JP4724062B2

JP4724062B2 - ドレスギアの製造方法及び製造装置

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Publication number: JP4724062B2
Application number: JP2006196296A
Authority: JP
Inventors: 優藤井; 智明中筋; 祥瑞竹野; 興一そうけ谷
Original assignee: Nachi Fujikoshi Corp; Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Nachi Fujikoshi Corp; Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2006-07-19
Filing date: 2006-07-19
Publication date: 2011-07-13
Anticipated expiration: 2026-07-19
Also published as: JP2008023620A

Description

本発明は、歯車の高精度仕上げに使用する歯車型砥石の目立て、整形を行うためのドレスギアの製造方法及び製造装置に関するものである。

歯車は、ブランクと呼ばれる素材に対して旋削して歯きりを行い、歯形を整えるためのシェービング加工を行った後、熱処理によって表面を硬化することにより製作される。特に、低騒音や低振動化の要求が高く、歯車として高精度が求められる自動車用動力伝達歯車においては、熱処理による変形を取り除くために、熱処理後にさらに仕上げ加工としてギアホーニング加工が実施される。

ギアホーニング加工には次のような工程がある。まず、製品となる歯車と同形状のドレスギアを用いてホーニング砥石を研削してホーニング砥石の形状精度を良くする。次に、ドレスギアの形状が転写されたホーニング砥石により製品となる歯車に対して仕上げ加工する。その結果、ドレスギアの形状が歯車に転写され、形状精度が良くなった歯車を提供することができる。従って、このホーニング加工においては、ドレスギアの形状精度を高めることが非常に重要である。

ドレスギアの形状精度を高める方法のひとつとして、円盤状砥石によりドレスギアを研削する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

上記特許文献１では、ホーニング砥石の加工用としてｃＢＮ（立方晶窒化ホウ素）の微粒子を備えたドレスギアに対して、より硬度が高いダイヤモンドの微粒子を備えた円盤状のツルーイング工具によりツルーイングを行い、ｃＢＮ超微粒子の高さを揃え、ドレスギアの形状精度を上げている。

特開平９−２０１７２１号公報（第４−５頁、図１−１１）

ギアホーニング加工では、ワークを加工するホーニング砥石の歯形の成形を、ドレスギアを用いて行っている。ドレスギアは、ホーニング砥石の歯面とかみ合い接触し、ホーニング砥石の歯形のドレッシングを実施する。ホーニング砥石は、内歯形状の歯車であり、ドレスギアとかみ合い回転することで、歯面に歯形方向のすべりが生じる。また、より研削を有効に行うために、ホーニング砥石の軸方向に往復運動（オシレーション）を加えることで、ホーニング砥石の表面粗さを小さくすることができる。

つまり、ドレスギアは、ホーニング砥石の回転に従動もしくは同期して回転するとともに、軸方向に往復（オシレーション）運動し、歯形方向および歯筋方向のすべりによりホーニング砥石の歯面を削ることができる。

ドレスギアの形状精度を高めるために円盤状砥石でツルーイングを行うと、ドレスギアと円盤状砥石の接触は面接触となるため、削られたｃＢＮ砥粒の先端は平坦な面が形成され、また、砥粒の高さがそろうことで、切り粉などの排出のためのチップポケットが小さくなり、切り粉の排出性や研磨液の流れが悪くなる。

この結果、ツルーイングしたドレスギアは、接触面積が増大し研削抵抗が増加したり、切り粉排出の隙間が小さくなることにより目詰まりしやすくなって切れ味が悪くなり、寿命が短く、また、作業性が低下するという問題があった。

本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、ツルーイングしたドレスギアを、長寿命で作業性がよいものとすることを目的とする。

本発明に係るドレスギアの製造方法は、歯車とほぼ同形状で、超砥粒が電着され、ツルーイングされたドレスギアの歯面に対して、加工用レーザ光及び上記加工用レーザ光より大きいビーム径で、可視光のパイロットレーザ光を同軸に照射して溝加工を行うものである。

本発明に係るドレスギアの製造装置は、歯車とほぼ同形状で超砥粒が電着され、ツルーイングされたドレスギアの歯面に、加工用レーザ光を照射して溝を形成するための加工用レーザ発振器と、
上記加工用レーザ光より大きいビーム径で、可視光のパイロットレーザ光を上記加工用レーザ光と同軸に上記ドレスギアの歯面に照射するパイロットレーザ発振器と、
上記ドレスギアを回転させる回転軸を有する回転駆動部と、
上記ドレスギアを上記回転軸と平行なＸ軸方向、上記Ｘ軸と垂直なＹ軸方向及び上記Ｘ軸方向と上記Ｙ軸方向と垂直なＺ軸方向に移動させるステージと、
上記回転駆動部の回転、及び上記ステージのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向移動を制御する制御ユニットと、
を備えたものである。

