JP2007057359A - シート状物厚さ測定方法およびこれを用いた装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 所定ピッチPをおいて環状に配備した複数個のX線管8からなるX線管ユニット2と、X線管8に対向配備した複数個のX線検出器9を環状に配備してなるX線検出ユニット4とをシート状物1を挟んで対向した状態で同期をとりながら回転させ、シート状物1の厚みを測定するとともに、シート状物上から外れた軌道では較正用の基準体6の厚みを測定する。基準体6の厚みは、補正演算処理部12で基準値と比較されて補正量が求められ、この補正量を実測により得られたシート状物1の厚みに反映させて補正する。
【選択図】 図1
Description
X線源からのX線を前記シート状物の面に照射するX線管を、当該シート状物を交差するように所定間隔をおいて環状に複数個配備して構成したX線管ユニットと、前記シート状物を挟んで前記X線管ユニットのX線管ごとに対向して環状に配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットの組のうち、少なくともX線管ユニットを環状縦中心軸回りに回転駆動させるとともに、当該X線検出ユニットとシート状物を水平相対移動させているときにシート状物の厚みを測定する第1測定過程と、
前記X線管ユニットの回転軌道のうちシート状物上から外れた軌道部分で、当該X線管ユニットと前記X線検出ユニットとの間に配備された較正基準体の厚みを測定する第2測定過程と、
前記各X線管を利用して得た前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較し、求まる偏差に基づいて前記第1測定過程でX線管ごとに測定したシート状物の各部位の厚みを補正手段により補正する補正演算過程と、
を備えことを特徴とする。
X線源からのX線を前記シート状物の面に照射するX線管を、当該シート状物を交差するように所定間隔をおいて環状に複数個配備して構成したX線管ユニットと、
前記シート状物を挟んで前記X線管ユニットのX線管ごとに対向して環状に配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、
前記X線管ユニットとX線検出ユニットのうち、少なくともX線管ユニットを環状縦中心軸回りに回転駆動させる回転駆動手段と、
前記X線管ユニットの回転軌道のうちシート状物上から外れた軌道部分で、当該X線管ユニットと前記X線検出ユニットとの間に配備された較正基準体と、
前記シート状物に交差した状態で回転駆動している前記X線管ユニットが、当該シート状物に対して交差状態を維持しながら水平方向に移動するように当該X線管ユニットと前記X線検出ユニットの組と、シート状物を水平相対移動させる水平移動手段と、
少なくとも前記X線管ユニットが回転駆動しているときに、各X線管を利用して得た前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較し、求まる偏差に基づいてX線管ごとに測定したシート状物の各部位の厚みを補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする。
前記X線管と前記X線検出器の各組が対向位置関係を維持した状態で前記X線管ユニットと前記X線検出ユニットとを同期させて回転駆動させるように前記回転駆動手段を制御する回転駆動制御手段を備えた
ことを特徴とする。
複数個のX線源を所定間隔をおいて整列配備して構成したX線管と、前記シート状物を挟んで前記X線管のX線源ごとに対向して整列配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、前記X線管のX線源とX線検出器の整列長手方向であって、前記シート状物から水平方向に離間して配備された較正基準体とを備え、
前記X線管と前記X線検出ユニットを組とする複数組を前記シート状物と交差するように並設するとともに、各組の長手方向に離間して前記較正基準体を並設し、少なくとも前記各組のX線管のX線源を前記シート状物上に位置する第1の位置と、前記X線源が前記較正基準体上に位置する第2の位置とにわたって交差水平移動可能に構成し、当該X線管が第1の位置にあるときにシート状物の厚みを測定する第1測定過程と、
前記X線管が第2の位置に移動したときに前記較正基準体の厚みを測定する第2測定過程と、
前記第2測定過程で取得した前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較し、求まる偏差に基づいて前記第1測定過程で各X線源を利用して得たシート状物の各部位の厚みを補正手段により補正する補正演算過程と、
を備えたことを特徴とする。
複数個のX線源を所定間隔をおいて整列配備して構成したX線管と、
前記シート状物を挟んで前記X線管のX線源ごとに対向して整列配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、
前記X線管のX線源とX線検出器の整列長手方向であって、前記シート状物から水平方向に離間して配備された較正基準体と、
前記X線管と前記X線検出ユニットを組とする複数組を前記シート状物と交差するように並設するとともに、各組の長手方向に離間して前記較正基準体を並設し、少なくとも前記各組のX線管のX線源を前記シート状物上に位置する第1の位置と、前記X線源が前記較正基準体上に位置する第2の位置とにわたって交差水平移動させる第1駆動手段と、
前記X線管と前記X線検出器との組が、前記シート状物に対して交差状態を維持しながら水平方向に移動するように当該X線管と前記X線検出ユニットの組と、シート状物を水平相対移動させる水平移動手段と、
少なくとも複数個の前記X線管を交互に交差水平移動させるように前記第1駆動手段を制御する制御手段と、
所定のX線管の各X線源を利用して得た前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較し、求まる偏差に基づいて各X線源を利用して得たシート状物の各部位の厚みを補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする。
前記X線管の各X線源と前記X線検出器の各組が対向位置関係を維持した状態で、当該X線管とX線検出ユニットとを同期させて駆動させるように前記第1駆動手段を制御する駆動制御手段を備えた
ことを特徴とする。
2 … X線管ユニット
4 … X線検出ユニット
6 … 基準体
8 … X線管
9 … X線検出器
11 … 制御部
12 … 補正演算処理部
Claims (6)
- シート状物に照射されて透過した透過X線を検出し、この検出結果に基づいてシート状物の厚みを測定するシート状物厚さ測定方法において、
