JP2003117817A - ガラス研磨装置用洗浄具及びガラス研磨装置の洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業者が、安全に、かつ、簡単に、ガラス研
磨装置の洗浄を行うことができるガラス研磨装置用洗浄
具及びガラス研磨装置の洗浄方法を提供する。 【解決手段】 上下動自在で、定盤２１に固定されてい
るガラス板５０に下降位置で接触し、回転して、そのガ
ラス板５０を研磨する研磨手段２２，２３を有するガラ
ス研磨装置２０に使用するガラス研磨装置用洗浄具であ
って、研磨手段２２，２３が上昇位置にあるときに、定
盤２１に着脱自在な着脱手段１１と、着脱手段１１に設
けられ、研磨手段２２，２３に当接し、その研磨手段２
２，２３が回転させられたときに、その回転に抗して擦
って洗浄を行う洗浄手段１２とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）のカラーフィ
ルター、フォトマスク等に使用するガラスを製造するガ
ラス研磨装置のメンテナンスを行うガラス研磨装置用洗
浄具及びガラス研磨装置の洗浄方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図４，図５は、ガラス研磨方法及び従来
の洗浄方法を示す図である。液晶ディスプレイやＰＤＰ
（プラズマディスプレイパネル）のカラーフィルター、
フォトマスク等に使用するガラス板は、高い精度の平面
度が要求される。そのような精度をだすために、例え
ば、図４（Ａ）に示すようなガラス研磨装置２０でガラ
ス板５０を研磨している。ガラス研磨装置２０は、表面
が平滑な鋳鉄製の定盤２１と、回転してガラス板５０を
研磨する回転盤２２とを備える。ガラス研磨装置２０
は、ガラス板５０を定盤２１に固定して、研磨粉２４を
散布し、上面から回転盤２２を押し当てて研磨する。

【０００３】定盤２１の上面には、テンプレート２１ａ
が載置されており、このテンプレート２１ａで、ガラス
板５０を定盤２１に固定する。テンプレート２１ａは、
スウェード等のバッキング材にベークライトの枠が固定
されたものである。このスウェードに水分を含ませて、
ガラス板５０を載置すると、ガラス板５０が、スウェー
ドに吸着されるので、ガラス板５０を傷つけることなく
固定することができる。回転盤２２は、研磨対象物（ガ
ラス板）の大きさに応じて取替可能である。そのため、
回転盤２２は、上方の位置で保持可能になっている。回
転盤２２の表面には、研磨パッド２３が貼付されてい
る。この研磨パッド２３には、荒削り用の発泡ウレタ
ン、仕上げ用のスウェード等があり、用途に応じて使い
分けている。また、研磨粉２４は、例えば、酸化セリウ
ム、酸化アルミニウム（アルミナ）などであり、水など
に溶解して使用する。その粒径も荒削り、仕上げ等の研
磨用途によって、さまざまである。

【０００４】しかし、上述のようなガラス研磨装置２０
においては、同一の研磨パッド２３を長時間使用してい
ると、その研磨パッド２３の表面に、研磨粉や異物（例
えば、研磨対象物の削屑など）が堆積することがある。
また、回転盤２２は、研磨対象物に応じて取り替える
が、取り外して長期間に渡って使用していないと、研磨
パッド２３の表面に、研磨粉・異物が固着してしまうこ
とがある。このような状態では、研磨パッド２３の研磨
性能が低下するので、除去しなければならない。そのた
め、従来は、図４（Ｂ）に示すように、研磨パッド２３
を取り付けたまま、回転盤２２を、上方の取替位置に保
持して、洗浄液３１を散布し、回転盤２２を回しなが
ら、ブラシ３０で擦って洗浄したり、図５に示すよう
に、回転軸２２ａから回転盤２２を取り外して（図５
（Ａ））、洗浄液３１を散布しながら研磨パッド２３を
ブラシ３０で擦っていた（図５（Ｂ））。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図４（Ｂ）の
ように、回転盤２２を回しながらブラシで擦っても、研
磨パッド２３の全面を均一に洗浄することは困難であ
り、洗浄ムラを生じやすい。また、回転する回転盤２２
の近傍に近づいて行う作業は、危険を伴う。さらに、下
面からブラシを押し当てても、力が入らず、長時間擦ら
なければいけない。一方、図５のように、回転盤２２を
取り外しての作業は、回転盤２２が重いため、非常に骨
の折れる作業である。また、脱着の作業時間もかかる。
このため、洗浄作業に数時間かかってしまうことも多
く、ガラス研磨装置の運転時間が損なわれる。