本発明に係るドレスギアの製造方法によれば、ドレスギアのような複雑で細かい対象に対しても容易に溝加工を行うことができる。

本発明に係るドレスギアの製造装置によれば、隣り合うドレスギアの歯面に干渉しない照射位置を容易に検出することが可能であり、また、加工用レーザ光を常に歯面に対して一定の照射角で照射することができ、均一な巾や深さの溝を加工することができる。

実施の形態１．
図１は、本発明に係るドレスギアの製造装置の実施の形態１を示す構成図である。本発明に係るドレスギアの製造装置ではレーザ光を使用して、ドレスギアの歯面に溝を形成するものである。
まず、図１に基づき、加工用レーザ光の光路について説明する。レーザ発振器２１から射出された加工用レーザ光は、ビームエキスパンダー２２により拡大されて平行光線となった後に、ベンディングミラー２３により溝入れ加工を行う加工室へ導かれ、加工室内に設置された集光レンズ２４により集光される。また、加工部分を観察するために、図示していないが、ＣＣＤカメラを設置し、加工状況をモニターすることができる。

次に、可視光パイロットレーザ発振器２５について説明する。パイロットレーザ光としては、６３０ｎｍの赤色半導体レーザを用いている。ベンディングミラー２３は、パイロットレーザ光の波長に対して、透過特性を持つものを選ぶ。ベンディングミラー２３の上部から照射されたパイロットレーザ光は、ベンディングミラー２３を透過して、加工用レーザ発振器２１から照射される加工用レーザ光と同じ光軸２６を通る。可視光パイロットレーザ発振器２５には、パイロットレーザ光のビーム径を変更するレンズユニットが備えられ、ビーム径を加工用レーザよりも大きく設定することができる。また、パイロットレーザ光の出力は、ドレスギアのダイヤモンドなどの超砥粒を加工するエネルギーを持たず、ドレスギアの歯面に接触したとしても砥粒にダメージを与えることがない。

次に、加工ワークとなるドレスギア２０を動作させる駆動部について説明する。ドレスギア２０は、Ｘ軸２８、Ｙ軸２９、Ｚ軸３０方向に可動なステージの上に設置される。さらに、ドレスギア２０は、Ｘ軸２８方向と平行な回転軸３１（以下、Ａ軸３１という）を持つモータに接続されている。以上の構成により、ドレスギアは、Ｘ軸２８、Ｙ軸２９、Ｚ軸３０方向の移動及びＡ軸３１の回転動作を行うことができる。

また、駆動部とレーザ発振器の両方を制御する制御ユニット２７を備え、制御ユニット２７は、ステージの動作及びドレスギア２０の回転とレーザ発振器２１，２５のＯＮ−ＯＦＦ制御を行うことができる。

図２は、加工ワークであるドレスギア２０を示す斜視図であり、はすば形状のドレスギアを示している。はすば形状のドレスギア２０は、ドレスギア２０の軸方向をＸ軸２８、ドレスギア２０の回転軸をＡ軸３１となるようにモータに取り付けられる。Ｘ軸２８方向の進行に対応して、はすばのねじれ角分だけＡ軸３１を回転させることにより、はすばのねじれに対応してドレスギア２０を動作させることができる。

図３は、はすば形状のドレスギア２０の歯面に加工用レーザ光４２を照射している状態を示す模式図である。加工用レーザ光４２は、ドレスギア２０の歯面に照射され、レーザ光の焦点位置４３に、ドレスギア２０の歯面の歯形曲線（インボリュート曲線）４１が位置している。加工用レーザ光４２の焦点位置４３が、常に歯面の歯形曲線４１上にあるように、Ａ軸３１の回転とＹ軸２９方向の移動の同時２軸動作をインボリュート曲線の特性に基づき行うことにより、レーザ光の焦点位置４３にドレスギア２０の歯面を常にあわせることができる。

