JP4723945B2 - 原子間力顕微鏡微細加工装置を用いたマスク余剰欠陥除去方法 - Google Patents
原子間力顕微鏡微細加工装置を用いたマスク余剰欠陥除去方法 Download PDFInfo
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Description
Y. Morikawa, H. Kokubo, M. Nishiguchi, N. Hayashi, R. White, R. Bozak, and L. Terrill,Proc. of SPIE 5130 520-527(2003) Proceedings of SPIE 5446 348-356(2004)
図1は、2軸チルト試料ステージでマスクの傾きを補正して加工する場合の概略断面図である。
欠陥検査装置で余剰欠陥が見つかったフォトマスクを原子間力顕微鏡欠陥修正装置に導入し、余剰欠陥が見つかった位置にXYステージ3を移動する。次にZ軸移動機構5で探針を原子間力が検出できる近さまでマスクに近づけ、後はスキャナーのZ成分で高さが一定になるように制御する。原子間力顕微鏡のコンタクトモードまたは間欠的な接触モードで欠陥を含む領域のイメージングを行って正常なパターンとパターンマッチング等で比較することで欠陥部分を抽出し認識する。
2 原子間力顕微鏡のスキャナー
3 XYステージ
4 2軸チルトステージ
5 Z軸移動機構
6 マスク
7 傾いた加工面
8 原子間力顕微鏡スキャナーの2軸チルト機構
Claims (7)
- 予めマスクの離れた3点以上で高NA対物レンズをつけた光学顕微鏡のフォーカスの合う高さからマスクの傾きを求めておき、探針のスキャン面とマスク面が平行になるようにマスクの傾きを2軸チルト試料ステージで補正して加工し余剰欠陥を除去することを特徴とする原子間力顕微鏡微細加工装置を用いたマスク余剰欠陥除去方法。
- 予めマスクの離れた3点以上で原子間力顕微鏡探針のアプローチを行いそのときのZ軸の高さ情報からマスクの傾きを求めておき、探針のスキャン面とマスク面が平行になるようにマスクの傾きを2軸チルト試料ステージで補正して加工し余剰欠陥を除去することを特徴とする原子間力顕微鏡微細加工装置を用いたマスク余剰欠陥除去方法。
- 予めマスクの離れた3点以上で高NA対物レンズをつけた光学顕微鏡のフォーカスの合う高さからマスクの傾きを求めておき、探針のスキャン面とマスク面が平行になるように原子間力顕微鏡のスキャナー側に設けた2軸チルト機構で探針を傾けて加工し余剰欠陥を除去することを特徴とする原子間力顕微鏡微細加工装置を用いたマスク余剰欠陥除去方法。
- 予めマスクの離れた3点以上で原子間力顕微鏡探針のアプローチを行いそのときのZ軸の高さ情報からマスクの傾きを求めておき、探針のスキャン面とマスク面が平行になるように原子間力顕微鏡のスキャナー側に設けた2軸チルト機構で探針を傾けて加工し余剰欠陥を除去することを特徴とする原子間力顕微鏡微細加工装置を用いたマスク余剰欠陥除去方法。
- 加工面が斜めになる場合に、加工形状から前記加工面の傾きを求め、傾きと同方向に前記2軸チルト試料ステージで前記マスクを傾けて補正して余剰欠陥を除去することを特徴とする請求項1または2に記載の原子間力顕微鏡微細加工装置を用いたマスク余剰欠陥除去方法。
- 加工面が斜めになる場合に、加工形状から前記加工面の傾きを求め、前記原子間力顕微鏡のスキャナー側に設けた2軸チルト機構で前記探針を前記加工面の傾きに対し、反対方向に傾けて補正して余剰欠陥を除去することを特徴とする請求項3または4に記載の原子間力顕微鏡微細加工装置を用いたマスク余剰欠陥除去方法。
- 原子間力顕微鏡側とマスク側の両方に2軸チルトステージを有する装置で、原子間力顕微鏡のスキャン面とマスク面の平行性の確保を一方の2軸チルトステージで行って加工し、前記加工による加工面が斜めになる場合の補正を他方の2軸チルトステージで行って原子間力顕微鏡探針にて余剰欠陥を除去することを特徴とする原子間力顕微鏡微細加工装置を用いたマスク余剰欠陥除去方法。
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