JP4698892B2 - Cz原料供給方法及び供給用治具 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、CZ法による単結晶育成における原料融液の形成に用いられるCZ原料供給方法及びその方法の実施に使用されるCZ原料供給用治具に関し、更に詳しくは、多結晶原料の追加チャージに用いられるCZ原料供給方法及び供給用治具に関する。
【0002】
【従来の技術】
CZ法による単結晶育成においては、周知のとおり、ルツボ内に初期チャージされた固形の多結晶原料が、ヒータを用いた加熱によって溶解される。このようにしてルツボ内に原料融液が形成されると、種結晶をルツボ内の原料融液に浸漬し、この状態から種結晶及びルツボを回転させながら種結晶を上昇させることにより、種結晶の下方に円柱形状の単結晶を育成する。ルツボ内に初期チャージされる固形の多結晶原料としては、多結晶のカットロッド、塊、粒等が単独又は複合で使用される。
【0003】
このような単結晶育成においては、ルツボ内に初期チャージされた固体原料を溶解すると、その嵩密度が低下し、ルツボの容積に比して原料融液量が減少することにより、生産性の低下を余儀なくされる。これを回避するために、ルツボ内への原料チャージ量を多くすることが考えられており、その一つとして追加チャージと呼ばれる技術が開発されている。
【0004】
追加チャージでは、ルツボ内に初期チャージされた固体原料を溶解した後、ルツボ内の原料融液に固形の多結晶原料を追加投入する。ここにおける原料投入形態の一つとして、結晶を引き上げるワイヤを用いてルツボ上に吊り下げた円柱形状の多結晶原料を徐々に下降させ、ルツボ内の原料融液に浸漬していくものがある。これにより、ルツボ内の原料融液量が増加し、ルツボの容積が有効に活用されることにより、生産性が向上する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の追加チャージ技術においては、円柱形状の多結晶原料がルツボ内の原料融液に浸漬されることにより、その多結晶原料に軸方向及び径方向の熱歪みが生じ、浸漬途中にクラックが発生する。その結果、しばしば軸方向の中間部で破断が生じ、多量の多結晶原料が一度にルツボ内の原料融液中に落下する。このような落下が生じると、ルツボが破壊され、大量の原料融液が炉内へ流出する湯漏れ事故に至る危険性が高い。
【0006】
他の追加チャージ技術として、炉内に挿入された原料供給管を用いて、粒塊状の多結晶原料をルツボ内の原料融液に投下する方法もあるが、原料投下時に融液飛沫の跳ね上がりや投下原料自体の跳ね上がり、更には投下原料の衝突によるルツボの破損等が問題となる。ちなみに、原料コストは、粒塊状原料の方が、円柱形状原料より安価である。
【0007】
本発明の目的は、原料費が安く、しかもクラックの危険がない粒塊状の多結晶原料を、ルツボ内に静的に且つ安定に追加チャージできるCZ原料供給方法及びその方法の実施に使用されるCZ原料供給用治具を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のCZ原料供給方法は、CZ法による単結晶育成に際して、ルツボ内に多結晶原料をチャージする工程と、ルツボの上方に上下端が開口された筒状容器を設置し、前記筒状容器に塊状及び/又は粒状の多結晶原料を投入してこの多結晶原料が前記工程でルツボ内にチャージされた多結晶原料上に前記筒状容器内で積み上げられるようにチャージされる工程とを備え、ルツボ内の多結晶原料を溶解することで、周方向で複数部材に分割されると共に、複数部材が外面側へ変位可能に結合された分割構造である前記筒状容器内の多結晶原料がルツボ内へ下降することを特徴とする。
本発明は、前記溶解工程において、ルツボ内の多結晶原料の溶解に伴う嵩密度の低下に伴って、筒状容器内の多結晶原料をルツボ内へ徐々に降下させることができる。
本発明のCZ原料供給用治具は、前述したCZ原料供給方法に用いられるもので、上下端が開口され、下端がルツボ内にチャージされた多結晶原料と接触または離間するように配設された筒状容器であって、周方向に複数に分割されると共に、それぞれが外面側へ変位可能に形成されたことができる。
本発明のCZ原料供給用治具は、前述したCZ原料供給方法を用いたCZ法による単結晶育成に際して、ルツボ内の多結晶原料を溶解する溶解工程の前にルツボ内に初期充填した多結晶原料の上方に設置され、塊状及び/又は粒状の多結晶原料が内部に充填される筒状容器からなり、ルツボ内の多結晶原料の溶解に伴って、筒状容器内の多結晶原料をルツボ内へ追加供給することができる。
