JP4722754B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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基板上に半導体層を形成する半導体層形成工程と、
上記半導体層上に、リッジ形状部および溝形状部の少なくとも一方を形成するためのマスクを形成するマスク形成工程と、
上記マスクを用いたドライエッチングにより、上記半導体層上に、上記リッジ形状部および上記溝形状部の少なくとも一方を形成する非平坦部形成工程と
を有し、
上記非平坦部形成工程は、
上記ドライエッチングにより上記半導体層の被エッチング部表面に形成された反応生成物を、上記ドライエッチング後に酸化させる反応生成物酸化工程と、
酸化させた上記反応生成物を除去する反応生成物除去工程と
を有し、
上記反応生成物酸化工程では、酸素およびオゾンの少なくとも一方を含む雰囲気中で、上記反応生成物に紫外線を照射して、上記反応生成物を酸化させることを特徴としている。
また、上記反応生成物酸化工程では、酸素およびオゾンの少なくとも一方を含む雰囲気中で、上記反応生成物に紫外線を照射して、上記反応生成物を酸化させるので、上記反応生成物を酸化させるだけでなく、有機物などの汚染物質を除去することができて、半導体装置を清浄に保つことができる。
上記ドライエッチング中に、特にリッジ形状部(つまり、上記第2クラッド層4および上記キャップ層5)の側壁およびこの側壁の両隣の平坦部(つまり、被エッチング部)に、反応生成物12が付着する。なお、上記反応生成物12は、上記平坦部にも付くが圧倒的に上記側壁に付着する。
2 AlGaInP第1クラッド層
3 GaInP/AlGaInP多重量子井戸活性層
4 AlGaInP第2クラッド層
5 GaAsキャップ層
6 絶縁層
7,8,9 電極
10 電極層
11 SiO2マスク
12 反応生成物
Claims (9)
- 基板上に半導体層を形成する半導体層形成工程と、
上記半導体層上に、リッジ形状部および溝形状部の少なくとも一方を形成するためのマスクを形成するマスク形成工程と、
上記マスクを用いたドライエッチングにより、上記半導体層上に、上記リッジ形状部および上記溝形状部の少なくとも一方を形成する非平坦部形成工程と
を有し、
上記非平坦部形成工程は、
上記ドライエッチングにより上記半導体層の被エッチング部表面に形成された反応生成物を、上記ドライエッチング後に酸化させる反応生成物酸化工程と、
酸化させた上記反応生成物を除去する反応生成物除去工程と
を有し、
上記反応生成物酸化工程では、酸素およびオゾンの少なくとも一方を含む雰囲気中で、上記反応生成物に紫外線を照射して、上記反応生成物を酸化させることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
上記反応生成物酸化工程と上記反応生成物除去工程とは、2回以上繰り返されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
上記反応生成物酸化工程では、上記基板の温度を、100℃以上300℃以下の範囲内に設定していることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項3に記載の半導体装置の製造方法において、
上記反応生成物酸化工程では、上記基板の温度を、150℃以上250℃以下の範囲内に設定していることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
上記反応生成物除去工程では、上記半導体層がエッチングされないエッチング液を用いて、上記酸化させた反応生成物を除去することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
上記半導体層は、上記基板上に順に形成された第1クラッド層、活性層および第2クラッド層を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
上記基板は、GaAsまたはInPからなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
上記半導体層は、GaAs、AlGaAs、InP、GaInP、AlGaInPおよびInGaAsPの内の少なくとも一つを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
上記非平坦部形成工程では、上記ドライエッチング時に塩素系ガスを用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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