【０００６】本発明の課題は、作業者が、安全に、か
つ、簡単に、ガラス研磨装置の洗浄を行うことができる
ガラス研磨装置用洗浄具及びガラス研磨装置の洗浄方法
を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、以下のような
解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容
易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付
して説明するが、これに限定されるものではない。前記
課題を解決するために、請求項１の発明は、上下動自在
で、定盤（２１）に固定されているガラス板（５０）に
下降位置で接触し、回転して、そのガラス板（５０）を
研磨する研磨手段（２２，２３）を有するガラス研磨装
置（２０）に使用するガラス研磨装置用洗浄具であっ
て、前記研磨手段（２２，２３）が上昇位置にあるとき
に、前記定盤（２１）に着脱自在な着脱手段（１１）
と、前記着脱手段（１１）に設けられ、前記研磨手段
（２２，２３）に当接し、その研磨手段（２２，２３）
が回転させられたときに、その回転に抗して擦って洗浄
を行う洗浄手段（１２）とを備えることを特徴とするガ
ラス研磨装置用洗浄具である。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１に記載のガラ
ス研磨装置用洗浄具において、前記洗浄手段（１２）
は、前記着脱手段へ固定する高さ方向の位置を調整可能
な位置調整部（１２ａ）を備えることを特徴とするガラ
ス研磨装置用洗浄具である。

【０００９】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載のガラス研磨装置用洗浄具において、前記洗浄手
段（１２）は、その全長が、少なくとも、前記研磨手段
（２２，２３）の半径よりも長く、その研磨手段（２
２，２３）の回転軸（２２ａ）の延長線を通過する直線
上に配置されていることを特徴とするガラス研磨装置用
洗浄具である。

【００１０】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載のガラス研磨装置用洗浄具を
使用してガラス研磨装置を洗浄するガラス研磨装置の洗
浄方法であって、前記研磨手段（２２，２３）を上昇位
置に上昇させる研磨手段上昇工程（＃１０２）と、前記
着脱手段（１１）を前記定盤（２１）に取り付ける着脱
手段取付工程（＃１０３）と、前記洗浄手段（１２）を
移動させて、前記研磨手段（２２，２３）に当接させる
洗浄手段位置合わせ工程（＃１０４）と、前記研磨手段
（２２，２３）を回転させて、その研磨手段（２２，２
３）を前記洗浄手段（１２）に擦らせて洗浄する洗浄工
程（＃１０５）とを備えることを特徴とするガラス研磨
装置の洗浄方法である。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
の実施の形態について、さらに詳しく説明する。図１
は、本発明によるガラス研磨装置用洗浄具の一実施形態
を示す図であり、図１（Ａ）は平面図、図１（Ｂ）は正
面図、図１（Ｃ）は側面図である。なお、前述した従来
例と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を付し
て、重複する説明を適宜省略する。ガラス研磨装置用洗
浄具１０は、ガラス研磨装置２０の研磨パッド２３を洗
浄する洗浄具であり、脚部１１と、ブラシ１２とを備え
る。ガラス研磨装置用洗浄具１０は、後述の通り、ボル
ト１１ａで定盤２１に脱着自在であり、洗浄作業時にの
み取り付けられ、通常の研磨作業時には取り外される。
ガラス研磨装置用洗浄具１０は、定盤２１のテンプレー
ト２１ａの有無にかかわらず装着することができる。

【００１２】脚部１１は、研磨パッド２３を洗浄すると
きに、定盤２１にボルト１１ａで取り付ける取付部であ
る。脚部１１は、通常の研磨作業時には取り外される。
ボルト１１ａは、定盤２１のネジ穴２１ｂに螺合され
る。このネジ穴２１ｂは、定盤２１をメンテナンス等す
るときに取り外す際に、ジグを固定するために設けられ
ているものである。また、脚部１１には、図１（Ｃ）に
示すように、長穴１１ｂが形成されている。

