JP4704364B2 - エッチング方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、エッチングガスとして、Ar、CHF3、SF6を使用した場合、上記波長では検出不可能であった。
本発明はエッチング方法であって、前記第一〜第四の光の強度の加算は、前記第一〜第四の光の強度を、それぞれゼロよりも大きい第一〜第四の係数倍して加算するエッチング方法である。
本発明は、予め設定された時間間隔毎に前記エッチングが終了したか否かを判断するエッチング方法であって、前記経時変化率は、前回の合計強度の値と、今回の合計強度の値から算出するエッチング方法である。
合計強度を求める際、第一〜第四の光の強度の測定結果I1〜I4に、係数を乗算した後、加算することで、経時変化率のグラフの形状や位置を移動させることができるので、予め、極小値が大きくなり、エッチング終了時刻と極小値を与える時刻との差が小さくなるように、係数a〜dを定めておき、下記(1)式、
I=I1×a+I2×b+I3×c+I4×d……(1)
によって合計強度Iを求め、その経時変化率から極小値を与える時刻を求め、その時刻に到ったときを、エッチング終了時刻として判断することができる。
エッチング装置1は真空槽2を有している。真空槽2の内部には載置台7と、プラズマ生成装置5(例えば平板電極)とが配置されており、真空槽2に搬入された処理対象物は載置台7上に配置されるように構成されている。
真空槽2には真空排気系9と、ガス供給系8とが接続されており、真空排気系9によって真空槽2内部を真空排気し、ガス供給系8からアシストガスと、エッチングガスを供給しながら、プラズマ生成装置5に電圧を印加すると、アシストガスとエッチングガスのプラズマを生成し、載置台7上に配置された処理対象物がエッチングされる。
センサー23は制御装置20に接続されており、制御装置20はセンサー23が受光した光のうち、所望の波長の光の強度を検出して、制御装置20の内部の記憶装置に記憶する。
本発明のエッチング方法を用いて実際の製品のエッチングを行う前に、先ず、実際のエッチング工程で用いるエッチングガスとアシストガスと、それぞれ同じエッチングガス(CHF3ガスとSF6ガス)と、アシストガス(Arガス)をガス供給系8に配置し、制御装置20を検出し、強度を測定する光の波長を、313.4nm(第一の光)と、波長330.6nm(第二の光)と、波長348.3nm(第三の光)と、波長369.9nm(第四の光)に設定する。
このとき、目視や膜厚センサー等の他の手段によってSiO2膜のエッチングの終了時刻を検出しておき、
I=I1×a+I2×b+I3×c+I4×d……再掲(1)
で求められる合計強度Iの経時変化率が、エッチング終了時刻において極小値をとり、極小値の絶対値も大きくなるようにa〜dを決定し、制御装置20に入力しておく。
エッチングが終了したと判断されたら、制御装置20は、プラズマ生成装置5への電圧印加を停止し、エッチングを終了させる。エッチングの終了が検出された後、所定時間だけオーバーエッチさせ、エッチングを終了させてもよい。アシストガスとエッチングガスの導入は、エッチングを終了させた後、停止する。
尚、アシストガスには、Arガスに加え、KrガスやXeガスを添加することができる。
ここでは、第一〜第四の係数をそれぞれ1とし、同時刻に検出された第一〜第四の光の強度をそのまま加算して合計強度を算出した。
Claims (3)
- 処理対象物が配置された真空槽内にアシストガスとエッチングガスを導入し、
前記アシストガスと前記エッチングガスのプラズマを発生させ、
前記処理対象物表面に形成された絶縁膜を前記プラズマでエッチングする間、
前記プラズマから放射される光を検出し、検出光の強度変化からエッチング反応の終了か否かを判断するエッチング方法であって、
前記絶縁膜はSiO2膜であり、
前記アシストガスはArガスで構成され、前記エッチングガスはCHF3ガスとSF6ガスとで構成され、
前記プラズマから放射される光のうち、波長313.4nmの第一の光の強度と、波長330.6nmの第二の光の強度と、波長348.3nmの第三の光の強度と、波長369.9nmの第四の光の強度をそれぞれ測定して加算し、合計強度を算出し、
現在の前記経時変化率と過去の前記経時変化率とを比較し、現在の前記経時変化率が、符号が負で絶対値が増大から減少に転じた時刻を前記エッチングが終了した時刻であると判断するエッチング方法。 - 前記第一〜第四の光の強度の加算は、前記第一〜第四の光の強度を、それぞれゼロよりも大きい第一〜第四の係数倍して加算する請求項1記載のエッチング方法。
- 予め設定された時間間隔毎に前記エッチングが終了したか否かを判断する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のエッチング方法であって、
前記経時変化率は、前回の合計強度の値と、今回の合計強度の値から算出するエッチング方法。
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