X線源からのX線を前記シート状物の面に照射するX線管を、当該シート状物を交差するように所定間隔をおいて環状に複数個配備して構成したX線管ユニットと、前記シート状物を挟んで前記X線管ユニットのX線管ごとに対向して環状に配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットの組のうち、少なくともX線管ユニットを環状縦中心軸回りに回転駆動させるとともに、当該X線検出ユニットとシート状物を水平相対移動させているときにシート状物の厚みを測定する第1測定過程と、
前記X線管ユニットの回転軌道のうちシート状物上から外れた軌道部分で、当該X線管ユニットと前記X線検出ユニットとの間に配備された較正基準体の厚みを測定する第2測定過程と、
前記各X線管を利用して得た前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較し、求まる偏差に基づいて前記第1測定過程でX線管ごとに測定したシート状物の各部位の厚みを補正手段により補正する補正演算過程と、
を備えたことを特徴とするシート状物厚さ測定方法。 - シート状物に照射されて透過した透過X線を検出し、この検出結果に基づいてシート状物の厚みを測定するシート状物厚さ測定装置において、
X線源からのX線を前記シート状物の面に照射するX線管を、当該シート状物を交差するように所定間隔をおいて環状に複数個配備して構成したX線管ユニットと、
前記シート状物を挟んで前記X線管ユニットのX線管ごとに対向して環状に配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、
前記X線管ユニットとX線検出ユニットのうち、少なくともX線管ユニットを環状縦中心軸回りに回転駆動させる回転駆動手段と、
前記X線管ユニットの回転軌道のうちシート状物上から外れた軌道部分で、当該X線管ユニットと前記X線検出ユニットとの間に配備された較正基準体と、
前記シート状物に交差した状態で回転駆動している前記X線管ユニットが、当該シート状物に対して交差状態を維持しながら水平方向に移動するように当該X線管ユニットと前記X線検出ユニットの組と、シート状物を水平相対移動させる水平移動手段と、
少なくとも前記X線管ユニットが回転駆動しているときに、各X線管を利用して得た前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較し、求まる偏差に基づいてX線管ごとに測定したシート状物の各部位の厚みを補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とするシート状物厚さ測定装置。 - 請求項2に記載のシート状物厚さ測定装置において、
前記X線管と前記X線検出器の各組が対向位置関係を維持した状態で前記X線管ユニットと前記X線検出ユニットとを同期させて回転駆動させるように前記回転駆動手段を制御する回転駆動制御手段を備えた
ことを特徴とするシート状物厚さ測定装置。 - シート状物に照射されて透過した透過X線を検出し、この検出結果に基づいてシート状物の厚みを測定するシート状物厚さ測定方法において、
複数個のX線源を所定間隔をおいて整列配備して構成したX線管と、前記シート状物を挟んで前記X線管のX線源ごとに対向して整列配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、前記X線管のX線源とX線検出器の整列長手方向であって、前記シート状物から水平方向に離間して配備された較正基準体とを備え、
前記X線管と前記X線検出ユニットを組とする複数組を前記シート状物と交差するように並設するとともに、各組の長手方向に離間して前記較正基準体を並設し、少なくとも前記各組のX線管のX線源を前記シート状物上に位置する第1の位置と、前記X線源が前記較正基準体上に位置する第2の位置とにわたって交差水平移動可能に構成し、当該X線管が第1の位置にあるときにシート状物の厚みを測定する第1測定過程と、
前記X線管が第2の位置に移動したときに前記較正基準体の厚みを測定する第2測定過程と、
前記第2測定過程で取得した前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較し、求まる偏差に基づいて前記第1測定過程で各X線源を利用して得たシート状物の各部位の厚みを補正手段により補正する補正演算過程と、
を備えたことを特徴とするシート状物厚さ測定方法。 - シート状物に照射されて透過した透過X線を検出し、この検出結果に基づいてシート状物の厚みを測定するシート状物厚さ測定装置において、
複数個のX線源を所定間隔をおいて整列配備して構成したX線管と、
前記シート状物を挟んで前記X線管のX線源ごとに対向して整列配備した複数個のX線検出器からなるX線検出ユニットと、
前記X線管のX線源とX線検出器の整列長手方向であって、前記シート状物から水平方向に離間して配備された較正基準体と、
前記X線管と前記X線検出ユニットを組とする複数組を前記シート状物と交差するように並設するとともに、各組の長手方向に離間して前記較正基準体を並設し、少なくとも前記各組のX線管のX線源を前記シート状物上に位置する第1の位置と、前記X線源が前記較正基準体上に位置する第2の位置とにわたって交差水平移動させる第1駆動手段と、
前記X線管と前記X線検出器との組が、前記シート状物に対して交差状態を維持しながら水平方向に移動するように当該X線管と前記X線検出ユニットの組と、シート状物を水平相対移動させる水平移動手段と、
少なくとも複数個の前記X線管を交互に交差水平移動させるように前記第1駆動手段を制御する制御手段と、
所定のX線管の各X線源を利用して得た前記較正基準体の厚みと、予め決めた較正基準体の基準値とを比較し、求まる偏差に基づいて各X線源を利用して得たシート状物の各部位の厚みを補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とするシート状物厚さ測定装置。 - 請求項5に記載のシート状物厚さ測定装置において、
前記X線管の各X線源と前記X線検出器の各組が対向位置関係を維持した状態で、当該X線管とX線検出ユニットとを同期させて同一方向に駆動させるように前記第1駆動手段を制御する駆動制御手段を備えた
ことを特徴とするシート状物厚の測定装置。
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JP2005242596A JP4703321B2 (ja) | 2005-08-24 | 2005-08-24 | シート状物厚さ測定方法およびこれを用いた装置 |
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