JP4707688B2 - 切削塵除去装置 - Google Patents

Description

本発明は、電子回路基板の切断や、樹脂材への彫刻等の加工の際に発生する切削塵の集塵を行う切削塵除去装置に関する。

電子回路基板を製造する際、効率化のため、複数枚を同時に製造して、その後、一枚ずつの電子回路基板に切断する方法が採られている。その一枚ずつに切断する際に、切削工具が用いられるが、その切削の際に、切削塵が発生する。また、樹脂材に工具を用いて彫刻を行う場合にも、樹脂の切削塵が発生する。かかる切削塵を残したまま加工を続けると、基板や樹脂材と工具との摩擦熱で切削塵が溶けて、基板や樹脂材の表面に付着し、除去が困難になったりするし、切削塵の付着が、その後の工程で問題となることもある。

このような、電子回路基板を切断したり樹脂板の彫刻等の加工をする際に発生する切削塵を集塵する場合、切削機構部全体を吸引装置内に収容し、基板下部より真空吸引により切断塵である切粉を除去したり、切断するルータビットなどの近傍に複数の吸引ノズル口を設置して吸引している。しかし、これらは、装置寸法が大きくなったり、切断塵の十分な除去が出来なかったりする。

そのような問題を解消するために、例えば特許文献１には、基板切断部及びルータビットの直近を囲うノズルを設置し、切粉を吸引する集塵装置が開示されている。

また、特許文献２には、吸引口の周囲に形成した空気の吐出口から切粉に空気を吹付けて舞い上がらせ、吸引口から吸引除去する切粉除去装置が開示されている。

特開平１０−３１５０９４号公報 特開昭６２−２４６４５５号公報

しかし特許文献１に記載された集塵装置においては、切断工具の稼働率を上げるためにルータビットの切削位置を移動して使用する際に、ノズルの先端と基板の距離が短いため十分な位置移動が行えない。また、ノズルをルータビットに接近させるため、吸引口が狭くなり、吸引空気量が減って吸引残塵が出たりする。

特許文献２に記載された切粉除去装置においては、吸引口の周囲の吐出口から吐出する空気の風圧は吸引空気の主流より大きく出来ないので、吐出空気の効果を十分にワーク表面切粉に与えることが難しい。また、吐出するエアーの風圧を大にすると、切粉を周囲に飛ばしワークに再付着させることもある。

そこで本発明は、電子回路の基板の切断や、樹脂材への彫刻加工等の際の切削塵の集塵除去効率を高めることのできる切削塵除去装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するため、本発明の第１の構成に係る切削塵除去装置は、切削工具及びその駆動手段を有する切削装置と、前記切削装置を囲うように配置され、前記切削工具の外周に近接する位置に吸引口を有し、端部が吸引機に接続される除去具と、を備え、前記除去具の吸引口に回転自在に設けられ、中心部に前記切削工具が貫通する開口が設けられた円盤状の回転板であって、前記吸引口から吸引される吸引空気流を受けかつ前記吸引空気流を流通あるいは阻止する開口部及び閉口部が前記中心部の開口の周囲に設けられ、外周が前記吸引機側に配置される回転板を設けたことを特徴とする。

本発明の第１の構成においては、除去具の吸引口と、切削工具が切削している被加工物との間の空隙により、上昇する吸引空気の流層が発生し、その上昇流により、切粉が基板へ付着することを抑えることができる。
また切削工具が吸引空気流中にあるため、切削工具に付着した切粉をも剥離する。
吸引口を有する除去具は、切削工具及び切削工具の駆動手段を覆う形態であるため、吸引され上昇する空気流による切削工具の冷却と、駆動手段に沿って下降する空気流により、駆動手段の冷却と、吸引され上昇する切粉の駆動手段への侵入の遮断が同時に可能となる。さらに、除去具の吸引口に回転自在に設けられ、中心部に前記切削工具が貫通する開口が設けられた円盤状の回転板であって、前記吸引口から吸引される吸引空気流を受けかつ前記吸引空気流を流通あるいは阻止する開口部及び閉口部が前記中心部の開口の周囲に設けられ、外周が前記吸引機側に配置される回転板を設けたことにより、回転板が回転するときに開口部および閉口部も回転し、切削部の周囲に、連続した旋回空気流を与えることが可能となる。これにより、切削工具の全周にわたって連続して吸引掃引でき、効率よく切粉を除去できる。