【００１３】ブラシ１２は、研磨パッド２３に当接し、
その研磨パッド２３に付着している研磨粉・異物等を除
去する。ブラシ１２には、ＰＰ（ポリプロピレン）、ナ
イロン、塩化ビニルなどが植毛されており、この毛によ
って研磨パッド２３を擦る。ブラシ１２は、位置調整台
１２ａの上面に配置されている。この位置調整台１２ａ
は、正面から見ると「コ」の字の形状をした部材である
（図１（Ｂ））。位置調整台１２ａは、両側部分に２本
ずつ、合計４本のボルト１２ｂで脚部１１に固定され
る。ボルト１２ｂは、長穴１１ｂに沿って上下方向に移
動可能である。作業者は、ボルト１２ｂをゆるめて、ブ
ラシ１２が研磨パッド２３に当接するように、位置調整
台１２ａの高さを変更し、その後、再度、ボルト１２ｂ
を締め付けて、位置の調整を行う。ブラシ１２は、少な
くとも、回転盤２２の半径よりも長く、かつ、その回転
盤２２の回転軸の延長線を通過する位置に直線状に並べ
られている。このため、回転盤２２が一回転すると、回
転盤２２の全面を擦ることができる。また、洗浄は、洗
浄液３１を噴射しながら行う。この洗浄液３１には、水
道水、純水、電界イオン水などがあり、用途によって使
い分ける。

【００１４】図２，図３は、ガラス研磨装置用洗浄具を
使用する洗浄方法を説明する図である。研磨パッド２３
を、定盤２１に保持されているガラス板５０に押し付け
て、研磨し（図２（Ａ）；研磨工程＃１０１）、研磨パ
ッド２３の洗浄時期になったら、回転盤２２を上昇させ
る（図２（Ｂ）；回転盤上昇工程＃１０２）。そして、
ガラス研磨装置用洗浄具１０を定盤２１に取り付け（図
２（Ｃ）；洗浄具取付工程＃１０３）、ブラシ１２が、
研磨パッド２３に接触するまで、位置調整台１２ａを上
げて、ボルト１２ｂで固定する（図３（Ａ）；研磨パッ
ド高さ調整工程＃１０４）。この状態で、洗浄液３１を
かけながら、回転盤２２を回転させて洗浄を行う（図３
（Ｂ）；洗浄工程＃１０５）。これによって、研磨パッ
ド２３がブラシ１２で擦られて、付着している研磨粉・
異物等を除去することができる。洗浄後は、ガラス研磨
装置用洗浄具１０を定盤２１から取り外して、研磨作業
を再開する。

【００１５】本実施形態によれば、以下の効果がある。 （１）ガラス研磨装置用洗浄具１０は、着脱自在であっ
て、洗浄時にのみ、取り付けることができるので、広い
設置スペースを必要としない。また、非常に、簡単な構
造で、動力等も不要であり、ジグ固定用のネジ穴２１ｂ
を利用して取り付けるものである。したがって、非常に
安価なコストで実現可能である。

【００１６】（２）ガラス研磨装置用洗浄具１０を取り
付けて、回転盤２２を回しながら研磨パッド２３を洗浄
するので、作業者が、回転する回転盤２２の近傍で作業
する必要がなくなり、作業の安全性向上が図れる。

【００１７】（３）少なくとも、回転盤２２の半径より
も長く、かつ、その回転盤２２の回転軸の延長線を通過
する位置に、直線状に、ブラシ１２が配置されているの
で、研磨パッド２３の全面を、もれなく洗浄することが
できる。

【００１８】（４）洗浄作業を繰り返し行って、ブラシ
の植毛の長さが短くなっても、位置調整台１２ａの高さ
を調整することで、そのブラシを使用し続けることがで
きる。したがって、ブラシ１２の交換間隔を延ばすこと
ができ、交換作業時間、交換コスト等の削減を図ること
ができる。