図４は、円盤状砥石６０によるドレスギア２０のツルーイングを示す正面図である。ドレスギア２０のダイヤモンド砥粒２０ａは、比較的形状の整った８０番の砥粒（平均粒径約１９０μｍ）を、Ｎｉめっきにより歯車台金表面に固定している。被削物となるホーニング砥石の表面精度を良くするために、駆動用モータ６１で円盤状砥石６０を回転させ、矢印で示す砥石のツルーイング方向６２に、ツルーイングする。ツルーイングを実施したドレスギア２０を上記図１に示したドレスギアの製造装置の加工用ワークとして用いる。ただし、ツルーイングの方式は円盤状砥石６０によるツルーイングに限定されるものではなく、レーザ光などによるツルーイングの方式でもよい。

溝加工用のレーザ発振器２１としては、ＹＡＧレーザを用いることができる。発振波長は１０６４ｎｍ、平均出力２０Ｗ、ピークパワー４０ｋＷ、繰返し周波数２ｋＨｚ、パルス幅１００ｎｍ、ビーム径は約６０μｍとする。

図５は、溝加工を行う加工歯４５に対して加工基準位置出しの様子を表す正面図である。歯面の砥粒に対して効率よく溝入れ加工を行うためには、歯面に対してレーザ光をできるだけ垂直に近い角度で照射し、加工のエネルギーを効率よくすることが必要である。
まず、図５（ａ）に示したように、調整の基準となる歯として基準歯４４を選び、その基準歯４４の頂点４７を加工レーザ光４２の焦点位置４３に合わせる。

次に、図５（ｂ）に示したように、基準歯４４と隣接する加工歯４５の歯面と基礎円の交点（歯元）に加工用レーザ光４２の焦点位置４３を合わせるように、回転角４６（α１）とＺ軸３０方向の移動を行う。この点を加工基準位置４８とする。

次に、図５（ｃ）に示したように、加工用レーザ光４２の照射角４９（α２）を得る。照射角４９（α２）を得るためには、加工基準位置４８に加工用レーザ光４２の焦点を固定（Ｚ軸を固定）し、加工用レーザ光４２と同軸に照射されるパイロットレーザ光５１が、基準歯４４の歯面と接触するまで、ドレスギアの基礎円４０の中心であるＡ軸３１の回転と、その回転量と基礎円半径から求められるＹ軸２９方向の移動（Ｙ軸方向移動量Ｙ２）を同時に行う（Ａ軸３１とＹ軸２９の同時２軸動作）。

パイロットレーザ光５１が基準歯４４の歯面に接触する位置は、ＣＣＤカメラで観察し、そのときの加工歯４５の歯面に対する加工用レーザ光４２の方向と、基礎円４０の中心（Ａ軸３１）と加工用レーザ光４２の焦点位置４３とを結ぶ線との間の角度を照射角４９（α２）とする。パイロットレーザ光５１のビーム径は加工用レーザ光４２のビーム径よりも大きいので、加工時には基準歯４４の歯面に加工用レーザ光４２が接触せずに、加工歯４５の歯面に対してのみ必要な溝加工を実施することができる。

図６は、溝入れ加工工程を示すフローチャートである。加工工程は、大きく分けると、加工用レーザ光の照射角の割り出しと、歯面に対する溝加工である。レーザの照射角の決定は先に述べたように、図６のＳ１〜Ｓ４の工程を実施する。

次に、加工歯４５の歯面と基礎円の交点を加工基準点４８として、その点からインボリュート曲線をＹ軸２８とＡ軸３１の同期により描く（Ｓ５）ことで、歯面に対して焦点位置やレーザ照射角が変わることなく、加工を行うことができるので、形状の安定した溝加工を行うことができる。

次に、加工用レーザ光を停止し、歯筋方向へドレスギアをピッチ送りし（Ｓ６）、加工用レーザ光を照射しながら、歯先から歯元へインボリュート曲線を描く（Ｓ７）。

次に、加工用レーザ光を停止し、歯筋方向へドレスギアをピッチ送りし（Ｓ８）、１歯面の加工が完了しているか否かを判断し（Ｓ９）、完了していなければＳ５〜Ｓ８を繰り返し、完了していれば、次の歯の溝入れ加工へ進み（Ｓ１０）、全歯の加工が終了しているか否かを判断し（Ｓ２２）、全歯の加工が終了するまで、Ｓ５〜Ｓ１１を繰り返す。

歯筋方向の溝のピッチとしては、砥粒径よりもピッチが小さいと砥粒平坦部が狭くなりすぎ、単位面積あたりの負荷が上昇し、砥粒の摩耗や脱落が進みやすくなり、ドレスギアの寿命が短くなる問題が発生する。従って、砥粒径よりも大きいピッチとし、この実施の形態１では５００μｍとした。