本発明の第２の構成に係る切削塵除去装置は、前記回転板は、前記吸引機による吸引空気流を受けて回転する自発回転機構付き回転板であることを特徴とする。
この第２の構成においては、回転板を、吸引機による吸引空気流を駆動源として自発回転させるものである。

本発明の第３の構成に係る切削塵除去装置は、前記回転板が、外部駆動手段によって回転する外部駆動回転板であることを特徴とする。
この第３の構成においては、回転板を、外部駆動手段によって強制回転させるものである。

本発明の第４の構成に係る切削塵除去装置は、前記除去具の吸引口に設けられ、開口部と閉口部とで構成される固定シャッター部と、前記回転板に設けられ、その回転により前記固定シャッター部の開口部を開閉する開口部を有する回転シャッター部と、からなるシャッター機構を設けたことを特徴とする。
この第４の構成においては、シャッター機構による断続的な衝撃空気流によって、残存付着切粉を更に効率良く吸引除去することが可能となる。

本発明の第５の構成は、第２の構成において、前記自発回転機構付き回転板の自発回転機構は、前記吸引機による吸引空気流を受けて回転する回転翼であることを特徴とする。
この第５の構成においては、回転板に回転翼を設けることにより、回転翼で吸引空気流を受けて回転板が自発回転する。

本発明の第６の構成は、第２または第５の構成において、前記除去具に設けられ、前記吸引口から吸引される吸引空気流が不十分なときに補助するための空気流を導入する補助空気導入機構を設けたことを特徴とする。
この第６の構成においては、自発回転機構付き回転板において、吸引空気流が不十分で初動の回転力が不足する場合があるとき、これを補助空気導入機構によって補い、回転板を確実に回転させる。

本発明の第７の構成は、第３の構成における前記回転板を回転する前記外部駆動手段は、前記除去具に設けられて、前記回転板を磁気力で回転させる磁気装置であることを特徴とする。
この第７の構成においては、外部駆動手段を、回転板を磁気力で回転させる磁気装置とすることにより、回転板に非接触で回転板を回転させることができる。なお、自発回転機構付き回転板の初動を磁気装置で補助することも可能である。

本発明の第８の構成は、前記固定シャッター部の開口部形成位置分割数と、前記回転シャッター部の開口部形成位置分割数が、それぞれの開口数の最小公倍数の整数倍であることを特徴とする。
この第８の構成においては、固定シャッター部の開口部形成位置分割数と、回転シャッター部の開口部形成位置分割数を、それぞれの開口数の最小公倍数とすることにより、間欠的な空気衝撃流が切削工具の周りを順序よく１回転することになる。

本発明の第９の構成は、前記切削装置において前記除去具は、独立して上下移動可能としたことを特徴とする。
この第９の構成においては、切削装置と除去具を、独立して上下移動可能とすることにより、被加工物と除去具先端間に適度の空隙を設け吸引用空気流層を生じせしめると同時に切削工具の上下移動が行える。

本発明によれば、切削工具及びその駆動手段を有する切削装置と、前記切削装置を囲うように配置され、前記切削工具の外周に近接する位置に吸引口を有し、端部が吸引機に接続される除去具と、を備え、前記除去具の吸引口に回転自在に設けられ、中心部に前記切削工具が貫通する開口が設けられた円盤状の回転板であって、前記吸引口から吸引される吸引空気流を受けかつ前記吸引空気流を流通あるいは阻止する開口部及び閉口部が前記中心部の開口の周囲に設けられ、外周が前記吸引機側に配置される回転板を設けたことにより、電子回路基板の切断や、樹脂材への彫刻加工等の際の切削塵の集塵除去効率を高めることができる。

以下、本発明の実施の形態を、図１〜図１２を用いて説明する。
図１は、本発明の実施の形態１に係る切削塵除去装置を備えた除去具および切削装置の概略構成を示す断面図、図２は固定開口板の一部切欠斜視図、図３〜図５は回転シャッター板の各例を示す平面図、図６〜図８は回転シャッターの回転動作を示す説明図である。
また、図９および図１０は、それぞれ回転シャッター板の実施の形態２および実施の形態３を示す除去具先端部の概略断面図である。図１１は本発明の実施の形態４である回転板の補助空気導入機構を示す断面図、図１２は本発明の実施の形態５である回転板の磁気装置を示す断面図である。