本発明は、前記筒状容器は、カーボン、少なくとも内面がSiCでコーティングされたカーボン、又はSiCからなることができる。
本発明の前記筒状容器は、周方向で複数部材に分割されると共に、複数部材が外面側へ変位可能に結合された分割構造であることが好ましい。
本発明のCZ原料供給用治具は、ルツボ内に初期充填した多結晶原料の上方に設置され、塊状及び/又は粒状の多結晶原料が内部に充填される筒状容器からなり、ルツボ内の多結晶原料の溶解に伴って、筒状容器内の多結晶原料をルツボ内へ追加供給する筒状容器であって、周方向で複数部材に分割されると共に、複数部材が外面側へ変位可能に結合された分割構造であることができる。
本発明のCZ原料供給方法はまた、CZ法による単結晶育成に際して、ルツボ内に初期チャージされた多結晶原料の上方に、塊状及び/又は粒状の多結晶原料が内部に充填された筒状容器を設置し、ルツボ内の多結晶原料の溶解に伴って、筒状容器内の多結晶原料をルツボ内へ追加供給することができる。
【0009】
また、本発明のCZ原料用供給治具は、上下端が開口され、下端がルツボ内にチャージされた多結晶原料と接触または離間するように配設された筒状容器であって、周方向に複数に分割されると共に、それぞれが外面側へ変位可能に形成されたことを特徴とする。
【0010】
本発明によると、ルツボ内の多結晶原料の溶解に伴う嵩密度の低下に伴って、筒状容器内の多結晶原料がルツボ内へ自重により徐々に自然降下する。これにより、クラックの危険がない粒塊状の多結晶原料が、融液や原料の跳ね上がりを伴うことなく、ルツボ内に静的に且つ安定に追加チャージされる。
【0011】
前記筒状容器は耐熱材料により構成され、具体的には重金属汚染の危険がないカーボンや、少なくとも内面がSiCでコーティングされたカーボン、SiCからなるものが好ましい。カーボンのみでは、内部の多結晶原料が降下する際に内面が削れ、カーボンを混入させるおそれがあるが、SiCのコーティングにより、このおそれが取り除かれる。
【0012】
前記筒状容器は又、周方向で複数部材に分割されると共に、複数部材が外面側へ変位可能に結合された分割構造であることが好ましい。これにより、容器内の多結晶原料の熱膨脹に伴って容器が拡径するようになり、その多結晶原料の詰まりが効果的に防止される。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の一実施形態を示すCZ原料供給方法の概念図、図2は同CZ原料供給方法に使用される筒状容器の斜視図、図3は同筒状容器の平面図である。
【0014】
本実施形態では、CZ法によりシリコン単結晶が製造される。その製造に使用されるCZ炉は、図1に示すように、炉体としてメインチャンバ1及びプルチャンバ2を備えている。プルチャンバ2は、メインチャンバ1より小径で、メインチャンバ1の中心部上に重ねられる。
【0015】
メインチャンバ1内の中心部にはルツボ3及び熱遮蔽体6が配置される。ルツボ3は、内側の石英ルツボと外側の黒鉛ルツボを組み合わせた二重構造であり、ペディスタルと呼ばれる支持軸4上にルツボ受け5を介して支持される。支持軸4は、ルツボ3を軸方向及び周方向に駆動する。熱遮蔽体6は、上方に向かって漸次拡径した円筒体であり、ルツボ3内の原料融液から引上げられる単結晶を包囲することにより、その冷却を促進する。
【0016】
プルチャンバ2は、軸方向に昇降駆動され、且つ、水平方向に旋回駆動される。プルチャンバ2内には、単結晶引上げのために、引上げ軸としてのワイヤ7が垂下され、その下端にはシードチャック8が取り付けられている。ワイヤ7は、プルチャンバ2の最上部に設けられた駆動機構により、回転駆動され且つ昇降駆動される。ルツボ3の外側には図示されない環状のヒータが配置され、その更に外側には断熱材がメインチャンバ1の内面に沿って配置される。
【0017】
本実施形態のCZ原料供給方法では、まず、ルツボ3内に所定の多結晶原料を初期チャージする。或いは、所定の多結晶原料を初期チャージしたルツボ3をメインチャンバ1内にセットする。次いで、プルチャンバ2をメインチャンバ1の側方に退避させた状態で、ワイヤ7の下方に筒状容器10を吊り下げ、プルチャンバ2及びワイヤ7を操作することにより、ルツボ3内の初期チャージ原料上に筒状容器10を設置する。
【0018】