上記のように、一つの歯面が完了すれば、順次、隣の歯面へ回転移動し、ドレスギアの片面の全ての歯面が完了する。片面が完了すれば、同様の工程に従い、反対面の加工を行う。また、上記図６のフローチャートでは、加工用レーザ光を歯元と歯先との間を往復で照射しているが、歯先からまたは歯元からの片道の照射としてもよい。

図７は、本実施の形態１の製造方法により歯面に溝２を形成したドレスギアの歯１を示す斜視図である。図７に示したように、溝２はダイヤモンド砥粒３よりも大きなピッチで歯形方向に形成されている。

本実施の形態１によれば、溝２が形成されたことにより、ツルーイングにより砥粒高さがそろえられて被削面の面精度が良くなったドレスギアは、ホーニング砥石を加工する時の歯面の歯形方向のすべりに対して接触面積を低減し、すべり方向の摩擦を減らすと同時に、切り粉の排出性や研削液の流れがよくなり、切れ味を向上させることができる。

また、ドレスギアの歯面にたいして、加工用レーザ光の角度を一定に保って照射することができるので、安定した歯形方向の溝２の形状を得ることができる。

実施の形態２．
図８は、歯筋方向の溝４を形成した本実施の形態２のドレスギアの歯面を示す斜視図であり、図９は、本実施の形態２のドレスギアの製造装置を示す構成図である。

本実施の形態２では、図９に示したように、ドレスギア２０の歯筋方向（Ｘ軸３０方向）に走査を行う手段として、ベンディングミラーに駆動装置３４を取り付けて、スキャン機能を付与したスキャンミラー３３を使用した。スキャンミラー３３は、駆動装置３４により入射されるレーザ光をＸ軸に平行な方向に走査することができる。スキャンミラー３３を用いたことにともない、パイロットレーザ発振器３２は、ビームエキスパンダー２２とスキャンミラー３３との間に設置している。パイロットレーザ発振器３２は、可動ステージ上に設置され、使用時のみ加工用レーザ光の光軸上に位置し、使用していない時は光軸の外側にはずすことができる。

加工用レーザ発振器２１から出射された加工用レーザ光は、ビームエキスパンダー２２で拡大されて平行光となり、スキャンミラー３３により加工室内に導かれる。

図１０は、歯筋方向の溝加工の工程を示すフローチャートであり、このフローチャートに基づき、加工工程を説明する。
まず、加工基準位置出しについては実施の形態１と同様で、Ｓ１〜Ｓ４工程による。

次に、加工基準位置出し後、歯筋方向のはすばのねじれに対応するために、Ｘ軸２８方向の走査となるスキャンミラー３３の回転角に対応して、Ａ軸３１を同時に回転させることにより、加工用レーザ光を照射しながら歯筋方向の走査を行う（Ｓ５１）。

次に、加工用レーザ光を停止し、歯形方向にピッチ送りをする（Ｓ５２）。歯形方向のピッチ送りは、歯形方向の曲線がインボリュート曲線で形成されているので、その特性を利用して、Ｙ軸２９とＡ軸３１を同時２軸動作させることにより行う。

次に、Ｓ５１と同様に、歯筋方向のはすばのねじれに対応するために、Ｘ軸２８方向の走査となるスキャンミラー３３の回転角に対応して、Ａ軸３１を同時に回転させることにより、加工用レーザ光を照射しながら歯筋方向の走査を行う（Ｓ５３）。

次に、Ｓ５２と同様に、加工用レーザ光を停止し、歯形方向にピッチ送りをする（Ｓ５２）。

次に、１歯面の加工が完了したか否かを判断し、完了していなければＳ５１〜Ｓ５５の工程を繰り返し、完了していれば、次の歯の溝入れ加工へ進み（Ｓ５６）、全歯の加工が終了しているか否かを判断し（Ｓ５７）、全歯の加工が終了するまで、Ｓ５１〜Ｓ５７を繰り返す。

以上のように歯筋方向走査についてスキャンミラーの回転による走査とＡ軸３１を同期させ、また歯形方向のピッチ送りについてはＹ軸２９とＡ軸３１を同期させることで、ドレスギアの歯面に対して一定の照射角で加工用レーザ光を照射することができる。

上記のように、一つの歯面が完了すれば、順次、隣の歯面へ回転移動し、ドレスギアの片面の全ての歯面が完了する。片面が完了すれば、同様の工程に従い、反対面の加工を行う。