＜実施の形態１＞
本発明の実施の形態１を、図１から図８に基づいて説明する。ここでは、加工対象として、電子回路基板の場合について説明する。
図１に示すように、切削装置は、電子回路基板８を切削する切削工具としてのルータビット５と、ルータビット５を固定するビットチャック６と、ビットチャック６を回転させる駆動手段としてのスピンドルモータ７を備えている。この切削装置を囲むように、除去具１が配置され、除去具１と切削装置は、独立に上下動する機構（図示せず）に固定されている。なお、切削装置は、除去具１の上下動の機構上にあってさらに単独で上下動する機構に固定されていてもよい。

除去具１および切削装置は、Ｘ、Ｙ方向に移動する機構に設置される。または切削対象の電子回路基板８を、除去具１および切削装置とは違うＸまたはＹいずれかの方向に独立に動く機構に設置するようにしてもよい。

除去具１の先端の吸引部には、スピンドルモータ７側からルータビット５を囲むように除去具１に固定形成された図２の固定開口板２が円錐筒状あるいは円筒状に突出しており、外周に吸引口としての開口部ａを（本例では３つ）有している。これが、固定シャッター部となる。

その固定開口板２を図１の斜線部３である図３，図４，図５に示す回転シャッター板３，３'，３''のいずれかが囲むように設置される。回転シャッター板３，３'，３''の内周部には、固定開口板２の円錐筒状あるいは円筒状部とはわずかな空隙をもって、開口部ｄと閉口部ｂからなる回転シャッター部が設けられており、また、回転シャッター板３，３'，３''は外周部の隙間嵌め部ｅで、除去具１に対して回転自在に嵌合されている。なお、回転シャッター板３，３'，３''の隙間嵌め部ｅを含めた先端部を、除去具１本体から取り外し可能にする手段として図１の先端部脱着用ねじ部１５に示すように、先端部にねじ込む構成としてもよい。

図１の右部は、固定開口板２の開口部ａと回転シャッター板３の開口部ｄが重なった状態を示し、左部は固定開口板２の別の開口部ａを回転シャッター板３の閉口部ｂが遮蔽している状態を示している。
除去具１の上部はドーナツ状の空洞部となっており、吸引機接続口４に、外部吸引機（図示せず）が接続される。

固定開口板２及び回転シャッター板３，３'，３''の動作について説明する。
回転シャッター板３，３'，３''の外周部には、吸引された空気流を受けて回転シャッター板３，３'，３''を回転させる回転翼ｃが（本例では６０°ごとに６つ）設けられている。

固定開口板２は、除去具１本体と一体に構成され固定である。空気流は、固定開口板２の開口部ａを通過し、さらに回転シャッター板３，３'，３''の開口部ｄを経由し吸引され、回転シャッター板３，３'，３''の回転翼ｃに当り回転シャッター板３，３'，３''全体を回転させる。
次に、本実施の形態の動作について説明する。

（起動準備動作）
それぞれの機構を初期の位置に移動させる。
除去具１およびスピンドルモータ７を、電子回路基板８の切断位置上に、Ｘ，Ｙ方向移動機構（図示せず）により移動させる。
除去具１、スピンドルモータ７を前記Ｘ，Ｙ方向移動機構によって、まず除去具１の先端部（吸引口）と電子回路基板８との間に適度の空隙が出来る位置に降下させ外部吸引機を作動する。
次にビットチャック６に締め付け固定したルータビット５を、スピンドルモータ７で回転させる。

（切削動作）
ルータビット５を降下し、電子回路基板８を切削する。固定開口板２の開口部ａと回転シャッター板の開口部ｄが重なった状態のとき、除去具１と電子回路基板８との間の空隙の空気が、空気流の矢印９，１０のように吸引され、発生した切削切粉が、除去具１に吸引され外部吸引機に集塵される。
またスピンドルモータ７の周辺の空気が空気流の矢印１３，１４の方向に吸引されるので、切削切粉がスピンドルモータ７側へ舞上がることなく吸引され、加えてスピンドルモータ７を冷却する。

（基本動作）
本実施の形態１の基本動作を固定開口板２と回転シャッター板３の組合せになる基本構成において、図１および図６を参照して説明する。
図６（ａ）において、吸引された空気流は、固定開口板２の開口部ａ１とそれに重なった回転シャッター板３の開口部ｄ１を通りその隣接する回転翼ｃに当る。これにより回転シャッター板３は反時計回りに回転し、回転シャッター板３の開口部ｄ１と固定開口板２の開口部ａ１の重なりが変化する。それぞれの開口部ａ１，ｄ１が重なる位置にある場合、その開口部が位置する周辺の電子回路基板８上の空気流９，１０の量は、最大となる。

