
   選択手段で選択された保存モードに基づいて前記外部記
   憶媒体へ保存する保存処理手段と、 既知の走査条件と選択された保存モードとに基づいて前
   記二次元走査から画像信号の取り込みまでの一連の動作
   を実行して画像の試し取りを行う試し取り手段と、 前記試し取り手段によって実行された画像の試し取りに
   要した時間を計測する取込時間計測手段と、 前記走査条件または保存モードの変更があると変更後の
   走査条件及び保存モードの下で画像の取り込みに要する
   時間を前記取込時間計測手段で計測した時間に基づいて
   予想する時間予測手段とを具備したことを特徴とする走
   査型顕微鏡。
3. 【請求項３】 予め設定された走査範囲を二次元走査し
   て当該走査範囲の画像信号を内部メモリに記憶した後、
   予め設定された時間の経過後に再び同一走査範囲の走査
   を開始するように動作設定された走査型顕微鏡におい
   て、 前記内部メモリに記憶された画像信号に対して各走査と
   走査の間に行うべき画像処理の内容を選択する画像処理
   選択手段と、 前記内部メモリに記憶された画像信号に対して前記画像
   処理選択手段で選択した画像処理を各走査と走査の間に
   実行する画像処理手段と、 既知の走査条件と選択された画像処理内容とに基づいて
   前記二次元走査から画像処理まで含む一連の動作を実行
   して画像の試し取りを行う試し取り手段と、 前記試し取り手段によって実行された画像の試し取りに
   要した時間を計測する取込時間計測手段と、 前記走査条件または画像処理内容の変更があると変更後
   の走査条件及び画像処理内容の下で画像の取り込みに要
   する時間を前記取込時間計測手段で計測した時間に基づ
   いて予想する時間予測手段とを具備したことを特徴とす
   る走査型顕微鏡。