JP4703321B2 - シート状物厚さ測定方法およびこれを用いた装置 - Google Patents
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Description
X線源からのX線を前記シート状物の面に照射するX線管を複数個有し、前記シート状物の幅方向の両端に垂直に交差する2つの線状フレームと前記シート状物の両端から外れた位置にある2つの円弧状フレームからなる長円状の軌道上に所定間隔をおいて複数個の当該X線管を配備して構成したX線管ユニットと、前記シート状物を挟んで前記X線管ユニットのX線管と対向して配備された複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットのうち、少なくともX線管ユニットを前記フレームの軌道に沿って移動させてシート状物の厚みを測定する第1測定過程と、
前記フレームの軌道上に配備された複数個のX線管とX線検出器のうちシート状物上から外れて当該シート状物に面しないX線管とX線検出器を用いて較正基準体の厚みを測定する第2測定過程と、
前記X線管ごとに測定された前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較して偏差を求め、前記第1測定過程において複数箇所で測定されたシート状物の厚みを当該偏差に基づいて補正する補正演算過程と、
を備えたことを特徴とする。
X線源からのX線を前記シート状物の面に照射するX線管を複数個有し、前記シート状物の幅方向の両端に垂直に交差する2つの線状フレームと前記シート状物の両端から外れた位置にある2つの円弧状フレームからなる長円状の軌道上に所定間隔をおいて複数個の当該X線管を配備して構成したX線管ユニットと、
前記シート状物を挟んで前記X線管ユニットのX線管と対向して配備された複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、
前記X線管ユニットとX線検出ユニットのうち、少なくともX線管ユニットを前記フレームの軌道に沿って移動させる回転駆動手段と、
前記フレームの軌道のうちシート状物上から外れた円弧状の前記軌道上に配備された較正基準体と、
前記X線管ユニットとX線検出ユニットの間に前記シート状物を水平移動させる水平移動手段と、
少なくとも前記X線管ユニットが移動しているときに、前記X線管ごとに測定された前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較して偏差を求め、複数箇所で測定されたシート状物の厚みを当該偏差に基づいて補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする。
複数個の前記X線管と複数個の前記X線検出器がそれぞれ対向位置関係を維持した状態で前記X線管ユニットと前記X線検出ユニットとを同期させて回転駆動させるように前記回転駆動手段を制御する回転駆動制御手段を備えた
ことを特徴とする。
複数個のX線源を所定間隔をおいてシート状物の搬送方向と直交する幅方向に整列配備して構成したX線管と、前記シート状物を挟んで前記X線源と対向配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、当該X線管とX線検出ユニットの組をシート状物の搬送方向の前後に配備し、前記シート状物の幅方向に往復移動するX線管とX線検出ユニットの各軌道上で、かつ、シート状物の幅方向の両側で当該シート状物から外れてシート状物と面しない位置にある複数個の較正基準体とを備え、
各組に備わった前記X線管の複数個のX線源を、シート状物の搬送方向の長手軸中心から2つのグループに分け、一方のグループを前記シート状物の幅方向の両側に配置された複数個の較正基準体のうち片側の較正基準体に割り当て、他方のグループをもう片側の較正基準体に割り当て、シート状物の幅方向に沿って両組を相対的に離れる方向または近づく方向に往復移動させる過程で、両組のX線管に配備されたX線源のうちシート状物に面するX線源を利用してシート状物の厚み測定するとともに、当該往復移動の過程でシート状物の測定位置から外れてゆき当該シート状物に面しなくなるX線源の順に前記較正基準体の厚みを測定し、
前記X線源ごとに測定された前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較して偏差を求め、前記X線源を利用して複数箇所で測定されたシート状物の厚みを当該偏差に基づいて補正する
ことを特徴とする。
複数個のX線源を所定間隔をおいて前記シート状物の搬送方向と直交する幅方向に整列配備して構成したX線管と、
前記シート状物を挟んで前記X線管のX線源と対向配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、
前記X線管とX線検出ユニットの組をシート状物の搬送方向の前後に配備し、前記シート状物の幅方向に往復移動するX線管とX線検出ユニットの各軌道上で、かつ、シート状物の幅方向の両側で当該シート状物の測定位置から外れてシート状物と面しない位置に配備した複数個の較正基準体と、
前記X線管と前記X線検出ユニットの組を前記シート状物の幅方向に往復移動させる第1駆動手段と、