さらに回転に伴い固定開口板２の開口部ａ１は、回転シャッター板の閉口部ｂにより徐々に閉じられ空気流９，１０の流量は減少する。一方、閉口部ｂにより遮蔽されていた時計回りに１２０°の位置の開口部ａ３は、開口部ｄ２との間で徐々に開放が始まり、図６（ｂ）に示すように、この開口部周辺の空気流量は徐々に増加して行く。このとき反時計回り１２０°位置の開口部ａ２は継続して遮断されている。さらに回転シャッター板３が回転すると時計回り１２０°の位置の開口部ａ３は遮蔽に向かい、図６（ｃ）に示すように、代わって反時計回り１２０°の位置の開口部ａ２が徐々に開放に向かう。このように回転シャッター板３が回転するに従い、電子回路基板８上の吸引空気流の方向が変化し、強弱を伴いながら半回転する。開口部ｄ２とｄ１の位置が１８０°入れ替わると、図６（ａ）〜（ｃ）を繰り返して、さらに半回転し、同様にして回転が継続する。

本例の場合、開口部ａ１，ａ２，ａ３は、ルータビット５による切削部を中心に１２０°毎の３方向に位置する。これによってルータビット５の切削部の切粉に順次３方向からの空気衝撃流を与え、ルータビット５と電子回路基板８より剥離することができる。切粉は、固定開口板２の開口部ａ１，ａ２，ａ３及び回転シャッター板３の開口部ｄ１，ｄ２を通って外部吸引機に吸引される。

（回転シャッター板の１方向開放）
他の実施例である、固定開口板２と回転シャッター板３'の組合せの場合について、図１と図７を用いて説明する。

回転シャッター板３'は回転翼ｃと吸引空気流の作用により自発回転するので、回転シャッター板３'が回転して図７（ａ）に示すようにそれぞれの開口部が重なると１方向から吸込まれる空気流が回転翼ｃに当り高速に回転シャッター板３'を回転させる。回転するにつれ、図７（ｂ）に示すように、固定開口板２の開口部ａ１は徐々に閉口部ｂにより閉じられていき、さらに回転シャッター板３'の回転による慣性力により、図７（ｃ）に示すように、開口部ｄが固定開口板２の閉口部ｂに重なり空気流の一時的遮蔽の後、固定開口板２の反時計回り１２０°の隣接開口部ａ２に達し次の空気吸引が起きる。外部吸引機の吸引力が変わらなければ、吸引口が１箇所であるため吸引流速度を高められる。回転シャッター板３'の回転により一周する間欠的吸引空気衝撃流が切削工具を含め切削部を横断するので、効率の良い切粉の除去が可能となる。

（回転シャッター板の３方向開放）
他の実施例である、固定開口板２と回転シャッター板３''の組合せの場合について、図１と図８を用いて説明する。
前記例と同じく回転シャッター板３''が自発回転し図８（ａ）に示すように、それぞれの開口部が重なると３方向から吸込まれる大量の空気流が回転翼ｃに当り高速に回転シャッター板３''を回転させる。回転シャッター板３''の回転による慣性力により、図８（ｂ），（ｃ）に示すように、６０°の位置で開口部ｄ１，ｄ２，ｄ３が固定開口板２の閉口部に重なり空気流の一時的遮蔽の後、１２０°の回転位置で固定開口板２の隣接開口部に達し次の大量空気吸引が起きる。
このように同時の３方向からの吸引はルータビット５周辺の急激な負圧いわゆる衝撃流を発生させるため切粉の効率良い除去が可能となる。

（固定開口板の全面を開口）
他の実施例（図示せず）では、固定開口板２の全面を実質的に開口し、回転シャッター板３、３''を使用すれば、ルータビット５の切削部に連続した旋回流を与えることが可能となる。これにより、ルータビット５の切削部の全周にわたって連続して吸引掃引でき効率良く切粉を除去出来る。このとき回転シャッター板３の開口部を１箇所にした回転シャッター板３'を使用してもよく、外部吸引機の吸引力が変わらなければ、電子回路基板８上の吸引流速度を高められる。しかも吸引口が１箇所であるため切削工具を横断する空気流による効率の良い切粉の除去が可能となる。
なお、吸引される空気流が別途設置された除電装置（図示せず）でイオン化されていれば、基板や切断具が除電されるため、切粉の付着を抑制できる。

