JP4706328B2 - 表示素子用カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
最近では、液晶表示装置用カラーフィルタには、パネルのギャップを均一に保つために樹脂によるスペーサーを形成する場合がある。また、垂直配向液晶の場合は、着色画素上などに液晶配向を制御する樹脂パターンを形成するMVA(Multi−domain Vertical Alignment)や、ASV(Advansed Super View)といった液晶表示装置に用いるカラーフィルタもある。
通常、ブラックマトリックス上に着色画素を形成する場合、ブラックマトリックスと着色画素との重なり部分が生じる。これは、ブラックマトリックスと着色画素との間に隙間が空くと、光漏れを生じてしまうためブラックマトリックス上に着色画素端を重ねているからである。
置に用いる場合、液晶の配向を損ねることがあり好ましくない。
最近では、ブラックマトリックスと着色画素との重なり部分を少なくして段差を0.6μm以下にする手法や、樹脂製のブラックマトリックスに用いる材料の改善を行い膜厚を薄くして段差を低くする試みがなされている。
露光の際に、着色感光性樹脂の塗布膜上部での光の減衰による硬化不足を補うために、塗布膜上面にガラス基板の裏面側からの紫外光を反射させる反射板を設けている。しかし、この技法は、減衰分の補足が十分に行われず、硬化が十分でないことに難点がある。
この技法は、段差を低減させる効果が不十分であることに難点がある。
この技法は、オーバーコート層を設ける工程が追加されてしまうことに難点がある。
カラーフィルタ基板の研磨については、下記の特許文献1〜4にみられるように、種々な技法が開示されている。
図3、及び図4に示すように、この研磨装置の回転部分は、円盤状の下定盤(1)、下定盤と一体的に固定され下定盤を回転させる回転軸(2)、円盤状の上定盤(3)、上定盤と一体的に固定され上定盤を回転させる回転軸(4)で構成されたものである。
研磨は、研磨剤(図示せず)をカラーフィルタ基板(6)の上方より滴下しながら行われる。尚符号(5)は研磨布、(7)はテンプレート、(A)は下定盤の回転、(B)は上定盤の回転を表している。
また、カラーフィルタ基板において、段差の低減として樹脂製のブラックマトリックスと着色画素との重なり部分をさらに調整して要求に沿うように試みがなされているが作業条件の許容幅が狭くなり生産性が低下する状態である。
従来、研磨の際、研磨剤の供給は、研磨開始時からの研磨剤の滴下による供給を行っている。このような研磨剤の供給方法では研磨布の全体へ短時間で研磨剤を十分に行き渡せることはできない。
本発明による表示素子用カラーフィルタの製造方法では、予め研磨布、或いはカラーフィルタ基板の全体へ研磨剤を供給しているため、研磨開始時から研磨布の全体へ研磨剤が十分に行き渡っている。従って、段差を研磨の手法により、短時間の処理で均一に研磨できることができる。
先ず、下定盤(51)上に、研磨布(52)或いはカラーフィルタ基板(65)を取り付け、次に、研磨剤塗布用のノズル(54)から直接に、研磨布(55)或いはカラーフィルタ基板(65)上に研磨剤を塗布する。ノズル(54)は、図5に矢印で示すように、下定盤(51)の上方を移動しながら、研磨剤の貯蔵槽からチューブ(図示せず)を経て供給される研磨剤を塗布する。次に、上定盤(53)が下降して研磨を行うといった研磨
方法である。
尚、変化率の増加は、下記の数式(1)で表されるものである。
2、4・・・回転軸
3、53・・・上定盤
5、55・・・研磨布
6、65・・・カラーフィルタ基板
7・・・テンプレート
11・・・ガラス基板
12・・・ブラックマトリックス
12’・・・樹脂製のブラックマトリックス
13・・・着色画素
14・・・透明導電膜
54・・・ノズル
H・・・段差
Claims (1)
- ガラス基板上に、少なくともブラックマトリックス、三原色の着色画素が形成された表示素子用カラーフィルタ基板の表面を研磨する表示素子用カラーフィルタの製造方法において、
研磨剤を研磨布の表面に予め塗布したあとに、研磨を開始し、
研磨剤塗布用ノズルとしてスリットノズルを用い、研磨布に付着した研磨滓を研磨剤で洗浄しながら研磨剤を塗布することを特徴とする表示素子用カラーフィルタの製造方法。
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