筒状容器10は、ルツボ3より小径の円筒体である。この円筒体は、重金属汚染の危険がないカーボン、SiC等の耐熱材料からなり、周方向において断面が半円形の2つの弧状部材11A,11Bに2分割されている。2つの弧状部材11A,11Bは、図2及び図3に示すように、円筒形状に組み合わされ、軸方向の複数位置でバンド12により固定されている。弧状部材11A,11Bの位置ずれを防止するために、弧状部材11A,11Bの両縁部には位置決め部材13A、13Bが取り付けられている。
【0019】
円筒形状に合体された弧状部材11A,11B、即ち筒状容器10は、まずメインチャンバ1の側方で、シードチャック8に挟持された逆T形の支持部材9にワイヤにより吊り下げられる。次いで、プルチャンバ2と共にメインチャンバ1上に移動し、ルツボ3内の初期チャージ原料上に、接触状態又は僅かの隙間をあけて同心状に設置される。
【0020】
このようにして初期チャージ原料上への筒状容器10のセットが終わると、筒状容器10を支持した状態で、ワイヤ7を下方へ引き出しながらプルチャンバ2を上昇させることにより、プルチャンバ2の下方に筒状容器10を露出させる。そして、柔軟性のあるガイドスリーブ等を用いて、追加チャージ用の多結晶原料20を筒状容器10内に充填する。この多結晶原料20としては、ランプと呼ばれる塊状原料、又はチップと呼ばれる粒塊状原料、若しくはその両方が使用される。
【0021】
ちなみに、ランプとは40〜80mm径サイズ程度の塊状原料を言い、チップとは5〜40mm径サイズ程度の粒塊状原料を言う。
【0022】
筒状容器10内へ充填された多結晶原料20は、ルツボ3内の初期チャージ原料により下方から支持され、筒状容器10内に保持される。筒状容器10内への原料充填が終わると、筒状容器10を支持した状態で、ワイヤ7を上方へ巻き上げながらプルチャンバ2を下降させることにより、メインチャンバ1にプルチャンバ2を合体させる。しかる後、所定の手順を経て、ルツボ3内の初期チャージ原料を溶解する。
【0023】
ルツボ3内の初期チャージ原料の溶解が始まると、その嵩密度が低下する。これに伴って、筒状容器10内の追加チャージ用多結晶原料20が徐々に下降し、ルツボ3内に順次供給される。筒状容器10内からの原料排出を促進するために、適宜筒状容器10を上昇或いはルツボ3を下降させてもよいが、筒状容器10を過度に上昇させた場合には、筒状容器10内の追加チャージ用の多結晶原料20と熱遮蔽体6の下端部との接触による金属汚染が懸念されるため、ルツボ3を下降させることが望ましい。
【0024】
このとき、筒状容器10内の追加チャージ用多結晶原料20は、ルツボ3内の原料加熱に伴う輻射熱により加熱され、熱膨脹を生じることにより、筒状容器10内でブリッジ状態になり、ルツボ3内の初期チャージ原料が沈んでも筒状容器10内に留まる危険性がある。しかるに、本実施形態では、筒状容器10が弧状部材11A,11Bに2分割され、軸方向の複数位置でバンド12により固定されているため、多結晶原料20の熱膨脹に伴って弧状部材11A,11Bが外面側へ変位する。この拡径により、多結晶原料20の熱膨脹による降下不良が回避される。
【0025】
本実施形態では、更に、弧状部材11A,11Bが上部でバンド12により固定されているため、下部ほど大きくテーパ状に開く。このため、筒状容器10内からの原料排出性が特に良好となる。この排出性は、ランプよりチップの方が良好である。
【0026】
このようにして、原料費が安く、しかもクラックの危険がない粒塊状の多結晶原料20が、融液飛沫の跳ね上がりや投下原料の跳ね上がり、更には投下原料の衝突によるルツボの破損を生じることなく、ルツボ3内に追加チャージされる。
この追加チャージにより、ルツボ3内に多量の原料融液が形成される。
【0027】
追加チャージが終わると、プルチャンバ2及びワイヤ7を操作して、筒状容器10をプルチャンバ2の外へ排出し、シードチャック8に種結晶を装着する。その後、再びプルチャンバ2をメインチャンバ1に合体させて、単結晶の引上げ操作を開始する。
【0028】
【実施例】
次に、本発明の実施結果を説明する。
【0029】
直径が18インチの石英ルツボを使用して直径が5インチのシリコン単結晶を育成するに当たり、上述した方法により原料供給を行った。具体的には、石英ルツボ内に40kgのランプを初期チャージした。また、筒状容器を用いて、20kgのランプを追加チャージした。筒状容器としては、2分割したSiC管を用いた。
【0030】