（配置方法）
次に、固定開口板２と回転シャッター板３，３'，３''の開口部の配置方法について述べる。
固定開口板２の開口数をｍとし、回転シャッター板３の開口数をｎとする場合、ｍ、ｎの最小公倍数はｍとｎの積である。よって全周をｍ×ｎ分割する。今、ｍを３とし、ｎを２とする。
表１のように、時計回りに分割区域を０，１，２，・・・，６とし、開口部を○印とすれば、固定板の開口場所は、原点の０番、２番、４番と６番である。ここで６分割であるから６番は一周した原点０番と同一である。一方回転シャッター板は、開口数ｎが２であるので原点の０番、３番および６番である。６番は、同様に０番原点となる。

今、回転シャッター板が反時計周りに回るとすると、ｎ−０はｍ−５へ、ｎ−３はｍ−２に移動する。これによってｎ−３の開口部が固定シャッターのｍ−２に重なり空気流が通過する。よって吸引点が時計周りに１２０°回った場所に移る。
さらに回転するとｎ−０は、ｍ−５からｍ−４に移動し２４０°の次の吸引点となる。次にｎ−３がｍ−０（ｍ−６）に重なり吸引点が一周することになる。この場合は、一個の吸引点が全周回転することになる。この間欠的な吸引は、付着した切粉に衝撃流を与えることになり剥離を促進させる。吸引点を対向した２箇所にする場合は、６の倍数の１２分割とすれば良い。

＜実施の形態２＞
次に回転シャッター板の実施の形態２を、図９を用いて説明する。図９においては、回転シャッター板３の隙間嵌め部１６を除去具１先端部である回転シャッター板３の内周部に設け、さらに回転シャッター板３の中周部に穴（図示せず）を穿つなどを施す場合を示している。これによって回転シャッター板３の軽量化が図れ、慣性力が高められるので回転効率をあげることができる。この実施の形態２において、回転シャッター板３の動作は実施の形態１と同様である。なお図中１５は、除去具先端部の清掃および回転シャッター板の交換などのための先端部脱着用ねじ部である。

＜実施の形態３＞
次に回転シャッター板の実施の形態３を、図１０を用いて説明する。図１０においては、回転シャッター板３の回転支持を固定開口板２の円錐筒状あるいは円筒状部とはわずかな空隙をもつ隙間嵌め部１６によっておこなう構成にすることにより除去具１先端部形状の小型化および簡素化を図ることができる。この実施の形態３において、回転シャッター板３の動作は実施の形態１と同様である。なお図中１５は、除去具先端部の清掃および回転シャッター板の交換などのための先端部脱着用ねじ部である。

＜実施の形態４＞
次に、本発明の実施の形態４である回転板の補助空気導入機構を図１１を用いて説明する。図１１においては、除去具１の固定開口板２に対して回転自在に設けられている回転シャッター板３の羽根ｃの近傍に、開閉駆動通気口１７と開閉弁１８を設ける。固定開口板２と回転シャッター板３の開口部と閉口部の組合せにより空気流が起動時に遮断される場合があるが、そのときに除去具１内部が減圧することを利用して、開閉弁１８を開けて開閉駆動通気口１７から空気を導入し、その空気流を回転翼ｃに当てることにより、回転シャッター板３を回転させるようにしたものである。なお図中１５は除去具先端部の清掃および回転シャッター板の交換などのための先端部脱着用ねじ部、１６は固定開口板２の円錐筒状あるいは円筒状部とはわずかな空隙をもつ隙間嵌め部である。

＜実施の形態５＞
次に、本発明の実施の形態５である回転板の磁気装置を図１２を用いて説明する。図１２においては、除去具１の固定開口板２に対して回転自在に設けられている回転シャッター板３に磁性体（永久磁石を含む）２０を設け、除去具１の外部に磁気力発生コイル１９を設ける。この磁気力発生コイル１９と磁性体２０との磁気力の作用で回転シャッター板３を永続的に回転駆動し、ルータビットの周囲に、連続した旋回流を与えることが可能となる。また、シャッター機構を設けている場合には、開口部と閉口部との位置関係の変化による断続的な衝撃空気流によって、残存付着切粉を更に効率良く吸引除去することが可能となる。なお、本実施の形態５の磁気装置は、実施の形態４の補助空気導入機構の代わりに、自発回転機構付き回転シャッター板３の初動時の強制回転時のみ用いて、回転シャッター板３が回転し始めた後は、回転翼ｃにより自発回転させるようにすることもできる。