本実施の形態２によれば、溝２が形成されたことにより、ツルーイングにより砥粒高さがそろえられて被削面の面精度が良くなったドレスギアは、ホーニング砥石を加工する時の歯面の歯筋方向のすべりに対して接触面積を低減し、すべり方向の摩擦を減らすと同時に、切り粉の排出性や研削液の流れがよくなり、切れ味を向上させることができる。

また、ドレスギアの歯面にたいして、加工用レーザ光の角度を一定に保って照射することができるので、安定した歯筋方向の溝４の形状を得ることができる。また、加工用レーザ光を用いることで、複雑で細かい形状のドレスギアに対しても、容易に溝加工を行うことができる。

実施の形態３．
図１１は、ドレスギアの歯面に対して斜め方向の溝５を形成したドレスギア１歯面の斜視図である。本実施の形態３で用いたドレスギアの製造装置は、実施の形態１と同様の構成である。

インボリュート曲線で構成されるドレスギアの歯面に歯形方向及び歯筋方向と傾いた斜め方向に溝加工を行う場合、加工基準位置は、実施の形態１及び２と同様に、加工歯の歯面と基礎円の交点とする。歯形方向の走査は、インボリュート曲線の特性から、Ｙ軸２９とＡ軸３１の同期により描くことができる。歯筋方向の走査は、はすばのねじれに対応するようにＸ軸２８とＡ軸３１を同期させればよい。したがって、Ｙ軸、Ｘ軸、Ａ軸の３軸を同時制御することによりドレスギア２０の歯面に対して任意の角度をもった溝を均等に加工することができる。

図１２は、ドレスギアの１歯面に斜めに溝加工を行う場合の工程を示すフローチャートであり、このフローチャートに基づき、加工工程を説明する。

本実施の形態３では、加工の初期においては、図１２のＳ６１〜Ｓ６８の歯形方向のピッチ送りと歯先円での歯筋方向のピッチ送りが行われる。基礎円高さまで歯形方向のピッチ送りが終了すれば、基礎円および歯先円高さで歯筋方向のピッチ送りとなる。歯先円高さで、歯幅分の送りが完了すれば、基礎円高さの歯筋方向の送りと、歯形方向の送りとなる。しかしながら、斜め方向の溝加工の流れは、このフローに限定されるものではない。

まず、Ｙ軸方向にドレスギア２０を移動させ、パイロットレーザ光が接触した位置を加工基準位置とする（Ｓ６１）。

次に、Ｙ軸２９とＡ軸３１の駆動により、加工用レーザ光の焦点位置が加工歯の歯先に位置するように移動させる（Ｓ６２）。

次に、Ｙ軸２９とＡ軸３１の駆動により、軸直角方向（歯形方向）にピッチ送りして加工開始点まで移動させる（Ｓ６３）。

次に、加工用レーザ光を照射しながら、Ｙ軸２９、Ｘ軸３０及びＡ軸３１を同時制御し、歯先まで加工する（Ｓ６４）。

次に、加工用レーザ光を停止し、Ｘ軸３０とＡ軸３１とを制御して歯先部分で歯筋方向にピッチ送りする（Ｓ６５）。

次に、歯幅分の歯筋方向送りが完了しているか否かを判断し（Ｓ６６）、完了していなければ加工用レーザ光を照射しながら、Ｙ軸２９、Ｘ軸２８及びＡ軸３１を同時制御し、歯元方向に加工し（Ｓ６７）、加工用レーザ光を停止し、Ｙ軸２９とＡ軸３１とを制御して歯形方向にピッチ送りし（Ｓ６８）、基礎円までの送りが完了しているか否かを判断し（Ｓ６９）、完了していなければＳ６４〜Ｓ６９を繰り返す。

また、Ｓ６９において、基礎円までの送りが完了している場合には、Ｘ軸２８とＡ軸３１を制御して歯筋方向にピッチ送りし（Ｓ７０）、Ｓ６４〜Ｓ７０を繰り返す。

Ｓ６６において、歯幅分の歯筋送りが完了している場合には、Ｓ７１へ進んで歯形方向にピッチ送りし、加工用レーザ光を照射しながら、Ｙ軸２９、Ｘ軸２８及びＡ軸３１を同時制御し、歯元まで加工する（Ｓ７２）。

次に、加工用レーザ光を停止し、Ｘ軸２８とＡ軸３１とを制御して歯元部分で歯筋方向にピッチ送りし（Ｓ７３）、加工用レーザ光を照射しながらＹ軸２９、Ｘ軸２８及びＡ軸３１を同時制御して歯元まで加工する（Ｓ７４）。