この追加チャージでは、筒状容器内に充填されたランプの全量がスムーズに石英ルツボ内に投入された。この結果、円柱形状の多結晶原料を追加チャージする場合に比べて、クラックの発生による落下事故の危険がなくなり、安全性が著しく向上した。また、原料費が5%削減され、追加チャージ量を増すことで更なる原料費削減を図ることができる。更に、溶解時間も2時間短縮された。
【0031】
溶解時間が短縮される理由は定かではないが、おそらく、追加チャージ量は同じでも、円柱形状の多結晶原料よりもランプ原料の方が表面積が大きいことや、ルツボ内に初期チャージしたランプ原料の上面部が、追加原料を仕込んだ筒状容器によって覆われるため、ルツボ内ランプ原料の上面部からのチャンバー上方への放熱が抑えられ、ルツボ内の保温効果が増すことなどが影響しているものと考えられる。
【0032】
なお、本発明例で使用した筒状容器のサイズは、外径170mm、肉厚4mm、長さ1200mmとしたが、何らこのサイズに限定されるものではなく、使用する単結晶引上げ装置の大きさに応じて適宜設定すればよい。具体的には、プルチャンバ−内径や熱遮蔽体内径、及びルツボ容量を加味したチャージ量を考慮して設定すればよい。また、筒状容器の形状も円筒形状に限られるものではなく、基本的に、内部に粒塊状原料を収容できる上下或いは少なくとも下が開放した筒形状であれば、どのような形状であってもよい。
【0033】
【発明の効果】
以上に説明したとおり、本発明のCZ原料供給方法は、CZ法による単結晶育成に際して、ルツボ内に初期チャージされた多結晶原料の上方に、塊状及び/又は粒状の多結晶原料が内部に充填された筒状容器を設置し、ルツボ内の多結晶原料の溶解に伴って、筒状容器内の多結晶原料をルツボ内へ追加供給することにより、円柱状の多結晶原料と比べて原料費が安く、しかもクラックの危険がない粒塊状の多結晶原料を、融液飛沫の跳ね上がりやチャージ原料の跳ね上がり、更にはチャージ原料の衝突によるルツボの破損を生じることなく、ルツボ内に追加チャージすることができる。
【0034】
また、本発明のCZ原料供給用治具は、CZ法による単結晶育成に際して、ルツボ内に初期充填した多結晶原料の上方に設置され、塊状及び/又は粒状の多結晶原料が内部に充填される筒状容器からなり、ルツボ内の多結晶原料の溶解に伴って、筒状容器内の多結晶原料をルツボ内へ追加供給することにより、円柱状の多結晶原料と比べて原料費が安く、しかもクラックの危険がない粒塊状の多結晶原料を、融液飛沫の跳ね上がりやチャージ原料の跳ね上がり、更にはチャージ原料の衝突によるルツボの破損を生じることなく、ルツボ内に追加チャージすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示すCZ原料供給方法の概念図である。
【図2】同CZ原料供給方法に使用される筒状容器の斜視図である。
【図3】同筒状容器の平面図である。
【符号の説明】
1 メインチャンバ
2 プルチャンバ
3 ルツボ
4 支持軸
5 ルツボ受け
6 熱遮蔽体
7 ワイヤ
8 シードチャック
9 支持部材
10 筒状容器
11 弧状部材
12 バンド
13 位置決め部材
20 追加チャージ用の多結晶原料
Claims (4)
- CZ法による単結晶育成に際して、ルツボ内に多結晶原料をチャージする工程と、ルツボの上方に上下端が開口された筒状容器を設置し、前記筒状容器に塊状及び/又は粒状の多結晶原料を投入してこの多結晶原料が前記工程でルツボ内にチャージされた多結晶原料上に前記筒状容器内で積み上げられるようにチャージされる工程とを備え、ルツボ内の多結晶原料を溶解することで、周方向で複数部材に分割されると共に、複数部材が外面側へ変位可能に結合された分割構造である前記筒状容器内の多結晶原料がルツボ内へ下降することを特徴とするCZ原料供給方法。
- ルツボ内の多結晶原料の溶解に伴う嵩密度の低下に伴って、筒状容器内の多結晶原料がルツボ内へ徐々に降下されることを特徴とする請求項1に記載のCZ原料供給方法。
- 上下端が開口され、下端がルツボ内にチャージされた多結晶原料と接触または離間するように配設された筒状容器であって、周方向に複数に分割されると共に、それぞれが外面側へ変位可能に形成されたことを特徴とする請求項1または2記載のCZ原料供給方法に用いられるCZ原料供給用治具。
- 前記筒状容器は、カーボン、少なくとも内面がSiCでコーティングされたカーボン、又はSiCからなることを特徴とする請求項3に記載のCZ原料供給用治具。
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