本発明は、電子回路の基板の切断や、樹脂材への彫刻加工等の際の切削塵の集塵除去効率を高めることのできる切削塵除去装置として、有用に利用することができる。

本発明の実施の形態に係る切削塵除去装置を備えた切削装置の概略構成を示す断面図である。 本実施の形態における固定開口板の一部切欠斜視図である。 本実施の形態における回転シャッター板の各例を示す平面図である。 本実施の形態における回転シャッター板の各例を示す平面図である。 本実施の形態における回転シャッター板の各例を示す平面図である。 本実施の形態における回転シャッターの回転動作を示す説明図である。 本実施の形態における回転シャッターの回転動作を示す説明図である。 本実施の形態における回転シャッターの回転動作を示す説明図である。 回転シャッター板の実施の形態２を示す除去具先端部の概略断面図である。 回転シャッター板の実施の形態３を示す除去具先端部の概略断面図である。 本発明の実施の形態４である回転板の補助空気導入機構を示す断面図である。 本発明の実施の形態５である回転板の磁気装置を示す断面図である。

符号の説明

１ 除去具
２ 固定開口板
３ 回転シャッター板（回転板）
４ 吸引機接続口
５ ルータビット
６ ビットチャック
７ スピンドルモータ
８ 電子回路基板
９, １０，１１，１２，１３，１４ 空気流
１５ 先端部脱着用ねじ部
１６ 隙間嵌め部
１７ 開閉駆動通気口
１８ 開閉弁
１９ 磁気力発生コイル
２０ 磁性体
ａ，ａ１，ａ２，ａ３ 開口部
ｂ 閉口部
ｃ 回転翼
ｄ，ｄ１，ｄ２，ｄ３ 開口部
ｅ 隙間嵌め部

Claims (9)

1. 切削工具及びその駆動手段を有する切削装置と、
   前記切削装置を囲うように配置され、前記切削工具の外周に近接する位置に吸引口を有し、端部が吸引機に接続される除去具と、
   を備え、
   前記除去具の吸引口に回転自在に設けられ、中心部に前記切削工具が貫通する開口が設けられた円盤状の回転板であって、前記吸引口から吸引される吸引空気流を受けかつ前記吸引空気流を流通あるいは阻止する開口部及び閉口部が前記中心部の開口の周囲に設けられ、外周が前記吸引機側に配置される回転板を設けたことを特徴とする切削塵除去装置。
2. 前記回転板は、前記吸引機による吸引空気流を受けて回転する自発回転機構付き回転板であることを特徴とする請求項１記載の切削塵除去装置。
3. 前記回転板は、外部駆動手段によって回転する外部駆動回転板であることを特徴とする請求項１記載の切削塵除去装置。
4. 前記除去具の吸引口に設けられ、開口部と閉口部とで構成される固定シャッター部と、前記回転板に設けられ、その回転により前記固定シャッター部の開口部を開閉する開口部を有する回転シャッター部と、からなるシャッター機構を設けたことを特徴とする請求項１記載の切削塵除去装置。
5. 前記自発回転機構付き回転板の自発回転機構は、前記吸引機による吸引空気流を受けて回転する回転翼であることを特徴とする請求項２記載の切削塵除去装置。
6. 前記除去具に設けられ、前記回転板の前記自発回転機構による回転を空気流の導入によって補助する補助空気導入機構を設けたことを特徴とする請求項２または５記載の切削塵除去装置。
7. 前記回転板を回転する前記外部駆動手段は、前記除去具に設けられて、前記回転板を磁気力で回転させる磁気装置であることを特徴とする請求項３記載の切削塵除去装置。
8. 前記固定シャッター部の開口部形成位置分割数と、前記回転シャッター部の開口部形成位置分割数が、それぞれの開口数の最小公倍数の整数倍であることを特徴とする請求項４から７のいずれかの項に記載の切削塵除去装置。
9. 前記切削装置において前記除去具は、独立して上下移動可能としたことを特徴とする請求項１から８のいずれかの項に記載の切削塵除去装置。

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