次に、基礎円までの送りが完了しているか否かを判断し（Ｓ７５）、完了していなければＳ７１〜Ｓ７５を繰り返し、完了していれば１歯面の加工完了となる。

以上の歯面の加工を全歯面に実施することにより、歯形方向と歯筋方向に対して任意の角度を持った溝加工を行ったドレスギアを提供することができる。

本実施の形態３によれば、溝２が形成されたことにより、ツルーイングにより砥粒高さがそろえられて被削面の面精度が良くなったドレスギアは、ホーニング砥石を加工する時の歯面の歯形方向及び歯筋方向両方のすべりに対して接触面積を低減し、すべり方向の摩擦を減らすと同時に、切り粉の排出性や研削液の流れがよくなり、切れ味を向上させることができる。

本発明は、歯車の高精度仕上げに使用する歯車型砥石のギアホーニング加工に使用するドレスギアの切れ味の低下を少なくし、長寿命化するのに有効に利用することができる。

本発明に係るドレスギアの製造装置の実施の形態１を示す構成図である。加工ワークであるドレスギア２０を示す斜視図である。はすば形状のドレスギア２０の歯面に加工用レーザ光４２を照射している状態を示す模式図である。円盤状砥石６０によるドレスギア２０のツルーイングを示す正面図である。溝加工を行う加工歯４５に対して加工原点出しの様子を表す正面図である。溝入れ加工工程を示すフローチャートである。本実施の形態１の製造方法により歯面に溝２を形成したドレスギアの歯１を示す斜視図である。歯筋方向の溝４を形成した本実施の形態２のドレスギアの歯面を示す斜視図である。実施の形態２のドレスギアの製造装置を示す構成図である。歯筋方向の溝加工の工程を示すフローチャートである。ドレスギアの歯面に対して斜め方向の溝５を形成したドレスギア１歯面の斜視図である。ドレスギアの歯面に斜めに溝加工を行う場合の工程を示すフローチャートである。

１ドレスギアの歯、２歯形方向の溝、３ダイヤモンド砥粒、４歯筋方向の溝、
５斜め方向の溝、２０加工ワーク（ドレスギア）、２１加工用レーザ発振器、
２２ビームエキスパンダー、２３ベンディングミラー（ハーフミラー）、
２４集光レンズ、２５パイロットレーザ発振器、２６レーザ光軸、
２７制御ユニット、２８Ｘ軸、２９Ｙ軸、３０Ｚ軸、３１Ａ軸（回転軸）、
３２パイロットレーザ（可動）、３３スキャンミラー、３４駆動装置、
４０ドレスギアの基礎円、４１歯形インボリュート曲線、４２加工用レーザ光、
４３レーザ焦点位置、４４基準歯、４５加工歯、４６回転角α１、
４７基準歯の頂点、４８加工基準位置、４９照射α２、５０Ｙ軸移動量Ｙ２、
５１パイロットレーザ光、６０円盤状砥石、６１駆動用モータ、
６２砥石のツルーイング方向。

Claims

歯車とほぼ同形状で、超砥粒が電着され、ツルーイングされたドレスギアの歯面に対して、加工用レーザ光及び上記加工用レーザ光より大きいビーム径で、可視光のパイロットレーザ光を同軸に照射して溝加工を行うことを特徴とするドレスギアの製造方法。
歯車とほぼ同形状で超砥粒が電着され、ツルーイングされたドレスギアの歯面に、加工用レーザ光を照射して溝を形成するための加工用レーザ発振器と、
上記加工用レーザ光より大きいビーム径で、可視光のパイロットレーザ光を上記加工用レーザ光と同軸に上記ドレスギアの歯面に照射するパイロットレーザ発振器と、
上記ドレスギアを回転させる回転軸を有する回転駆動部と、
上記ドレスギアを上記回転軸と平行なＸ軸方向、上記Ｘ軸と垂直なＹ軸方向及び上記Ｘ軸方向と上記Ｙ軸方向と垂直なＺ軸方向に移動させるステージと、
上記回転駆動部の回転、及び上記ステージのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向移動を制御する制御ユニットと、
を備えたことを特徴とするドレスギアの製造装置。
上記加工用レーザ光をＸ軸方向に走査する手段を備え、上記制御ユニットは、上記回転駆動部の回転、及び上記ステージのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向移動を制御するとともに、上記走査する手段の走査を制御することを特徴とする請求項２に記載のドレスギアの製造装置。