【００１９】（５）重量のある回転盤２２を取り外すこ
となく、洗浄することができるので、作業者の負担を軽
減でき、また、洗浄時間の短縮を図ることができる。

【００２０】（６）ガラス研磨装置用洗浄具１０は、テ
ンプレート２１ａを外すことなく、使用することができ
るので、作業が容易である。

【００２１】（変形形態）以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。例えば、上記実施
形態では、ブラシ１２は、図１（Ａ）に示すように、小
形のものが、複数個、並べられているが、１個の大形の
ブラシが設けられていてもよい。

【００２２】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項１の
発明によれば、定盤に着脱自在な着脱手段を備えるの
で、広い設置スペースを必要としない。また、研磨手段
の回転に抗して擦って洗浄を行う洗浄手段を備えるの
で、洗浄のための特別な動力を必要とせず、簡単に、洗
浄可能であり、コストも安価である。

【００２３】請求項２の発明によれば、着脱手段へ固定
する高さ方向の位置を調整可能な位置調整部を備えるの
で、洗浄手段の寿命を延ばすことができる。

【００２４】請求項３の発明によれば、洗浄手段の全長
が、少なくとも、研磨手段の半径よりも長く、その研磨
手段の回転軸の延長線を通過する直線上に配置されてい
るので、研磨手段の全面を、もれなく洗浄可能である。

【００２５】請求項４の発明によれば、着脱手段を前記
定盤に取り付けて、研磨手段を回転させて、その研磨手
段を洗浄手段に擦らせて洗浄するので、安全に、また、
コストをかけることなく、研磨手段を洗浄することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるガラス研磨装置用洗浄具の一実施
形態を示す図である。

【図２】ガラス研磨装置用洗浄具を使用する洗浄方法を
説明する図である。

【図３】ガラス研磨装置用洗浄具を使用する洗浄方法を
説明する図である。

【図４】ガラス研磨方法及び従来の洗浄方法を示す図で
ある。

【図５】従来の洗浄方法を示す図である。

【符号の説明】

１０ ガラス研磨装置用洗浄具 １１ 脚部 １２ ブラシ １２ａ 位置調整台 ２０ ガラス研磨装置 ２１ 定盤 ２２ 回転盤 ２３ 研磨パッド ５０ ガラス板（研磨対象物）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B116 AA02 AB34 AB53 BA02 BB21 3B201 AA03 AB34 AB53 BA02 BB21 BB92 BB93 3C047 AA34 3C058 AA06 CA06 CB03

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下動自在で、定盤に固定されているガ
   ラス板に下降位置で接触し、回転して、そのガラス板を
   研磨する研磨手段を有するガラス研磨装置に使用するガ
   ラス研磨装置用洗浄具であって、 前記研磨手段が上昇位置にあるときに、前記定盤に着脱
   自在な着脱手段と、 前記着脱手段に設けられ、前記研磨手段に当接し、その
   研磨手段が回転させられたときに、その回転に抗して擦
   って洗浄を行う洗浄手段とを備えることを特徴とするガ
   ラス研磨装置用洗浄具。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のガラス研磨装置用洗浄
   具において、 前記洗浄手段は、前記着脱手段へ固定する高さ方向の位
   置を調整可能な位置調整部を備えることを特徴とするガ
   ラス研磨装置用洗浄具。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のガラス研
   磨装置用洗浄具において、 前記洗浄手段は、その全長が、少なくとも、前記研磨手
   段の半径よりも長く、その研磨手段の回転軸の延長線を
   通過する直線上に配置されていることを特徴とするガラ
   ス研磨装置用洗浄具。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれか１
   項に記載のガラス研磨装置用洗浄具を使用してガラス研
   磨装置を洗浄するガラス研磨装置の洗浄方法であって、 前記研磨手段を上昇位置に上昇させる研磨手段上昇工程
   と、 前記着脱手段を前記定盤に取り付ける着脱手段取付工程
   と、 前記洗浄手段を移動させて、前記研磨手段に当接させる
   洗浄手段位置合わせ工程と、 前記研磨手段を回転させて、その研磨手段を前記洗浄手
   段に擦らせて洗浄する洗浄工程とを備えることを特徴と
   するガラス研磨装置の洗浄方法。