前記X線管と前記X線検出ユニットの間にシート状物を水平移動させる水平移動手段と、
各組に備わった前記X線管の複数個のX線源を、シート状物の搬送方向の長手軸中心から2つのグループに分け、一方のグループを前記シート状物の幅方向の両側に配置された複数個の較正基準体のうち片側の較正基準体に割り当て、他方のグループをもう片側の較正基準体に割り当て、シート状物の幅方向に両組を相対的に離れる方向または近づく方向に往復移動させるように前記第1駆動手段を制御する制御手段と、
前記X線源ごとに測定された前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較して偏差を求め、前記X線源を利用して複数箇所で測定されたシート状物の厚みを当該偏差に基づいて補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする。
前記X線管の各X線源と前記X線検出器の各組が対向位置関係を維持した状態で、当該X線管とX線検出ユニットとを同期させて同一方向に移動させるように前記第1駆動手段を制御する駆動制御手段を備えた
ことを特徴とする。
2 … X線管ユニット
4 … X線検出ユニット
6 … 基準体
8 … X線管
9 … X線検出器
11 … 制御部
12 … 補正演算処理部
Claims (6)
- シート状物に照射されて透過した透過X線を検出し、この検出結果に基づいてシート状物の厚みを測定するシート状物厚さ測定方法において、
X線源からのX線を前記シート状物の面に照射するX線管を複数個有し、前記シート状物の幅方向の両端に垂直に交差する2つの線状フレームと前記シート状物の両端から外れた位置にある2つの円弧状フレームからなる長円状の軌道上に所定間隔をおいて複数個の当該X線管を配備して構成したX線管ユニットと、前記シート状物を挟んで前記X線管ユニットのX線管と対向して配備された複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットのうち、少なくともX線管ユニットを前記フレームの軌道に沿って移動させてシート状物の厚みを測定する第1測定過程と、
前記フレームの軌道上に配備された複数個のX線管とX線検出器のうちシート状物上から外れて当該シート状物に面しないX線管とX線検出器を用いて較正基準体の厚みを測定する第2測定過程と、
前記X線管ごとに測定された前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較して偏差を求め、前記第1測定過程において複数箇所で測定されたシート状物の厚みを当該偏差に基づいて補正する補正演算過程と、
を備えたことを特徴とするシート状物厚さ測定方法。 - シート状物に照射されて透過した透過X線を検出し、この検出結果に基づいてシート状物の厚みを測定するシート状物厚さ測定装置において、
X線源からのX線を前記シート状物の面に照射するX線管を複数個有し、前記シート状物の幅方向の両端に垂直に交差する2つの線状フレームと前記シート状物の両端から外れた位置にある2つの円弧状フレームからなる長円状の軌道上に所定間隔をおいて複数個の当該X線管を配備して構成したX線管ユニットと、
前記シート状物を挟んで前記X線管ユニットのX線管と対向して配備された複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、
前記X線管ユニットとX線検出ユニットのうち、少なくともX線管ユニットを前記フレームの軌道に沿って移動させる回転駆動手段と、
前記フレームの軌道のうちシート状物上から外れた円弧状の前記軌道上に配備された較正基準体と、
前記X線管ユニットとX線検出ユニットの間に前記シート状物を水平移動させる水平移動手段と、
少なくとも前記X線管ユニットが移動しているときに、前記X線管ごとに測定された前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較して偏差を求め、複数箇所で測定されたシート状物の厚みを当該偏差に基づいて補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とするシート状物厚さ測定装置。 - 請求項2に記載のシート状物厚さ測定装置において、
複数個の前記X線管と複数個の前記X線検出器がそれぞれ対向位置関係を維持した状態で前記X線管ユニットと前記X線検出ユニットとを同期させて回転駆動させるように前記回転駆動手段を制御する回転駆動制御手段を備えた
ことを特徴とするシート状物厚さ測定装置。 - シート状物に照射されて透過した透過X線を検出し、この検出結果に基づいてシート状物の厚みを測定するシート状物厚さ測定方法において、
複数個のX線源を所定間隔をおいてシート状物の搬送方向と直交する幅方向に整列配備して構成したX線管と、前記シート状物を挟んで前記X線源と対向配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、当該X線管とX線検出ユニットの組をシート状物の搬送方向の前後に配備し、前記シート状物の幅方向に往復移動するX線管とX線検出ユニットの各軌道上で、かつ、シート状物の幅方向の両側で当該シート状物から外れてシート状物と面しない位置にある複数個の較正基準体とを備え、
各組に備わった前記X線管の複数個のX線源を、シート状物の搬送方向の長手軸中心から2つのグループに分け、一方のグループを前記シート状物の幅方向の両側に配置された複数個の較正基準体のうち片側の較正基準体に割り当て、他方のグループをもう片側の較正基準体に割り当て、シート状物の幅方向に沿って両組を相対的に離れる方向または近づく方向に往復移動させる過程で、両組のX線管に配備されたX線源のうちシート状物に面するX線源を利用してシート状物の厚み測定するとともに、当該往復移動の過程でシート状物の測定位置から外れてゆき当該シート状物に面しなくなるX線源の順に前記較正基準体の厚みを測定し、
前記X線源ごとに測定された前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較して偏差を求め、前記X線源を利用して複数箇所で測定されたシート状物の厚みを当該偏差に基づいて補正する
ことを特徴とするシート状物厚さ測定方法。 - シート状物に照射されて透過した透過X線を検出し、この検出結果に基づいてシート状物の厚みを測定するシート状物厚さ測定装置において、
複数個のX線源を所定間隔をおいて前記シート状物の搬送方向と直交する幅方向に整列配備して構成したX線管と、
前記シート状物を挟んで前記X線管のX線源と対向配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、
前記X線管とX線検出ユニットの組をシート状物の搬送方向の前後に配備し、前記シート状物の幅方向に往復移動するX線管とX線検出ユニットの各軌道上で、かつ、シート状物の幅方向の両側で当該シート状物の測定位置から外れてシート状物と面しない位置に配備した複数個の較正基準体と、
前記X線管と前記X線検出ユニットの組を前記シート状物の幅方向に往復移動させる第1駆動手段と、
前記X線管と前記X線検出ユニットの間にシート状物を水平移動させる水平移動手段と、
各組に備わった前記X線管の複数個のX線源を、シート状物の搬送方向の長手軸中心から2つのグループに分け、一方のグループを前記シート状物の幅方向の両側に配置された複数個の較正基準体のうち片側の較正基準体に割り当て、他方のグループをもう片側の較正基準体に割り当て、シート状物の幅方向に両組を相対的に離れる方向または近づく方向に往復移動させるように前記第1駆動手段を制御する制御手段と、
前記X線源ごとに測定された前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較して偏差を求め、前記X線源を利用して複数箇所で測定されたシート状物の厚みを当該偏差に基づいて補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とするシート状物厚さ測定装置。 - 請求項5に記載のシート状物厚さ測定装置において、
前記X線管の各X線源と前記X線検出器の各組が対向位置関係を維持した状態で、当該X線管とX線検出ユニットとを同期させて同一方向に移動させるように前記第1駆動手段を制御する駆動制御手段を備えた
ことを特徴とするシート状物厚さ測定装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54118861A (en) * | 1978-03-07 | 1979-09-14 | Toshiba Corp | Plate thickness measuring method |
JPH05288539A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-02 | Fuji Electric Co Ltd | 透過形放射線厚さ計用の校正装置 |
JPH10281747A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-10-23 | Futec Inc | X線管、x線利用シート状物厚さ測定方法、及びx線利用シート状物厚さ測定装置 |
JP2000081328A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-03-21 | Futec Inc | 走行シート状物用測定方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54118861A (en) * | 1978-03-07 | 1979-09-14 | Toshiba Corp | Plate thickness measuring method |
JPH05288539A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-02 | Fuji Electric Co Ltd | 透過形放射線厚さ計用の校正装置 |
JPH10281747A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-10-23 | Futec Inc | X線管、x線利用シート状物厚さ測定方法、及びx線利用シート状物厚さ測定装置 |
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